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本实用新型公开一种按压固定式晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板上开设有排气切口，且下载板两侧对称开设有气囊安装槽，气囊安装槽内圈处设置有支撑台。本实用新型电镀用双面挂具装载时，由气囊压力推动扭簧夹具，实现晶圆快速与挂具完...
该专利属于安徽宏实自动化装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽宏实自动化装备有限公司授权不得商用。

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