The utility model relates to the field of semiconductor integrated circuit manufacturing, in particular to a wafer platform of a photolithographic machine, including a base plate, which is placed in a chamber capable of vacuum pumping; a number of pillars, several of which are arranged on the base plate in turn, and two adjacent pillars form an adsorption gap; and the upper surfaces of several of the pillars are located in the same place. In the plane, the absorption gap can absorb and locate the wafer on the upper surface of the support during the vacuum extraction process of the chamber; the upper surface of the support is provided with a particle holding groove at the central position; the groove depth of the particle holding groove is less than the height of the support. It can effectively solve the influence of particle impurities on the surface of wafer or pillar during lithography exposure.
【技术实现步骤摘要】
光刻机晶圆载台
本技术涉及半导体集成电路制造领域,具体涉及一种光刻机晶圆载台。
技术介绍
光刻(photoetchingorlithography)是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。在此之后,晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程,最终在晶圆上保留的是特征图形部分。其基本原理是:利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)曝光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工的晶片(wafer)表面上。在曝光过程中,由于曝光系统一次曝光的面积大小是有限的,因此在曝光时需要将一个晶圆划分为多个曝光单元(shot)分别进行曝光成像。由于光的直线传播原理,一旦晶圆表面出现颗粒,颗粒会导致图案散焦或者叠对错误。为了避免因晶圆表面颗粒导致曝光过程导致的图案散焦或叠对错误,现有技术如中国专利CN203967038U公开的一种晶圆背面清洗装置,通过对吸附装置的结构设计,在进行晶圆背面清洗时,可将晶圆背面的污染颗粒牢固的吸附于吸附管上,并可多次反复进行确保晶圆背面不同尺寸的污染颗粒被吸附。又如中国专利CN107831638A一种检测掩膜版与掩膜台接触面污染的方法,包括:S1:提供掩膜版和晶圆,所述掩膜版安放在光刻机的掩膜台上与所述晶圆对准;S2:收集掩膜版的对准补偿参数的参考值;S3:多次重复步骤S1和S2,从而收集到多个对准补偿参数的参考值,根据收集到的多个对准补偿参数的参考值设置对准补偿参数的上限值和下限值;S4:重复步骤S1,收集此次对准的对准补偿参数值,如果所述对准补偿参数值超出其上限值或下限值,则光刻机停止工作并清洗掩膜台或者掩 ...
【技术保护点】
1.一种光刻机晶圆载台,其特征在于,包括:基板载板,所述基板载板置于能抽真空的腔室中,用以在光刻过程中承载晶圆;所述基板载板的上表面凸设有若干个支柱,任意相邻的两个所述支柱之间形成有一个吸附间隙;所述支柱的顶面位于同一平面上;所述吸附间隙在所述腔室抽真空过程中能将晶圆吸附并定位于所述支柱的顶面;所述支柱的顶面在中心位置设有颗粒容纳槽;所述颗粒容纳槽的槽深小于等于所述支柱相对于所述吸附间隙的底部的凸起高度。
【技术特征摘要】
1.一种光刻机晶圆载台,其特征在于,包括:基板载板,所述基板载板置于能抽真空的腔室中,用以在光刻过程中承载晶圆;所述基板载板的上表面凸设有若干个支柱,任意相邻的两个所述支柱之间形成有一个吸附间隙;所述支柱的顶面位于同一平面上;所述吸附间隙在所述腔室抽真空过程中能将晶圆吸附并定位于所述支柱的顶面;所述支柱的顶面在中心位置设有颗粒容纳槽;所述颗粒容纳槽的槽深小于等于所述支柱相对于所述吸附间隙的底部的凸起高度。2.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台,其特征在于,所述颗粒容纳槽的底部尺寸小于所述吸附间隙的尺寸。3.根据权利要求2所述的光刻机晶圆载台,其特征在于,所述颗粒容纳槽的底部尺寸介于所述颗粒容纳槽的槽口尺寸的1/2-2/3。4.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台,其特征在于,所述颗粒容纳槽呈倒圆锥形凹穴结构,所述颗粒容纳槽的槽壁与所述颗粒容纳槽的底部的空隙夹角介于100度-130度。5.根据权利要求4所述的光刻机晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:长鑫存储技术有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。