本发明公开了一种防松螺母，包括螺母本体，所述螺母本体的内表面靠近上方的位置安装有螺套，所述螺套内设置有螺旋机构，所述螺旋机构包含第一螺旋环、第二螺旋环和卸力钩本体，所述第一螺旋环连接在第二螺旋环的上端，所述卸力钩本体连接在第一螺旋环的上...

本实用新型公开一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽、被镀物，被镀物安装于电镀槽一侧内壁，且电镀槽内腔安装有阳极支撑架，阳极支撑架上开设有阳极槽，阳极槽内壁安装有第一阳极、第二阳极，被镀物与第一阳极相对设置，阳极支撑架靠近内壁两侧均开设有通...

本实用新型公开一种晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板两侧对称开设有对位斜面，对位斜面外圈处设置有气囊槽，气囊槽外圈处设置有卡环下凸台，下载板内圈处设置有凸台，凸台内圈处设置有排气孔，上盖上开设有斜面槽。本实用新型下载...

本实用新型公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂...

本实用新型公开一种伸缩半自动稳压计固定架，包括底架，且底架顶部安装有第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板，第一侧板、第二侧板与第三侧板、第四侧板之间均设置有U形槽，两个U形槽对称设置于底架上方，且U形槽两侧贯穿有紧固螺栓，紧固螺栓贯穿...

本实用新型公开了旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所...

本实用新型公开了槽体支撑模组，包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖，支撑块设置于定位块的上表面，顶盖设置于支撑块的上表面中部，焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接，定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接，支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接；...

本实用新型公开一种抽拉式管路零件承载架，包括承载底架，承载底架顶部一侧固定安装有后架板，后架板表面固定安装有水平设置的第一凹槽，且后架板两侧分别设置有左架板、右架板，左架板表面开设有两个第一螺栓孔。本实用新型通过滚珠、第二凹槽、球型孔的...

本发明公开一种喷流式电化学沉积设备，包括电镀槽，通过电镀槽内可并排设置一个或多个喷流机构、阴极、阳极，满足对一个或多个衬底的电解，电镀槽槽内安装有衬底固定架，衬底固定架上安装有衬底，衬底固定架两侧对称设置有喷流机构，喷流机构，喷流机构为...

本实用新型公开了一种用于晶圆清洗的槽体整体结构，包括洗涤槽，洗涤槽的内侧设置有外槽，外槽的内侧设置有内槽，内槽内设置有用于装载晶圆的晶圆盒，内槽的内侧底部安装有支撑架，晶圆盒固定安装于支撑架上，内槽的下方设置有超声波槽，外槽上方槽口处设...

本实用新型公开一种可监测槽内液体电导度的控制阀，包括主体、导电度计，主体内腔开设有纵向流道，纵向流道底部连接有连通腔体，连通腔体一侧连接有横向流道，横向流道内腔安装有导电度计。本实用新型通过简单的控制阀流道设计，解决现有技术中控制阀内液...

一种晶粒转载称重装置，包括轨道、滑车、承载盘、伸缩杆、托板和电子秤，所述轨道为U形槽轨，开口端向上，滑车对称安装在轨道的两侧，承载盘放置在滑车上，伸缩杆竖直安装在U形槽轨内腔底部，托板为水平板，托板底面与伸缩杆顶端垂直连接，电子秤放置在...

本发明公开了一种用于晶圆清洗的槽体整体结构，包括洗涤槽，洗涤槽的内侧设置有外槽，外槽的内侧设置有内槽，内槽内设置有用于装载晶圆的晶圆盒，内槽的内侧底部安装有支撑架，晶圆盒固定安装于支撑架上，内槽的下方设置有超声波槽，外槽上方槽口处设置有...

本发明公开了旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所述联...

本实用新型公开了一种施加磁场的电镀喷流装置，包括电镀槽、阴极治具和阳极板，所述电镀槽的一侧内壁固定有阴极治具，所述电镀槽相对阴极治具的内壁固定有阳极板，所述电镀槽与阴极治具和阳极板相邻的两个内壁固定有一对滑轨，所述一对滑轨通过滑块滑动连...

本发明公开一种伸缩半自动稳压计固定架，包括底架，且底架顶部安装有第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板，第一侧板、第二侧板与第三侧板、第四侧板之间均设置有U形槽，两个U形槽对称设置于底架上方，且U形槽两侧贯穿有紧固螺栓，紧固螺栓贯穿U形...

本实用新型公开了一种喷吸结合的电镀喷流装置，包括电镀槽、阴极治具和阳极板，所述电镀槽的一侧内壁固定有阴极治具，所述电镀槽相对阴极治具的一侧内壁固定有阳极板，所述电镀槽的内底焊接有支撑网板，所述电镀槽的内底位于阴极治具和阳极板之间固定有固...

本实用新型公开了一种用于晶圆承载盒的支撑架，包括上托架、伸缩套管和支撑套管，所述上托架包括井字架，所述井字架由矩形框及其四个拐角外壁均焊接两个垂直外壁的圆杆构成，所述井字架的内部四个拐角处的底部焊接有托杆，所述井字架的矩形框四个拐角的底...

本实用新型公开一种槽体支撑机构，包括外槽，所述外槽内侧壁上设置有左支撑板与右支撑板，所述外槽内设置有内槽安装外框，贯穿所述内槽安装外框底部设置有内槽，所述内槽安装外框两侧外表面中间位置对称设置有一号衔接板与二号衔接板，所述一号衔接板底端...

本实用新型公开了一种三站合一的自动化晶粒入料装置，其结构包括底座、侧面条形码侦测探头、正面晶粒分布扫描探头、不锈钢治具、入料输送滚筒、导正弹片、治具导入装置、导轨、承载盘导正板、液压伸缩装置、承载盘导入传动装置、承载盘导入滚筒、入料输送...