The utility model discloses a spacing measuring device, which comprises a measuring body, the measuring body has an inclined measuring surface, the measuring surface is covered with a laminated structure, and also includes a trace removal roller. The trace removal roller is arranged between the laminated structure and the measuring body, and the trace removal roller can move along the measuring surface by covering the laminated structure on the measuring body. The contact traces are recorded by the stacked structure, which is convenient for data reading after the measuring device is taken out. At the same time, the measuring device can also be used in the liquid knife and wind knife wrapped by the cover plate for effective measurement, which improves the accuracy of the measuring data, simplifies the operation, improves the working efficiency, can be recycled and reduces the cost.
【技术实现步骤摘要】
一种间距测量装置
本技术涉及一种间距测量装置,特别是一种用于液晶制造领域的风刀和液刀与基板之间距离的测量装置。
技术介绍
在液晶显示制造领域,湿式设备是最常用的设备之一,风刀和液刀在新型半导体显示以及半导体的湿式设备中具有广泛应用,风刀装置一般设置在传送腔室出口,药液腔室之间以及除水腔室等。液刀一般设置在湿式腔室内部。在实际应用中各种风刀和液刀与基板的距离控制,跟产品的质量息息相关,因此风刀和液刀与基板之间的距离控制极为重要。随着液晶面板行业基板不断大型化,液晶显示制造设备的宽度也随着基板的增大而增大,对应的风刀和液刀的长度也不断增加,较长的风刀和液刀在安装使用过程中会存在形变的风险,风刀和液刀的形变会改变风刀和液刀与基板之间的距离,因此在设备保养和维护时,需要对风刀和液刀之间的距离进行测量,并且与标准进行对比,如果存在形变现象,则会做出相应的调整。目前的风刀和液刀的测量,往往不能直接将测量工具直接放置到风刀和液刀与基板之间,由于设备较大,风刀和液刀的设置深度可达一米以上,因此读数非常不方便以及不准确,在对有盖板包裹位置的风刀和液刀与基板之间的距离进行测量时,需要频繁拆装盖板,极易造成盖板松动,并引起相关设备异常。现在的测量方法不仅测量时间长,测量精度不高,而且测量效率低下。
技术实现思路
本技术提供了一种间距测量装置,该装置能够通过在测量主体上形成接触痕迹,方便在测量装置取出之后进行数据读数,提升了测量数据的准确性,操作简单,可以循环使用。一种间距测量装置,包括:测量主体,所述测量主体具有一个倾斜的测量面,所述测量面上覆盖叠层结构;所述间距测量装置还包括痕迹清除 ...
【技术保护点】
1.一种间距测量装置,包括:测量主体,其特征在于:所述测量主体具有一个倾斜的测量面,所述测量面上覆盖叠层结构;所述间距测量装置还包括痕迹清除辊,所述痕迹清除辊设置在叠层结构和测量主体之间,所述痕迹清除辊可以沿着测量面运动。
【技术特征摘要】
1.一种间距测量装置,包括:测量主体,其特征在于:所述测量主体具有一个倾斜的测量面,所述测量面上覆盖叠层结构;所述间距测量装置还包括痕迹清除辊,所述痕迹清除辊设置在叠层结构和测量主体之间,所述痕迹清除辊可以沿着测量面运动。2.根据权利要求1所述的间距测量装置,其特征在于:所述测量主体为三棱柱,所述三棱柱横截面为直角三角形,所述直角三角形的斜边所在面为测量面。3.根据权利要求1所述的间距测量装置,其特征在于:还包括手柄,所述手柄设置在测量主体的非测量面上。4.根据权利要求3所述的间距测量装置,其特征在于:所述手柄包括握持部和连接部,所述连接部采用中空设计,所述握持部嵌入连接部中。5.根据权利要求4所述的间距测...
【专利技术属性】
技术研发人员:马建伟,顾葆华,翟云华,赵辉,何方,金杨林,
申请(专利权)人:南京中电熊猫平板显示科技有限公司,南京中电熊猫液晶显示科技有限公司,南京华东电子信息科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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