【技术实现步骤摘要】
真空腔室温度测量装置
本技术涉及一种真空腔内温度测量装置，属于仪器仪表领域。
技术介绍
在高温和高真空状态下，腔体内部的温度高低以及温度分布的均匀性是衡量其工艺合适与否的重要参数。目前对于真空腔内运行温度的测量主要通过接触式测温。接触式温度测量主要依靠热电偶和热电阻，只有当热电偶或热电阻与被测对象达到热平衡状态时，才能真实反映对象的温度。该测量系统的缺点是响应时间慢，只能在固定点测量温度，易受测量环境影响，如还原气氛、振动、接触件磨损等等，造成测温不准确，测量误差大，影响生产。
技术实现思路
鉴于上述现有技术存在的缺陷，本技术的目的在于提供一种结构简单，能够用于精确测量样品温度的真空腔室温度测量装置。为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空腔室温度测量装置，包括真空腔体，真空腔体底部设有电缆线引出口，电缆引出口处设有电缆密封装置，真空腔体内可拆卸地安装有测试支架和光学测温探头；测试支架通过设置在其底部的支架法兰安装在真空腔体底部，测试支架顶部水平设有至少一根样品悬臂杆，至少两个光学测温探头安装在样品悬臂杆的内部。进一步地，真空腔体内还设有位置调节结构，位置调节结构...
【技术保护点】
1.一种真空腔室温度测量装置，包括真空腔体，其特征在于，所述真空腔体底部设有电缆线引出口，所述电缆引出口处设有电缆密封装置，所述真空腔体内可拆卸地安装有测试支架和光学测温探头；所述测试支架通过设置在其底部的支架法兰安装在所述真空腔体底部，所述测试支架顶部水平设有至少一根样品悬臂杆，至少两个所述光学测温探头安装在所述样品悬臂杆的内部。
【技术特征摘要】
1.一种真空腔室温度测量装置，包括真空腔体，其特征在于，所述真空腔体底部设有电缆线引出口，所述电缆引出口处设有电缆密封装置，所述真空腔体内可拆卸地安装有测试支架和光学测温探头；所述测试支架通过设置在其底部的支架法兰安装在所述真空腔体底部，所述测试支架顶部水平设有至少一根样品悬臂杆，至少两个所述光学测温探头安装在所述样品悬臂杆的内部。2.根据权利要求1所述的真空腔室温度测量装置，其特征在于，所述真空腔体内还设有位置调节结构，所述位置调节结构包括依次套设在所述测试支架上的支架调节杆与支架立柱，所述支架调节杆与所述支架立柱通过所述支架法兰相连。3.根据权利要求2所述的真空腔室温度测量装置，其特征在于，所述测试支架顶部设有用以连接所述支架调节杆的支架顶部法兰，所述样品悬臂杆设置在所述支架顶部法兰上，并通过紧固螺钉固定。4.根据权利要求2所述的真空腔室温度测量装置，其特征在于，所述位置调节结构还包括立柱销...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈君，
申请(专利权)人：宁波涂冠镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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