【技术实现步骤摘要】
一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备
本技术涉及太阳能电池
,尤其涉及一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备。
技术介绍
在现阶段能源问题日益严峻,传统能源储量下降和带来的环境问题越来越制约经济的发展,从而导致新能源产业迅猛发展。在这样的大背景下光伏产业作为新能源产业的中坚力量,快速在我国遍地开花。但是,长期以来光伏产业的尖端技术和工艺大部分被国外企业所垄断,况且光伏行业又面临越来越激烈的竞争,这就要求我们国内企业必须搞自主研发,提升国内光伏企业的竞争力。在各种太阳能电池中,硅太阳能电池因其可靠性高、寿命长、能承受各种环境变化等优点成为太阳能电池的主要品种。太阳电池产业化所面临的主要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下降低生产成本。多晶电池片既能增大电池有效受光面积且不至于显著增大电阻损失影响填充因子,又能降低单片电池银浆耗量,从而使得转换效率提升和生产成本降低,提升企业的市场竞争力。通过多晶电池片的实施,可推进我国光伏技术的发展和进步,提高光电转换效率,降低太阳电池的生产成本,解决因日益严重的能源匮乏而制约我国经济发展的矛盾。制备多晶电池片时,采用湿氧扩散工艺可以成较好的氧化层,提升对硅片的钝化,减少晶体内部缺陷。而在优质氧化层的基础上,可以提高扩散的均匀性,均匀扩散表面PN结,从而利于形成浅结,减少表面复合,适应高效晶体硅太阳能电池浅结高方阻扩散的发展趋势,从而提高电池片转换效率。因此需要一种能够进行湿氧扩散的设备。
技术实现思路
本技术要解决上述问题,提供一种用于制备多晶 ...
【技术保护点】
1.一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备,包括扩散炉(1)、与扩散炉(1)连接的源气罐(2)、真空泵(3)以及尾气处理装置(4),其特征在于:所述源气罐(2)与所述扩散炉(1)连通的输气管通过支管连通有湿氧装置(5),所述湿氧装置(5)包括设有进水口(501)、进氧口(502)和湿氧出口(503)的圆柱状的壳体(500)以及安装于壳体(500)内的加热组件和搅拌组件;所述加热组件包括若干可伸缩的加热柱(510),所述加热柱(510)将壳体(500)内部空间分为中心区和分支区;所述搅拌组件包括驱动电机(520)、中心搅拌柱(530)和若干分支搅拌柱(540),所述中心搅拌柱(530)固定连接于驱动电机(520)的输出轴并安装于中心区,所述分支搅拌柱(540)通过行星轮传动结构与驱动电机(520)的输出轴连接并安装于分支区,所述行星轮传动结构包括中心轮(541)、行星轮(542)和齿圈(543),所述中心轮(541)套接于驱动电机(520)输出轴,并通过行星轮(542)传动与所述分支搅拌柱(540)连接的齿圈(543);所述加热柱(510)由所述行星轮(542)中间穿出。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备,包括扩散炉(1)、与扩散炉(1)连接的源气罐(2)、真空泵(3)以及尾气处理装置(4),其特征在于:所述源气罐(2)与所述扩散炉(1)连通的输气管通过支管连通有湿氧装置(5),所述湿氧装置(5)包括设有进水口(501)、进氧口(502)和湿氧出口(503)的圆柱状的壳体(500)以及安装于壳体(500)内的加热组件和搅拌组件;所述加热组件包括若干可伸缩的加热柱(510),所述加热柱(510)将壳体(500)内部空间分为中心区和分支区;所述搅拌组件包括驱动电机(520)、中心搅拌柱(530)和若干分支搅拌柱(540),所述中心搅拌柱(530)固定连接于驱动电机(520)的输出轴并安装于中心区,所述分支搅拌柱(540)通过行星轮传动结构与驱动电机(520)的输出轴连接并安装于分支区,所述行星轮传动结构包括中心轮(541)、行星轮(542)和齿圈(543),所述中心轮(541)套接于驱动电机(520)输出轴,并通过行星轮(542)传动与所述分支搅拌柱(540)连接的齿圈(543);所述加热柱(510)由所述行星轮(542)中间穿出。
2.根据权利要求1所述的一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备,其特征在于:所述加热柱(510)顶部安装有液位检测器,所述加热柱(510)中心点之间围成以壳体(500)底面中心为中心,半径小于壳体底面半径的圆。
3.根据权利要求1所述的一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备,其特征在于:所述中心搅拌柱(530)的顶部安装有水平向上倾斜30°-60°的蒸汽扰流板(531),所述蒸汽扰流板(531)开设有若干小孔。
4.根据权利要求3所述的一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备,其特征在于:所述壳体(500)顶部中心向上凸出形成蒸汽柜(550),所述蒸汽柜(550)中部设有过滤板(551)并将蒸汽柜(550)内腔分为混合气区和混合区;所述进氧口(502)设置于混合区。
技术研发人员:朱志明,李小飞,李佳文,杨尔刚,何一峰,牛嘉军,
申请(专利权)人:浙江贝盛光伏股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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