钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备技术方案

本实用新型专利技术涉及钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备，钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其中，钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于固定端的中线上，固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与固定槽两侧；螺孔，设置于底座上对应固定槽的位置；一对销孔，设置与底座上对应固定销孔的位置；螺栓，以头部卡滞台阶，穿过固定槽后连接螺孔；一对定位销，分别穿过对应的固定销孔连接对应的销孔。本实用新型专利技术的有益效果在于，减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本。

Fixed structure of pendulum plate and its pressure control system and dry etching equipment

The utility model relates to a fixed structure of a pendulum plate and its pressure control system and its dry etching equipment, and a fixed structure of a pendulum plate, which is used in the pressure control system of a dry etching equipment, including a base and a pendulum plate. The pendulum plate comprises a fixed end, a fixed groove, which is longitudinally arranged on the middle line of the fixed end, and a pair of fixed pin holes are arranged on the groove walls on both sides of the fixed groove. Two sides of the fixing groove are arranged; the screw holes are arranged at the corresponding position of the fixing groove on the base; a pair of pin holes are arranged at the corresponding position of the fixing pin holes on the base; the bolts are clamped by the head and connected with the screw holes after passing through the fixing groove; and a pair of positioning pins are respectively connected with the corresponding pin holes through the corresponding fixing pin holes. The beneficial effect of the utility model is to reduce the position deviation during the movement of the pendulum plate, improve the positioning accuracy of the pendulum plate, reduce the downtime, improve the utilization ratio of the platform, and reduce the production and maintenance costs.

【技术实现步骤摘要】
钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种用于干法刻蚀设备的压力控制系统中的钟摆盘固定结构。
技术介绍
在半导体干法刻蚀设备压力控制系统中，钟摆盘一直处于长时间的工作状态，钟摆盘的固定难免会出现偏移、宕机等情况。现有技术中的压力控制系统的钟摆盘的固定结构非常简单，仅通过一个螺帽锁紧的方式固定。即存在钟摆盘的偏移、宕机等问题，不仅会给产品品质带来较高风险，而且增加了维护成本。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述问题，现提供一种旨在减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本的钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备。具体技术方案如下：一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其中，钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于固定端的中线上，固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与固定槽两侧；螺孔，设置于底座上对应固定槽的位置；一对销孔，设置与底座上对应固定销孔的位置；螺栓，以头部卡滞台阶，穿过固定槽后连接螺孔；一对定位销，分别穿过对应的固定销孔连接对应的销孔。优选的，钟摆盘固定结构，其中，螺栓和一对定位销的中心点的连线构成一个等腰三角形。优选的，钟摆盘固定结构，其中，螺栓头部顶面与固定槽表面齐平。优选的，钟摆盘固定结构，其中，钟摆盘包括摆动部，摆动部成圆形，并连接固定端。优选的，钟摆盘固定结构，其中，摆动部与固定端一体成型。优选的，钟摆盘固定结构，其中，固定槽的中线与摆动部直径的延长线重合。一种压力控制系统，用于干法刻蚀设备，其中，包括上述任一钟摆盘固定结构。一种干法刻蚀设备，其中，包括上述压力控制系统。上述技术方案具有如下优点或有益效果：减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本。附图说明图1为本技术钟摆盘固定结构的实施例的钟摆盘的俯视图；图2为本技术钟摆盘固定结构的实施例的钟摆盘与底座固定连接结构的示意图；图3为本技术一钟摆盘固定结构的实施例的连接端的剖面视图。附图标记：1、底座；2、钟摆盘；21、摆动部；3、固定端；4、固定槽；41、台阶；5、固定销孔；6、螺栓；7、固定销。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。参照图1、图2和图3，本技术提供一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座1和钟摆盘2，其中，钟摆盘2包括：固定端3，固定槽4，纵向设置于固定端3的中线上，固定槽4两侧槽壁上设置有台阶41；一对固定销孔5，设置与固定槽4两侧；螺孔(图中未标出，位于图中固定槽4下端，并且与固定槽4重合)，设置于底座1上对应固定槽4的位置，即钟摆盘固定于底座1上时螺孔与固定槽4的位置重合；一对销孔(图中未标出，位于图中固定销孔5下端，并且与固定销孔5重合)，设置与底座1上对应固定销孔5的位置，即钟摆盘固定于底座1上时销孔与固定销孔5位置重合；螺栓6，以头部卡滞台阶41，穿过固定槽4后连接螺孔；一对定位销7，分别穿过对应的固定销孔5连接对应的销孔。上述技术方案的安装方式为，将底座1和钟摆盘2重叠放置，确定固定槽4与螺孔重合、固定销孔5与对应的销孔重合，将螺栓6穿过固定槽4后与螺孔连接，将定位销7穿过固定销孔5和对应的销孔，通过一对定位销7和一个螺栓6可以将钟摆盘2三点精确定位固定在底座1上。需要说明的是，在上述实施例中的钟摆盘2上设有的固定槽4的位置、布局与底座1上设有的螺孔的位置和布局一一对应，方便螺栓6将钟摆盘2固定在底座1上；钟摆盘2上设有的固定销孔5的形状、位置、布局与底座1上设有的销孔的形状、位置和布局一一对应。减小钟摆盘2与底座1之间的空隙，并且使定位销7更加方便地通过固定销孔5和销孔，避免定位销7在固定销孔5、销孔的内壁中出现磨损，从而减少使用过程中对零件的磨损，进而增加产品的寿命，节约维修成本。进一步的，在上述实施例中，螺栓6和一对定位销7的中心点的连线构成一个等腰三角形，即通过三点精确定位的方式将钟摆盘2固定在底座1上，三点精确定位的作用是为了精确固定钟摆盘2在底座1上的位置，减少钟摆盘2在运动过程中产生位置移动，从而起到提高钟摆盘2定位精度的作用。上述技术方案中，本技术提供的钟摆盘固定结构不仅用一个螺栓6固定钟摆盘2，还通过增加一对定位销7来精确定位钟摆盘2在底座1上的位置。起到即使在使用过程中出现螺栓6或定位销7的脱落，也可以由其他未脱落的螺栓6或定位销7继续固定钟摆盘2，从而减少因为零件脱落而造成的产品损坏，方便及时维修。进一步的，在上述实施例中，螺栓6头部顶面与固定槽4表面齐平。上述技术方案中，螺栓6采用压紧螺母，压紧螺母能减少产品在使用过程中的螺栓6松动情况，从而起到增加产品的安全性和稳定性的作用。进一步的，在上述实施例中，钟摆盘2包括摆动部21，摆动部21成圆形，并连接固定端3。进一步的，在上述实施例中，摆动部21与固定端3一体成型，减少零件的使用，从而减少生产成本，采用一体成型设置，使固定结构更安全可靠。进一步的，在上述实施例中，固定槽4的中线与摆动部21直径的延长线重合。综上，本技术提供的钟摆盘固定结构，包括底座1和钟摆盘2，钟摆盘2包括固定端3，螺栓6通过固定端3上设有的固定槽4与底座1上设有的螺孔连接，一对定位销7穿过对应的固定销孔5连接对应的销孔，通过一个螺栓6和一对定位销7对钟摆盘2进行三点精确定位，使得钟摆盘2更加精确地与底座1固定，避免钟摆盘2在运动过程中位置发生偏移，提高了钟摆盘2的定位精度，减少了宕机，提高了机台的利用率，降低生产成本。本技术的技术方案中，还包括一种压力控制系统，用于干法刻蚀设备，该压力控制系统包括上述任一钟摆盘固定结构。本技术的技术方案中，还包括一种干法刻蚀设备，包括上述压力控制系统。以上仅为本技术较佳的实施例，并非因此限制本技术的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本技术说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其特征在于，所述钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于所述固定端的中线上，所述固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与所述固定槽两侧；一螺孔，设置于所述底座上对应所述固定槽的位置；一对销孔，设置与所述底座上对应所述固定销孔的位置；一螺栓，以头部卡滞所述台阶，穿过所述固定槽后连接所述螺孔；一对定位销，分别穿过对应的所述固定销孔连接对应的所述销孔。

【技术特征摘要】
1.一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其特征在于，所述钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于所述固定端的中线上，所述固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与所述固定槽两侧；一螺孔，设置于所述底座上对应所述固定槽的位置；一对销孔，设置与所述底座上对应所述固定销孔的位置；一螺栓，以头部卡滞所述台阶，穿过所述固定槽后连接所述螺孔；一对定位销，分别穿过对应的所述固定销孔连接对应的所述销孔。2.如权利要求1所述的钟摆盘固定结构，其特征在于，所述螺栓和一对所述定位销的中心点的连线构成一个等腰三角形。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：阚杰，沈吉，张晓腾，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31