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本实用新型公开了一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机，所述主机的正面通过合页铰接有主机门，所述主机的左侧设置有气源柜，并且主机的右侧设置有密封炉，所述密封炉的右侧设置有低压密封门，并且密封炉的内部设置有工艺管，所述低压密封门的中部...
该专利属于无锡华源晶电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华源晶电科技有限公司授权不得商用。

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