一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具制造技术

本实用新型专利技术公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型专利技术电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具
本技术涉及半导体
，具体涉及一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具。
技术介绍
随着半导体产业的发展，半导体芯片加工已接近摩尔定律的极限；其中晶圆级电镀、扇出封装等要求很高产出效率，合理有效的电镀液利用、电镀均匀性等提出了很高的要求。这些都对电镀产品良率以及电镀效率提出了新的挑战，对电镀的挂具提出了很高的要求；目前的电镀设备大多为单面挂具，生产效率低，装载困难，即使有出现双面装载挂具，但均为旋转式装片整套装置机构复杂，同时易产生摩擦静电破坏晶圆电镀产出良率等。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，解决以下技术问题：(1)电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生，解决现有技术中晶圆电镀时在挂具上装卸时容易造成晶圆的损坏，从而导致产品的不良率提高技术问题；(2)下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆本体于此电镀夹具上，电镀用双面挂具可以满足两片晶圆同时电镀，可以将电镀过程效率提高一倍，解决现有技术中晶圆电镀挂具多为单面电镀装置，生产效率低，电镀液利用率低的技术问题。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，所述下载板上开设有排气切口，且所述下载板两侧对称开设有气囊安装槽，所述气囊安装槽内圈处设置有支撑台，且所述气囊安装槽外圈内壁等弧度设置有若干固定齿，所述气囊安装槽内壁安装有气囊，所述气囊与下载板之间设置有晶圆本体，所述晶圆本体安装于支撑台上；所述上盖与气囊之间设置有锁紧弹力固定组件，所述锁紧弹力固定组件包括导电片、固定扭簧上环、固定扭簧下环、心轴，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴的心轴固定槽，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环上对称开设有若干第一螺纹孔，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环通过第一螺纹孔、螺栓相互固定，所述心轴外周面安装有扭簧，所述扭簧上安装有爪部，所述锁紧弹力固定组件与气囊之间设置有顶升环，所述气囊上连通有导气管，所述顶升环一侧表面开设有接触曲面，所述接触曲面与扭簧相接触，所述上盖外圈还安装有锁紧接触面，所述锁紧接触面与扭簧相接触，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环外圈均等弧度安装有若干配合卡齿，所述配合卡齿与固定齿为配合构件。进一步的，所述上盖外圈安装有密封橡胶，所述密封橡胶外圈与下载板相接触，所述密封橡胶上安装有金属主体，所述金属主体与锁紧接触面相连接。进一步的，所述固定扭簧上环、固定扭簧下环还对称开设有第二螺纹孔，所述导电片通过第二螺纹孔、螺栓固定于固定扭簧上环、固定扭簧下环之间。进一步的，所述上盖内圈开设有用于固定晶圆本体的定位斜面。本技术的有益效果：本技术的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，晶圆本体面向下放置在上盖内部，通过上盖内部的定位斜面限位自动完成定位；通过导气管给气囊进行充气，气囊推动顶升环向左边运动，同时顶升环推动扭簧的爪部绕心轴转动产生弹力；此时扭簧的爪部让出空间，通过上盖自左而右平稳压到下载板上后，停止给气，此时扭簧的爪部回弹向内运动，锁住上盖上的金属主体上的锁紧接触面，电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完成对位安装，由扭簧回弹产生锁紧力，不需要借助外力做特别对位动作，减少刮擦伤害，晶圆挂具安装卸载时由气动驱动弹簧快速安装卸载，扭簧回弹产生锁紧力，安装卸载晶圆只有直线运动而非旋转式运动，可以减少摩擦，减少晶圆刮伤、减少静电产生；下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆本体于此电镀夹具上，电镀用双面挂具可以满足两片晶圆同时电镀，可以将电镀过程效率提高一倍，提升了电镀的产出效率。附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具的结构示意图；图2是本技术下载板的剖视图；图3是本技术顶升环的截面视图；图4是本技术锁紧弹力固定组件的结构图；图5是本技术图4中A处放大图；图6是本技术锁紧弹力固定组件的局部爆炸图；图7是本技术气囊的结构图；图8是本技术上盖的剖视图；图9是本技术图8中B处放大图。图中：1、上盖；2、锁紧弹力固定组件；3、导电片；4、顶升环；5、气囊；6、晶圆本体；7、下载板；8、固定齿；9、气囊安装槽；10、支撑台；11、排气切口；13、导气管；14、接触曲面；15、固定扭簧上环；16、固定扭簧下环；17、第一螺纹孔；18、第二螺纹孔；19、心轴固定槽；20、扭簧；21、心轴；22、密封橡胶；23、金属主体；24、导电点；25、锁紧接触面；26、配合卡齿；27、定位斜面；28、爪部。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-9所示，本技术为一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖1、晶圆本体6、下载板7，下载板7上开设有排气切口11，且下载板7两侧对称开设有气囊安装槽9，气囊安装槽9内圈处设置有支撑台10，且气囊安装槽9外圈内壁等弧度设置有若干固定齿8，气囊安装槽9内壁安装有气囊5，气囊5与下载板7之间设置有晶圆本体6，晶圆本体6安装于支撑台10上；上盖1与气囊5之间设置有锁紧弹力固定组件2，锁紧弹力固定组件2包括导电片3、固定扭簧上环15、固定扭簧下环16、心轴21，固定扭簧上环15、固定扭簧下环16内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴21的心轴固定槽19，固定扭簧上环15、固定扭簧下环16上对称开设有若干第一螺纹孔17，固定扭簧上环15、固定扭簧下环16通过第一螺纹孔17、螺栓相互固定，心轴21外周面安装有扭簧20，扭簧20上安装有爪部28，锁紧弹力固定组件2与气囊5之间设置有顶升环4，气囊5上连通有导气管13，顶升环4一侧表面开设有接触曲面14，接触曲面14与扭簧20相接触，上盖1外圈还安装有锁紧接触面25，锁紧接触面25与扭簧20相接触，固定扭簧上环15、固定扭簧下环16外圈均等弧度安装有若干配合卡齿26，配合卡齿26与固定齿8为配合构件。具体的，上盖1外圈安装有密封橡胶22，密封橡胶22外圈与下载板7相接触，密封橡胶22上安装有金属主体23，金属主体23与锁紧接触面25相连接。固定扭簧上环15、固定扭簧下环16还对称开设有第二螺纹孔18，导电片3通过第二螺纹孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，其特征在于，包括上盖(1)、晶圆本体(6)、下载板(7)，所述下载板(7)上开设有排气切口(11)，且所述下载板(7)两侧对称开设有气囊安装槽(9)，所述气囊安装槽(9)内圈处设置有支撑台(10)，且所述气囊安装槽(9)外圈内壁等弧度设置有若干固定齿(8)，所述气囊安装槽(9)内壁安装有气囊(5)，所述气囊(5)与下载板(7)之间设置有晶圆本体(6)，所述晶圆本体(6)安装于支撑台(10)上；/n所述上盖(1)与气囊(5)之间设置有锁紧弹力固定组件(2)，所述锁紧弹力固定组件(2)包括导电片(3)、固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)、心轴(21)，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴(21)的心轴固定槽(19)，所述心轴(21)外周面安装有扭簧(20)，所述扭簧(20)上安装有爪部(28)，所述锁紧弹力固定组件(2)与气囊(5)之间设置有顶升环(4)，所述气囊(5)上连通有导气管(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，其特征在于，包括上盖(1)、晶圆本体(6)、下载板(7)，所述下载板(7)上开设有排气切口(11)，且所述下载板(7)两侧对称开设有气囊安装槽(9)，所述气囊安装槽(9)内圈处设置有支撑台(10)，且所述气囊安装槽(9)外圈内壁等弧度设置有若干固定齿(8)，所述气囊安装槽(9)内壁安装有气囊(5)，所述气囊(5)与下载板(7)之间设置有晶圆本体(6)，所述晶圆本体(6)安装于支撑台(10)上；
所述上盖(1)与气囊(5)之间设置有锁紧弹力固定组件(2)，所述锁紧弹力固定组件(2)包括导电片(3)、固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)、心轴(21)，所述固定扭簧上环(15)、固定扭簧下环(16)内圈均等弧度安装有若干用于安装心轴(21)的心轴固定槽(19)，所述心轴(21)外周面安装有扭簧(20)，所述扭簧(20)上安装有爪部(28)，所述锁紧弹力固定组件(2)与气囊(5)之间设置有顶升环(4)，所述气囊(5)上连通有导气管(13)。


2.根据权利要求1所述的一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述上盖(1)外圈安装有密封橡胶(22)，所述密封橡胶(22)外圈与下载板(7)相接触，所述密封橡胶(22)上安装有金属主体(23)，所述金属主体(23)与锁紧接触面(25)相连接。
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【专利技术属性】
技术研发人员：周飞云，程本阳，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34