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本实用新型公开了一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，包括从动链轮轴和从动锥齿轮轴，所述从动链轮轴固定套接有从动链轮，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与电机的输出轴同轴固定连接，所述从动链轮轴固定套接有D型安装套筒和D型主动锥...
该专利属于安徽宏实自动化装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽宏实自动化装备有限公司授权不得商用。

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