一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备及其监测方法技术

本发明专利技术涉及一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，包括X射线衍射监测装置以及分析统计系统，X射线衍射监测装置包括滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置、X射线接收装置及计步器、测量记录系统，X射线发射装置发射的X射线投射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生衍射，X射线接收装置及计步器把捕捉到衍射线的数据传输至测量记录系统，测量记录系统将该数据传输至分析统计系统，分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。本发明专利技术还提供一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备的监测方法。本发明专利技术通过监测钙钛矿薄膜的生产过程中的性能参数，控制其反应进程，提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。

A Real-time Monitoring Equipment for Perovskite Film Formation Quality and Its Monitoring Method

The invention relates to a device for real-time monitoring perovskite film forming quality, including an X-ray diffraction monitoring device and an analysis and statistics system. The X-ray diffraction monitoring device includes a sliding track, a goniometer ring, an X-ray transmitting device, an X-ray receiving device, a pedometer and a measuring and recording system. The X-ray emitted by an X-ray transmitting device is projected to a perovskite solar cell substrate table. The X-ray receiving device and pedometer transmit the data captured by the diffraction line to the measuring and recording system. The measuring and recording system transmits the data to the analytical and statistical system, and the analytical and statistical data are fed back to the evaporation control system. The invention also provides a monitoring method of equipment for real-time monitoring perovskite film forming quality. The invention can control the reaction process by monitoring the performance parameters in the production process of perovskite film, and improve the repeatability of perovskite film production in each batch.

【技术实现步骤摘要】
一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备及其监测方法
本专利技术涉及太阳能电池生产设备的
，特别涉及一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备及其监测方法。
技术介绍
太阳能电池是一种光电转换器件，利用半导体的光伏效应将太阳能转化为电能。发展至今，太阳能发电已经成为除水力发电和风力发电之外最重要的可再生能源。现用于商业化的半导体有单晶硅、多晶硅、非晶硅、碲化镉、铜铟镓硒等等，但大多能耗大、成本高。近年来，一种钙钛矿太阳能电池受到广泛关注，这种钙钛矿太阳能电池以有机金属卤化物为光吸收层。钙钛矿为ABX3型的立方八面体结构。此种材料制备的薄膜太阳能电池工艺简便、生产成本低、稳定且转化率高。自2009年至今，光电转换效率从3.8%提升至22%以上，已高于商业化的晶硅太阳能电池且具有较大的成本优势。各种钙钛矿太阳能电池薄膜成型工艺可分为两大类：溶液法和气相法。溶液法操作简便，但薄膜均一性、重复性差，影响电池的效率。气相法有双源共蒸发法、气相辅助溶液法、化学气相沉积（CVD）等方法，其中气相溶液辅助法可制备晶粒均一、大晶粒尺寸、表面粗糙度小的钙钛矿薄膜，但各批次的重复性有待提高。
技术实现思路
本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，其特征在于，包括X射线衍射监测装置以及分析统计系统，所述X射线衍射监测装置的X射线监测数据传输至分析统计系统，所述X射线衍射监测装置包括滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置、X射线接收装置及计步器、测量记录系统，所述滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在真空密封舱内，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置，以及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述滑动轨道固定在真空密封舱内，所述测角仪圆环沿滑动轨道滑动，所述X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在测角仪圆环上，所述X射线接收装置及计步器绕测角仪圆环旋转...

【技术特征摘要】
1.一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，其特征在于，包括X射线衍射监测装置以及分析统计系统，所述X射线衍射监测装置的X射线监测数据传输至分析统计系统，所述X射线衍射监测装置包括滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置、X射线接收装置及计步器、测量记录系统，所述滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在真空密封舱内，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置，以及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述滑动轨道固定在真空密封舱内，所述测角仪圆环沿滑动轨道滑动，所述X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在测角仪圆环上，所述X射线接收装置及计步器绕测角仪圆环旋转，所述X射线发射装置不断改变入射角，发射的X射线投射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生衍射，所述X射线接收装置及计步器把捕捉到衍射线的数据传输至测量记录系统，所述测量记录系统将该数据传输至分析统计系统，所述分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。2.如权利要求1所述的实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，其特征在于，所述X射线衍射监测装...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33