一种高产能1600片五管低压扩散设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机，所述主机的正面通过合页铰接有主机门，所述主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，所述密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，所述低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口，本实用新型专利技术涉及低压扩散炉技术领域。该高产能1600片五管低压扩散设备，通过主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，密封炉的右侧设置有低压密封门，通过紧凑的结构形式省掉了每台设备的预留控制，相当于现在的两台设备只需要原先一台设备的操作空间，两列工艺管可以共用工作台的送取料系统，大幅度上降低了晶片的生产成本。

A high capacity 1600 five tube low pressure diffusion equipment

【技术实现步骤摘要】
一种高产能1600片五管低压扩散设备
本技术涉及低压扩散炉
，具体为一种高产能1600片五管低压扩散设备。
技术介绍
传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散，但是随着高效晶硅电池的发展，扩散结深的不断变浅，常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求，低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境，提升扩散制结的性能，通过对低压扩散机理的详细分析，从扩散分子自由程、掺杂原子分压比和气场均匀性等方面详细分析了低压扩散对高方阻均匀性的影响关系，采用新型低压扩散炉可获得更好的均匀性，载片量较常压扩散大幅度提升，具有无可比拟的生产优势，是未来扩散技术的主要发展方向。随着低压扩散在光伏扩散工艺中的不断深入发展，设备产能成为了客户的迫切需求，光伏电池片生产厂家在扩大产能的同时，设备的占地成了新问题，在光伏电池片发展到今天，虽然晶片的质量一直在不断的提高，但是产能也是生产厂家获取利益的主要来源，所以产能的需求一直在不断的扩大，但是绝大多数工厂的利用率基本达到饱和状态，这时候，单位占地面积的产能成为衡量设备的新指标，目前，全球市场上的低压扩散炉产能是1200片/管，每台设备最高配置5管，产能难以跟上需求，生产成本较高，单位面积产能饱和。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种高产能1600片五管低压扩散设备，解决了现有技术中低压扩散设备单位面积产能饱和，产能难以提高的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机，所述主机的正面通过合页铰接有主机门，所述主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，所述密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，所述低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口，所述入料口的右侧设置有机械手，并且密封炉的右侧设置有支架，并且支架的内部设置有自动控制系统，所述支架的内侧设置有自动送取料系统，并且支架的底部设置有底板，所述底板的顶部设置有滑轨，并且滑轨的顶部与支架的底部滑动连接。优选的，所述支架的正面设置有控制台，并且控制台的顶部设置有显示屏。优选的，所述控制台的中部设置有控制板，并且控制台的中部开设有与控制板相适配的收纳槽，所述控制板的正面设置有把手。优选的，所述自动送取料系统的中部设置有石英舟，并且自动送取料系统通过驱动系统驱动石英舟左右运动。优选的，所述气源柜的正面通过合页铰接有柜门。优选的，所述主机、气源柜和密封炉成对设置，并且工艺管设置为5层，单管产能为1600片/管。有益效果本技术提供了一种高产能1600片五管低压扩散设备。与现有技术相比具备以下有益效果：（1）、该高产能1600片五管低压扩散设备，通过主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口，入料口的右侧设置有机械手，并且密封炉的右侧设置有支架，并且支架的内部设置有自动控制系统，支架的内侧设置有自动送取料系统，并且支架的底部设置有底板，底板的顶部设置有滑轨，并且滑轨的顶部与支架的底部滑动连接，主机、气源柜和密封炉成对设置，并且工艺管设置为5层，单管产能为1600片/管，通过紧凑的结构形式省掉了每台设备的预留控制，相当于现在的两台设备只需要原先一台设备的操作空间，根据此设备的操作空间计算，本技术设备使得单位面积的产能提高了50%，在此基础上，两列工艺管可以共用工作台的送取料系统，这样在很大幅度上降低了晶片的生产成本，给企业带来更高的效益，满足了产能不断扩大的需求，也解决了太阳能电池片生产单位占地问题，降低了生产成本。（2）、该高产能1600片五管低压扩散设备，通过支架的正面设置有控制台，并且控制台的顶部设置有显示屏，控制台的中部设置有控制板，并且控制台的中部开设有与控制板相适配的收纳槽，控制板的正面设置有把手，自动送取料系统的中部设置有石英舟，并且自动送取料系统通过驱动系统驱动石英舟左右运动，气源柜的正面通过合页铰接有柜门，主机、气源柜和密封炉成对设置，并且工艺管设置为5层，单管产能为1600片/管，控制板可进行收纳，便于控制板的保护，节省空间，柜门便于对设备的维护检修操作。附图说明图1为本技术结构的主视图；图2为本技术支架结构的侧视图；图3为本技术图1中A处的局部放大图。图中：1-主机、2-主机门、3-气源柜、4-密封炉、5-低压密封门、6-工艺管、7-入料口、8-机械手、9-支架、10-自动控制系统、11-自动送取料系统、12-底板、13-滑轨、14-控制台、15-显示屏、16-控制板、17-收纳槽、18-把手、19-石英舟、20-柜门。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机1，本设备主要包括机架（包括气源柜3、工作台、主机1和支架9）部分、炉门密封机构、加热炉体部分、真空系统、自动送取料系统11、工艺气路系统以及自动控制系统10，文中所提及系统部分均为现有技术中成熟运用，不多做阐述，主机1的正面通过合页铰接有主机门2，主机1的左侧设置有气源柜3，气源柜3中含真空系统，气源柜3的正面通过合页铰接有柜门20，并且主机1的右侧设置有密封炉4，主机1、气源柜3和密封炉4成对设置，并且工艺管6设置为5层，单管产能为1600片/管，密封炉4的右侧设置有低压密封门5，并且密封炉4的内部设置有工艺管6，低压密封门5的中部且位于工艺管6的右端设置有入料口7，入料口7的右侧设置有机械手8，并且密封炉4的右侧设置有支架9，支架9的正面设置有控制台14，并且控制台14的顶部设置有显示屏15，控制台14的中部设置有控制板16，并且控制台14的中部开设有与控制板16相适配的收纳槽17，控制板16的正面设置有把手18，并且支架9的内部设置有自动控制系统10，自动控制系统10发挥着大脑的指挥作用，通过一整套严密的闭环控制软件，使得本技术设备能够给扩散晶片提供稳定的低压环境，支架9的内侧设置有自动送取料系统11，自动送取料系统11的功能就是把载有未扩散晶片的石英舟19通过送取料系统的机械手8，放到每管对应的推拉舟上，然后再送入工艺管6内，自动送取料系统11的中部设置有石英舟19，并且自动送取料系统11通过驱动系统驱动石英舟19左右运动，并且支架9的底部设置有底板12，底板12的顶部设置有滑轨13，并且滑轨13的顶部与支架9的底部滑动连接，支架9通过控制系统和推动气缸控制在底板12上移动，使两套工艺管6公用一个送料系统，推动气缸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机（1），所述主机（1）的正面通过合页铰接有主机门（2），其特征在于：所述主机（1）的左侧设置有气源柜（3），并且主机（1）的右侧设置有密封炉（4），所述密封炉（4）的右侧设置有低压密封门（5），并且密封炉（4）的内部设置有工艺管（6），所述低压密封门（5）的中部且位于工艺管（6）的右端设置有入料口（7），所述入料口（7）的右侧设置有机械手（8），并且密封炉（4）的右侧设置有支架（9），并且支架（9）的内部设置有自动控制系统（10），所述支架（9）的内侧设置有自动送取料系统（11），并且支架（9）的底部设置有底板（12），所述底板（12）的顶部设置有滑轨（13），并且滑轨（13）的顶部与支架（9）的底部滑动连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机（1），所述主机（1）的正面通过合页铰接有主机门（2），其特征在于：所述主机（1）的左侧设置有气源柜（3），并且主机（1）的右侧设置有密封炉（4），所述密封炉（4）的右侧设置有低压密封门（5），并且密封炉（4）的内部设置有工艺管（6），所述低压密封门（5）的中部且位于工艺管（6）的右端设置有入料口（7），所述入料口（7）的右侧设置有机械手（8），并且密封炉（4）的右侧设置有支架（9），并且支架（9）的内部设置有自动控制系统（10），所述支架（9）的内侧设置有自动送取料系统（11），并且支架（9）的底部设置有底板（12），所述底板（12）的顶部设置有滑轨（13），并且滑轨（13）的顶部与支架（9）的底部滑动连接。


2.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述支架（9）的正面设置有控制台（14），并且控制台（14）的顶部设置有显...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔慧敏，林罡，王鹏，曹其伟，
申请(专利权)人：无锡华源晶电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32