一种8管高产能PECVD设备制造技术

本发明专利技术公开了一种8管高产能PECVD设备，包括底板与工作台，所述底板的一侧与工作台的一侧固定连接，本发明专利技术涉及工艺设备技术领域。该8管高产能PECVD设备，通过在底板顶部的一侧固定连接有气源柜,气源柜的一侧固定连接有主机柜，工作台顶部的一侧固定连接有密封炉，密封炉的一侧与主机柜的一侧固定连接，工作台的顶部固定连接有工作框，工作框的一侧与密封炉的一侧固定连接，工作框的顶部固定连接有安装板，工作台一侧的顶部固定连接有滑轨，滑轨的顶部滑动连接有送料架，工作框的内部滑动连接有推拉舟，可以有效地实现对于PECVD设备单位面积的缩减，降低企业单位使用该PECVD设备所需要占用面积，有效地提高单位面积的设备产能。

A PECVD Equipment with 8 Tubes and High Productivity

The invention discloses an 8-tube high-productivity PECVD device, which comprises a bottom plate and a worktable. One side of the bottom plate is fixedly connected with one side of the worktable. The invention relates to the technical field of process equipment. The 8-tube high-productivity PECVD equipment is fixedly connected with an air source cabinet on one side of the top of the bottom plate, a main cabinet on one side of the air source cabinet, a sealed furnace on one side of the top of the worktable, a fixed connection between one side of the sealed furnace and one side of the main cabinet, a fixed connection between the top of the worktable, a fixed connection between one side of the working frame and one side of the sealed furnace, and the top of the working frame. Fixed connection with installation board, fixed connection with sliding rail at the top of one side of worktable, sliding connection with feeding rack at the top of sliding rail, sliding connection with push-pull boat at the inside of working frame can effectively reduce the unit area of PECVD equipment, reduce the occupied area required by enterprises to use the PECVD equipment, and effectively improve the equipment productivity per unit area.

【技术实现步骤摘要】
一种8管高产能PECVD设备
本专利技术涉及工艺设备
，具体为一种8管高产能PECVD设备。
技术介绍
PECVD是指等离子体增强化学的气相沉积法，是太阳能电池片中比较重要的工序，也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标。镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术，太阳能电池的效率提升可以通过镀膜技术的提升来实现。光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，提高光电转换效率。但是，因为每一批电池片都需要监测，所以PECVD工序一般较忙。现在的设备生产状态下，原先的设备量已经无法满足产能的需求。而通过增加设备数量来提高产能，又会带来占地面积的问题，并且大多数电池片生产厂家的设备用地已经达到饱和，在这种情况下，提高设备本身的产能就成了迫切的需求。为了配合生产线其它设备，也为了增加市场竞争力，在提高设备产能的方式中，企业提高单位面积的设备产能是最有效、最经济的选择，企业现有PECVD设备存在占用单位面积大，并且产能低的缺点。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种8管高产能PECVD设备，解决了PECVD设备存在占用单位面积大，并且产能低的问题。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种8管高产能PECVD设备，包括底板与工作台，所述底板的一侧与工作台的一侧固定连接，所述底板顶部的一侧固定连接有气源柜,所述气源柜的一侧固定连接有主机柜，所述工作台顶部的一侧固定连接有密封炉，所述密封炉的一侧与主机柜的一侧固定连接，所述工作台的顶部固定连接有工作框，所述工作框的一侧与密封炉的一侧固定连接，所述工作框的顶部固定连接有安装板，所述工作台一侧的顶部固定连接有滑轨，所述滑轨的顶部滑动连接有送料架，所述工作框的内部滑动连接有推拉舟，所述推拉舟设置有四组。优选的，所述工作框的一侧固定连接有控制板，所述控制板的一侧固定连接有显示屏，所述显示屏的底部固定连接有控制按键。优选的，所述工作框内壁的一侧固定连接有机械手，所述工作框内壁的一侧固定连接有间歇台。优选的，所述安装板的顶部开设有通槽，所述通槽的内部连通有第一管道，所述第一管道设置有八组。优选的，所述气源柜与密封炉的顶部均固定连接有防护板，所述气源柜的顶部开设有通孔，所述主机柜的顶部连通有第二管道。优选的，所述气源柜与主机柜表面的两侧均通过合页铰接有扇门，两个所述扇门的表面均设置有把手。有益效果本专利技术提供了一种8管高产能PECVD设备。与现有技术相比具备以下有益效果：（1）、该8管高产能PECVD设备，通过在底板顶部的一侧固定连接有气源柜,气源柜的一侧固定连接有主机柜，工作台顶部的一侧固定连接有密封炉，密封炉的一侧与主机柜的一侧固定连接，工作台的顶部固定连接有工作框，工作框的一侧与密封炉的一侧固定连接，工作框的顶部固定连接有安装板，工作台一侧的顶部固定连接有滑轨，滑轨的顶部滑动连接有送料架，工作框的内部滑动连接有推拉舟，这样可以有效地实现对于PECVD设备单位面积的缩减，降低企业单位使用该PECVD设备所需要占用面积，有效地提高单位面积的设备产能。（2）、该8管高产能PECVD设备，通过在工作框的内部滑动连接有推拉舟，推拉舟设置有四组，工作框的一侧固定连接有控制板，控制板的一侧固定连接有显示屏，显示屏的底部固定连接有控制按键，可以方便的对该PECVD设备进行控制，并且四组推拉舟控制八管，可以大大的提高产能。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术结构的侧视图。图中：1底板、2工作台、3气源柜、4主机柜、5密封炉、6工作框、7安装板、8滑轨、9送料架、10推拉舟、11控制板、12显示屏、13控制按键、14机械手、15间歇台、16通槽、17第一管道、18防护板、19通孔、20第二管道、21扇门、22把手。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-2，本专利技术提供一种技术方案：一种8管高产能PECVD设备，包括底板1与工作台2，底板1的一侧与工作台2的一侧固定连接，底板1顶部的一侧固定连接有气源柜3,气源柜3与密封炉5的顶部均固定连接有防护板18，气源柜3的顶部开设有通孔19，主机柜4的顶部连通有第二管道20,气源柜3与主机柜4表面的两侧均通过合页铰接有扇门21，两个扇门21的表面均设置有把手22,该把手22上设置有防滑绝缘静电套，气源柜3的一侧固定连接有主机柜4，工作台2顶部的一侧固定连接有密封炉5，密封炉5的一侧与主机柜4的一侧固定连接，工作台2的顶部固定连接有工作框6，工作框6的一侧固定连接有控制板11，控制板11的一侧固定连接有显示屏12，显示屏12的底部固定连接有控制按键13,工作框6内壁的一侧固定连接有机械手14，工作框6内壁的一侧固定连接有间歇台15,工作框6的一侧与密封炉5的一侧固定连接，工作框6的顶部固定连接有安装板7，安装板7的顶部开设有通槽16，通槽16的内部连通有第一管道17，该第一管道17供外接线路接入，第一管道17设置有八组,工作台2一侧的顶部固定连接有滑轨8，滑轨8的顶部滑动连接有送料架9，工作框6的内部滑动连接有推拉舟10，该推拉舟10的底部在工作框6的内部滑动，每个推拉舟10控制两管，推拉舟10设置有四组。使用时，通过将底板1与工作台2的固定连接，将气源柜3、主机柜4、密封炉5与工作框6设置在底板1与工作台2上，可以有效地提高单位面积的设备产能，通过每个推拉舟10控制两个管，总共设置有四组推拉舟10，可以有效地提高产能，以上就是一种8管高产能PECVD设备的全部工作原理。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种8管高产能PECVD设备，包括底板（1）与工作台（2），所述底板（1）的一侧与工作台（2）的一侧固定连接，其特征在于：所述底板（1）顶部的一侧固定连接有气源柜（3）,所述气源柜（3）的一侧固定连接有主机柜（4），所述工作台（2）顶部的一侧固定连接有密封炉（5），所述密封炉（5）的一侧与主机柜（4）的一侧固定连接，所述工作台（2）的顶部固定连接有工作框（6），所述工作框（6）的一侧与密封炉（5）的一侧固定连接，所述工作框（6）的顶部固定连接有安装板（7），所述工作台（2）一侧的顶部固定连接有滑轨（8），所述滑轨（8）的顶部滑动连接有送料架（9），所述工作框（6）的内部滑动连接有推拉舟（10），所述推拉舟（10）设置有四组。

【技术特征摘要】
1.一种8管高产能PECVD设备，包括底板（1）与工作台（2），所述底板（1）的一侧与工作台（2）的一侧固定连接，其特征在于：所述底板（1）顶部的一侧固定连接有气源柜（3）,所述气源柜（3）的一侧固定连接有主机柜（4），所述工作台（2）顶部的一侧固定连接有密封炉（5），所述密封炉（5）的一侧与主机柜（4）的一侧固定连接，所述工作台（2）的顶部固定连接有工作框（6），所述工作框（6）的一侧与密封炉（5）的一侧固定连接，所述工作框（6）的顶部固定连接有安装板（7），所述工作台（2）一侧的顶部固定连接有滑轨（8），所述滑轨（8）的顶部滑动连接有送料架（9），所述工作框（6）的内部滑动连接有推拉舟（10），所述推拉舟（10）设置有四组。2.根据权利要求1所述的一种8管高产能PECVD设备，其特征在于：所述工作框（6）的一侧固定连接有控制板（11），所述控制板（11）的一侧固定连接有显示屏（12），所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔慧敏，林罡，王鹏，
申请(专利权)人：无锡华源晶电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32