有机发光二极管的制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有机发光二极管的制备装置，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；该蒸发室通过该导管与一设置于该蒸镀室内的喷头连接；该喷头包括一喷头本体和一喷嘴，该喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，该第一表面设置一开口，该开口与该导管的排气端连接，该第二表面为一开口结构，该喷嘴设置于该开口结构处，该喷嘴包括多个间隔设置的通孔；该载物台设置于该蒸镀室内；该真空泵与该蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。

【技术实现步骤摘要】
有机发光二极管的制备装置
本专利技术涉及一种有机发光二极管的制备装置。
技术介绍
有机发光二极管(organiclightemittingdiode，OLED)是一种发光层由有机复合物构成的发光二极管。作为一种高效的发光源，其具有重量轻、厚度薄、多色彩、低制造成本等诸多特点。现有的OLED的制备方法包括蒸镀法和溶液法。然而现有的OLED蒸镀装置中，采用蒸镀法设置有机发光层时，由于气态蒸镀材料会向各个方向扩散，使得蒸镀装置的内壁上也沉积部分有机发光层，造成材料浪费，成本上升。
技术实现思路
有鉴于此，确有必要提供一种能够使蒸发源得到充分利用的有机发光二极管的制备装置。一种有机发光二极管的制备装置，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。相较于现有技术，本专利技术提供的有机发光二极管的制备方法中所使用的制备装置将蒸发室和蒸镀室分开设置，并通过导管导通，由于导管和喷头把所述有机发光层源材料产生的气体直接引导至被沉积待镀面，因此，一方面可以使得材料得到充分的利用，约了有机发光层源材料；另一方面，也可以通过控制在不同区域处气体的流速和停留时间，使得不同区域形成的有机发光层厚度均匀。附图说明图1为本专利技术第一实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图2为本专利技术图1的制备装置中导管的排气端与喷头的连接示意图。图3为本专利技术图1的制备装置中喷头喷嘴的结构示意图。图4为本专利技术第一实施例提供的制备有机发光二极管的流程图。图5为本专利技术第一实施例制备的有机发光二极管的结构示意图。图6为本专利技术第二实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图7为本专利技术第三实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图8为本专利技术第四实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图9为本专利技术第五实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图10为本专利技术第六实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图11为本专利技术第七实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。图12为本专利技术第八实施例提供的有机发光二极管制备装置的结构示意图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术的有机发光二极管的制备方法和制备装置作进一步的详细说明。请参阅图1和5，本专利技术第一实施例提供一种有机发光二极管100的制备装置10，其包括：一蒸发装置11、一蒸镀装置12、一导管13和一真空泵15；所述蒸发装置11包括一蒸发室111和一第一加热装置114；所述第一加热装置114用于加热所述蒸发室111，使设置于该蒸发室111内的有机发光层源材料116蒸发；所述蒸镀装置12包括一蒸镀室121、一喷头122和一载物台129；所述蒸发室111通过所述导管13与所述蒸镀室121导通；所述喷头122设置于所述蒸镀室121内，所述喷头122包括一喷头本体123和一喷嘴124，所述喷头本体123具有相对的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231设置一开口1232，该开口1232与所述导管13的排气端131连接，所述第二表面1233为一开口结构，所述喷嘴124设置于所述开口结构处，所述喷嘴124包括多个间隔设置的通孔127；所述载物台129设置于所述蒸镀室121内，并与所述通孔127相对且间隔设置；所述真空泵15与所述蒸镀室121连接，用于维持制备装置10的真空度。所述蒸发装置11用于向所述蒸镀装置12提供待镀气体。该蒸发装置11包括一蒸发室111，该蒸发室111内设置有机发光层源材料116。可以理解，该蒸发室111内也可以设置空穴传输层源材料、空穴注入层源材料、电子注入层源材料或电子传输层源材料。本专利技术第一实施例中，所述蒸发室111内仅设置一有机发光层源材料116。所述有机发光层源材料116可以为制备各种颜色的有机发光层160的有机发光层源材料116。所述第一加热装置114对所述蒸发室111内的有机发光层源材料116进行加热。所述第一加热装置114与所述蒸发室111可以接触设置，也可以间隔设置。本专利技术第一实施例中，所述第一加热装置114与所述蒸发室111间隔设置。所述第一加热装置114可以为一电磁炉或电热套等，所述蒸发室111设置于该电磁炉上或设置于该电热套内。当对所述电磁炉或电热套输入电信号，所述电磁炉或电热套可以加热所述蒸发室111，使有机发光层源材料116蒸发。所述导管13用于将所述蒸发室111内的有机发光层源材料116产生的气体导入到所述蒸镀装置12内，通过喷头122沉积到待镀第一电极140的表面。所述导管13的排气端131进一步包括一阀门16，用于控制导管13内气体的排放。此外，所述导管13靠近所述蒸发室111的一侧的一导气端130也可以进一步包括一阀门16，便于控制蒸发室111内的气体进入所述导管13。所述喷头本体123具有相对的第一表面1231和第二表面1233，所述第一表面1231设置一开口1232，该开口1232与所述导管13的排气端131连接。具体地，参见图2，所述开口1232处进一步包括一连接端口126，所述导管13的排气端131延伸到所述连接端口126内或套在连接端口126上，该连接端口126将所述导管13的排气端131卡紧。所述连接端口126与所述导管13的排气端131可拆卸连接，方便更换导管13或喷头122。所述导管13的排气端131的端面133可以与所述喷头122的第一表面1231在同一平面，也可以延伸到喷头122内。本专利技术第一实施例中，所述导管13的排气端131的端面133与所述第一表面1231在同一平面。所述喷头本体123的第二表面1233为一开口结构，所述喷嘴124设置于所述开口结构处。所述喷嘴124包括多个间隔设置的通孔127。参见图3，所述多个通孔127可以按照一定规律排列成相同或不同的图案。由于有机发光层源材料116蒸发产生的气体只能从所述图案化的通孔127通过，并到达该待蒸镀第一电极140的表面，在该待蒸镀第一电极的表面与该图案化的通孔127对应的局部位置形成有机发光层160，从而使该有机发光层160图案化。该图案化的有机发光层160的图案与该图案化通孔127的图案对应。所述喷嘴124与所述喷头本体123可以拆卸连接，方便更换喷嘴124，由于所述喷嘴124包括不同排列方式的通孔127，因此通过更换喷嘴124可以制备不同图案的有机发光层160。所述喷嘴124与所述喷头本体123可以一体成型。本专利技术第一实施例中所述喷头本体123与所述喷嘴124为一体结构。所述载物台129用于支撑待镀物体。所述载物台129可以在蒸镀室121内移动。具体地，所述蒸镀装置12进一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光二极管的制备装置，其特征在于，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光二极管的制备装置，其特征在于，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；所述蒸发室通过所述导管与设置于所述蒸镀室内的喷头连接；所述喷头包括一喷头本体和一喷嘴，所述喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设置一开口，该开口与所述导管的排气端连接，所述第二表面为一开口结构，所述喷嘴设置于所述开口结构处，所述喷嘴包括多个间隔设置的通孔；所述载物台设置于所述蒸镀室内；所述真空泵与所述蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。2.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述蒸发室与所述第一加热装置间隔设置。3.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，所述蒸发室由一内衬和一外壳组成，所述第一加热装置包括至少一电热丝，该电热丝缠绕于所述内衬的外表面。4.如权利要求1所述的有机发光二极管的制备装置，其特征在于，进一步包括一设置于导管周围的第二加热装置，用于对该导管内的气体进行加热。5.如权利要求1所述的有机...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪进伟，廖文杰，范守善，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11