一种高产能1600片五管低压扩散设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机，所述主机的正面通过合页铰接有主机门，所述主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，所述密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，所述低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口，本实用新型专利技术涉及低压扩散炉技术领域。该高产能1600片五管低压扩散设备，通过主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，密封炉的右侧设置有低压密封门，通过紧凑的结构形式省掉了每台设备的预留控制，相当于现在的两台设备只需要原先一台设备的操作空间，两列工艺管可以共用工作台的送取料系统，大幅度上降低了晶片的生产成本。

A high capacity 1600 five tube low pressure diffusion equipment

【技术实现步骤摘要】
一种高产能1600片五管低压扩散设备
本技术涉及低压扩散炉
，具体为一种高产能1600片五管低压扩散设备。
技术介绍
传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散，但是随着高效晶硅电池的发展，扩散结深的不断变浅，常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求，低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境，提升扩散制结的性能，通过对低压扩散机理的详细分析，从扩散分子自由程、掺杂原子分压比和气场均匀性等方面详细分析了低压扩散对高方阻均匀性的影响关系，采用新型低压扩散炉可获得更好的均匀性，载片量较常压扩散大幅度提升，具有无可比拟的生产优势，是未来扩散技术的主要发展方向。随着低压扩散在光伏扩散工艺中的不断深入发展，设备产能成为了客户的迫切需求，光伏电池片生产厂家在扩大产能的同时，设备的占地成了新问题，在光伏电池片发展到今天，虽然晶片的质量一直在不断的提高，但是产能也是生产厂家获取利益的主要来源，所以产能的需求一直在不断的扩大，但是绝大多数工厂的利用率基本达到饱和状态，这时候，单位占地面积的产能成为衡量设备的新指标，目前，全球市场上的低压扩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机（1），所述主机（1）的正面通过合页铰接有主机门（2），其特征在于：所述主机（1）的左侧设置有气源柜（3），并且主机（1）的右侧设置有密封炉（4），所述密封炉（4）的右侧设置有低压密封门（5），并且密封炉（4）的内部设置有工艺管（6），所述低压密封门（5）的中部且位于工艺管（6）的右端设置有入料口（7），所述入料口（7）的右侧设置有机械手（8），并且密封炉（4）的右侧设置有支架（9），并且支架（9）的内部设置有自动控制系统（10），所述支架（9）的内侧设置有自动送取料系统（11），并且支架（9）的底部设置有底板（12），所述底板（12）的顶部设...

【技术特征摘要】
1.一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机（1），所述主机（1）的正面通过合页铰接有主机门（2），其特征在于：所述主机（1）的左侧设置有气源柜（3），并且主机（1）的右侧设置有密封炉（4），所述密封炉（4）的右侧设置有低压密封门（5），并且密封炉（4）的内部设置有工艺管（6），所述低压密封门（5）的中部且位于工艺管（6）的右端设置有入料口（7），所述入料口（7）的右侧设置有机械手（8），并且密封炉（4）的右侧设置有支架（9），并且支架（9）的内部设置有自动控制系统（10），所述支架（9）的内侧设置有自动送取料系统（11），并且支架（9）的底部设置有底板（12），所述底板（12）的顶部设置有滑轨（13），并且滑轨（13）的顶部与支架（9）的底部滑动连接。


2.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述支架（9）的正面设置有控制台（14），并且控制台（14）的顶部设置有显...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔慧敏，林罡，王鹏，曹其伟，
申请(专利权)人：无锡华源晶电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32