一种复合式阳极电镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽、被镀物，被镀物安装于电镀槽一侧内壁，且电镀槽内腔安装有阳极支撑架，阳极支撑架上开设有阳极槽，阳极槽内壁安装有第一阳极、第二阳极，被镀物与第一阳极相对设置，阳极支撑架靠近内壁两侧均开设有通孔，阳极支撑架一侧连接离子膜支撑架，离子膜支撑架上安装阳离子透过膜。本实用新型专利技术通过非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架上，非可溶性阳极与可溶性阳极配合电镀，可以避免被镀物受到阳极上杂质、阳极在电镀过程消耗变形的影响，以及可溶性阳极造成被镀物各种缺陷不良，解决现有技术中非可溶阳极与可溶性阳在电镀过程中容易造成缺陷的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种复合式阳极电镀装置
本技术涉及半导体
，具体涉及一种复合式阳极电镀装置。
技术介绍
随着电镀技术的发展，对被镀物的质量以及降低电镀液成本提出了很大的挑战；传统的电镀方式由于可溶性的阳极在电镀过程中会产生杂质对被镀物造成影响，降低了被镀物的品质；非可溶阳极在可以避免此阳极杂质的影响，由于溶液中的目标金属离子、添加剂不断的消耗，要维护的成本比较高昂，本专利技术特点是可以满足非可溶阳极不对被镀物造成品质影响的同时，还可以源源不断的提供溶液所需离子；大大降低了电镀过程的维护成本，同时提高了产品质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种复合式阳极电镀装置，解决以下技术问题：(1)非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架上，非可溶性阳极与可溶性阳极配合电镀，可以避免被镀物受到阳极上杂质、阳极在电镀过程消耗变形的影响，以及可溶性阳极造成被镀物各种缺陷不良，解决现有技术中非可溶阳极与可溶性阳在电镀过程中容易造成缺陷的技术问题；(2)此装置可溶阳极外围被阳离子交换膜保护，形成一个分离空间，离子膜的位置、大小、形状不受限制，阳极支撑架上开有通孔，通孔的形状不受限制，阳极支撑架与离子膜支撑架密封连接在一起，电镀过程中可溶性阳极不断电解为离子溶到溶液中，离子通过阳离子透过膜到外部，外部溶液可以带动离子穿过通孔进入到被镀物附近补充浓度，最后在被镀物的表面完成沉积动作，解决现有技术中电镀过程中离子传输效率不高，同时离子膜局部缺陷容易影响被镀物良率的技术问题。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽、被镀物，所述被镀物安装于电镀槽一侧内壁，且所述电镀槽内腔安装有阳极支撑架，所述阳极支撑架上开设有阳极槽，所述阳极槽内壁安装有第一阳极、第二阳极，所述被镀物与第一阳极相对设置，所述阳极支撑架靠近内壁两侧均开设有通孔，所述阳极支撑架一侧连接离子膜支撑架，所述离子膜支撑架上安装阳离子透过膜，所述离子膜支撑架、被镀物分别设置于阳极支撑架两侧。进一步的，所述阳极支撑架与离子膜支撑架为密封连接，所述阳极支撑架底部与电镀槽内壁底部接触，所述阳极支撑架两侧均与电镀槽内壁相接触。进一步的，所述阳极槽设置于两个通孔之间。进一步的，所述第一阳极为非可溶性阳极，所述第二阳极为可溶性阳极，所述第一阳极、第二阳极相互紧密连接。进一步的，所述阳离子透过膜安装于离子膜支撑架三处侧壁，所述离子膜支撑架底部与电镀槽内壁底部接触。本技术的有益效果：本技术的一种复合式阳极电镀装置，在电镀槽中，电镀目标为被镀物，非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架上，另外阳极支撑架上开有通孔，通孔的形状不受限制，阳极支撑架与离子膜支撑架密封连接在一起；离子膜支撑架用来支撑放置阳离子透过膜；非可溶阳极与可溶性阳极在阳离子透过膜的配合下完成电镀；电镀过程中可溶性阳极不断电解为离子溶到溶液中，离子通过阳离子透过膜到外部，外部溶液可以带动离子穿过通孔进入到被镀物附近补充浓度，最后在被镀物的表面完成沉积动作，此装置可溶阳极外围被阳离子交换膜保护，形成一个分离空间，离子膜的位置、大小、形状不受限制。此装置可以减少非可溶性阳极与可溶性阳极电镀时对被镀物造成的缺陷，还可以源源不断补偿镀液离子损失，另外此装置还降低累了对离子膜的要求，形状、位置、面积可以按照需要配置。附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种复合式阳极电镀装置的结构示意图；图2是本技术的俯视图；图3是本技术阳极支撑架的正视图。图中：1、电镀槽；2、被镀物；3、阳极槽；4、第一阳极；5、阳极支撑架；6、通孔；7、第二阳极；8、离子膜支撑架；9、阳离子透过膜。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示，本技术为一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽1、被镀物2，被镀物2安装于电镀槽1一侧内壁，且电镀槽1内腔安装有阳极支撑架5，阳极支撑架5上开设有阳极槽3，阳极槽3内壁安装有第一阳极4、第二阳极7，被镀物2与第一阳极4相对设置，阳极支撑架5靠近内壁两侧均开设有通孔6，阳极支撑架5一侧连接离子膜支撑架8，离子膜支撑架8上安装阳离子透过膜9，离子膜支撑架8、被镀物2分别设置于阳极支撑架5两侧。具体的，阳极支撑架5与离子膜支撑架8为密封连接，阳极支撑架5底部与电镀槽1内壁底部接触，阳极支撑架5两侧均与电镀槽1内壁相接触。阳极槽3设置于两个通孔6之间。第一阳极4为非可溶性阳极，第二阳极7为可溶性阳极，第一阳极4、第二阳极7相互紧密连接。阳离子透过膜9安装于离子膜支撑架8三处侧壁，离子膜支撑架8底部与电镀槽1内壁底部接触。请参阅图1-3所示，本实施例的一种复合式阳极电镀装置的工作过程如下：在电镀槽1中，电镀目标为被镀物2，非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架5上，另外阳极支撑架5上开有通孔6，通孔6的形状不受限制，阳极支撑架5与离子膜支撑架8密封连接在一起；离子膜支撑架8用来支撑放置阳离子透过膜9；非可溶阳极与可溶性阳极在阳离子透过膜9的配合下完成电镀；电镀过程中可溶性阳极不断电解为离子溶到溶液中，离子通过阳离子透过膜9到外部，外部溶液可以带动离子穿过通孔6进入到被镀物2附近补充浓度，最后在被镀物2的表面完成沉积动作，此装置可溶阳极外围被阳离子交换膜保护，形成一个分离空间，离子膜的位置、大小、形状不受限制。此装置可以减少非可溶性阳极与可溶性阳极电镀时对被镀物2造成的缺陷，还可以源源不断补偿镀液离子损失，另外此装置还降低累了对离子膜的要求，形状、位置、面积可以按照需要配置。以上内容仅仅是对本技术结构所作的举例和说明，所属本
的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离技术的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合式阳极电镀装置，其特征在于，包括电镀槽(1)、被镀物(2)，所述被镀物(2)安装于电镀槽(1)一侧内壁，且所述电镀槽(1)内腔安装有阳极支撑架(5)，所述阳极支撑架(5)上开设有阳极槽(3)，所述阳极槽(3)内壁安装有第一阳极(4)、第二阳极(7)，所述被镀物(2)与第一阳极(4)相对设置，所述阳极支撑架(5)靠近内壁两侧均开设有通孔(6)，所述阳极支撑架(5)一侧连接离子膜支撑架(8)，所述离子膜支撑架(8)上安装阳离子透过膜(9)，所述离子膜支撑架(8)、被镀物(2)分别设置于阳极支撑架(5)两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种复合式阳极电镀装置，其特征在于，包括电镀槽(1)、被镀物(2)，所述被镀物(2)安装于电镀槽(1)一侧内壁，且所述电镀槽(1)内腔安装有阳极支撑架(5)，所述阳极支撑架(5)上开设有阳极槽(3)，所述阳极槽(3)内壁安装有第一阳极(4)、第二阳极(7)，所述被镀物(2)与第一阳极(4)相对设置，所述阳极支撑架(5)靠近内壁两侧均开设有通孔(6)，所述阳极支撑架(5)一侧连接离子膜支撑架(8)，所述离子膜支撑架(8)上安装阳离子透过膜(9)，所述离子膜支撑架(8)、被镀物(2)分别设置于阳极支撑架(5)两侧。


2.根据权利要求1所述的一种复合式阳极电镀装置,其特征在于，所述阳极支撑架(5)与离子膜支撑架...

【专利技术属性】
技术研发人员：周飞云，徐华，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34