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一种有机阻变存储器制造技术

技术编号:20728539 阅读:33 留言:0更新日期:2019-03-30 18:47
一种有机阻变存储器,包括衬底和衬底上的上电极和下电极,所述上电极与下电极之间设有阻变功能层,所述上电极和下电极均由掺杂金属纳米线或掺杂金属量子点的有机导电聚合物组成。本发明专利技术使用有机阻变材料取代了传统的无机阻变材料,是适应未来绿色环保发展的器件,本发明专利技术提供的阻变存储器使用了有机导电聚合物作为上电极层、下电极层,有别于传统使用金属电极、氧化物无机材料作为阻变存储层制备的存储器件。本发明专利技术提供的阻变存储器结构和制造工艺简单、制作成本低、并且能够在柔性电子领域具有较大的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种有机阻变存储器
本专利技术属于有机电子学、微电子技术以及存储器器件
,具体涉及一种有机阻变存储器。
技术介绍
随着数字高科技的飞速发展,消费市场对于非挥发性存储器的性能提出了更高的要求,如高速度、高密度、低功耗、长寿命和更小的尺寸等。作为目前非挥发性半导体存储器市场中的主流产品和代表性技术,浮栅存储器(Flash)由于其编程电压较高、读写速度较慢、功耗较大,及隧穿氧化层厚度减小会引起漏电流增加等问题,随着半导体技术工艺节点的不断提升,其在可缩小性、功耗、可靠性等方面遇到的技术瓶颈更加严峻。近年来半导体业界、科研界和学术界,采用基于电阻值变化作为信息存储方式,实现了以磁存储器(MRAM)、相变存储器(PRAM)和阻变存储器(RRAM)等为代表的新型非挥发性存储器。其中,阻变存储器具有可缩小性好、功耗低、操作速度快、非破坏性读取以及与CMOS工艺兼容等优点,因此备受半导体产业界的关注。RRAM器件作为一种新型的非挥发性存储器,是以薄膜材料的电阻可在高阻态(HRS)和低阻态(LRS)之间实现可逆转换为基本工作原理并作为记忆的方式。阻变存储器的材料体系多种多样,包括PrCaMnO3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机阻变存储器,包括衬底和衬底上的上电极和下电极,所述上电极与下电极之间设有阻变功能层,其特征在于:所述上电极(104)和下电极(102)均由掺杂金属纳米线或掺杂金属量子点的有机导电聚合物组成。

【技术特征摘要】
1.一种有机阻变存储器,包括衬底和衬底上的上电极和下电极,所述上电极与下电极之间设有阻变功能层,其特征在于:所述上电极(104)和下电极(102)均由掺杂金属纳米线或掺杂金属量子点的有机导电聚合物组成。2.根据权利要求1所述的一种有机阻变存储器,其特征在于:所述上电极(104)和下电极(102)的厚度均为10nm至200nm。3.根据权利要求1或2所述的一种有机阻变存储器,其特征在于:所述阻变功能层(103)为聚(9-乙烯基咔唑)PVK、聚-3己基噻吩P3HT、Ag与四氰基对苯醌二甲烷TCNQ形成的金属有机络合物AgTCNQ、Cu与四氰基对苯醌二甲烷TCNQ形成的金属有机络合物CuTCNQ、聚2-(9-咔唑基)乙基甲基丙烯酸酯PCEM、聚3,4-乙烯二氧噻吩和...

【专利技术属性】
技术研发人员:李颖弢李晓燕
申请(专利权)人:兰州大学
类型:发明
国别省市:甘肃,62

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