本实用新型专利技术提供一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管、石英炉门以及石英套管，装置主体的内部设置有石英炉，石英炉的内部套有石英管，所述石英炉的右侧设置有石英炉门，所述石英炉门的左侧连接有传动导向杆，所述传动导向杆的左端连接有直线轴连接板，所述石英炉门的左侧还连接有传动连接组件，所述传动连接组件左侧连接有送料桨杆固定组件，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：操作简单，石英炉门自身可调整和石英管端面之间闭合的角度，保证密封性，增加设备使用寿命，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。
A new type of quartz furnace used in oxidation diffusion furnace
【技术实现步骤摘要】
一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置
本技术是一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，属于一种高温氧化扩散合金等工艺热处理设备。
技术介绍
扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。目前行业内所使用的氧化扩散炉起上料送片作用的石英炉门装置为硬连接结构，设备长期使用后，硅片装载区石英管会因高温下重力作用而变型下沉，石英管变型下沉会造成石英管口垂直度不好，外隔热的石英挡片与石英管之间的端面会逐渐产生闭合不严的现象，石英管内工艺气氛环境不稳定，导致产品合格率下降，设备产能降低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管、石英炉门以及石英套管，所述装置主体的内部设置有石英炉，所述石英炉的内部套有石英管，所述石英炉的右侧设置有石英炉门，所述石英炉门的左侧连接有传动导向杆，所述传动导向杆的左端连接有直线轴连接板，所述石英炉门的左侧还连接有传动连接组件，所述传动连接组件左侧连接有送料桨杆固定组件，所述送料桨杆固定组件左侧通过送料桨杆外弹簧连接送料桨杆，所述送料桨杆套在石英挡片上，所述石英挡片的表面开有两个稳定固定孔以及一个调整固定孔，挡片连接杆插在调整固定孔内，所述石英挡片通过挡片连接杆与连接杆弹簧连接，所述挡片连接杆套在连接杆套杆内，连接杆套杆内含连接杆弹簧。进一步地，所述送料桨杆的一端穿过石英挡片的稳定固定孔与送料桨杆外弹簧连接，所述送料桨杆的另一端套有石英管。进一步地，所述调整固定孔内套有调整环，所述挡片连接杆插在调整固定孔内的调整环内。进一步地，挡片连接杆通过调整固定孔将石英挡片与传动连接组件相连。进一步地，连接杆套杆外表面滚有外螺纹，管螺母内表面滚有内螺纹，所述连接杆套管通过外螺纹与内螺纹相配合，继而与管螺母连接。本技术的有益效果：本技术的一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，操作简单，石英炉门自身可调整和石英管端面之间闭合的角度，保证密封性，增加设备使用寿命，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置的结构示意图；图2为本技术一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置的石英炉门示意图；图3为本技术一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置的石英炉门俯视示意图；图4为本技术一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置的石英挡片示意图；图中：1-石英管、2-石英炉门、3-石英套管、4-送料桨杆固定组件、5-传动连接组件、6-连接杆套杆、7-管螺母、8-挡片连接杆、9-传动导向杆、10-直线轴连接板、11-送料桨杆外弹簧、12-连接杆弹簧、13-送料桨杆、14-石英挡片、15-调整固定孔。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管1、石英炉门2以及石英套管3，装置主体的内部设置有石英炉，石英炉的内部套有石英管1，石英炉的右侧设置有石英炉门2，石英炉门2的左侧连接有传动导向杆9，传动导向杆9的左端连接有直线轴连接板10，石英炉门2的左侧还连接有传动连接组件5，传动连接组件5左侧连接有送料桨杆13固定组件4，送料桨杆13固定组件4左侧通过送料桨杆外弹簧11连接送料桨杆13，送料桨杆13套在石英挡片14上，石英挡片14的表面开有两个稳定固定孔以及一个调整固定孔15，挡片连接杆8插在调整固定孔15内，石英挡片14通过挡片连接杆8与连接杆弹簧12连接，挡片连接杆8套在连接杆套杆6内，连接杆套杆6内含连接杆弹簧12。送料桨杆13的一端穿过石英挡片14的稳定固定孔与送料桨杆外弹簧11连接，送料桨杆13的另一端套有石英管1。调整固定孔15内套有调整环，挡片连接杆8插在调整固定孔15内的调整环内。挡片连接杆8通过调整固定孔15将石英挡片14与传动连接组件5相连。连接杆套杆6外表面滚有外螺纹，管螺母7内表面滚有内螺纹，连接杆套管通过外螺纹与内螺纹相配合，继而与管螺母7连接做为本技术的一个实施例：设备安装时，需要调整石英挡片14与石英管1的端面保持垂直完全闭合，这样才能有效的保证石英炉腔内的密封。传动连接组件5上安装送料桨杆外弹簧11和连接杆弹簧12，通过送料桨杆外弹簧11和连接杆弹簧12将石英挡片14紧紧的贴合在石英管1的端面上，使两者完全接触，起到密封的作用，同时送料桨杆外弹簧11和连接杆弹簧12又可以避免使用过程中操作不慎发生碰撞损坏石英挡片14的情况；当经过长时间的工作后，石英管1中部会因高温重力的原因造成变型下沉，这时石英管1的端面不在垂直，此时通过挡片连接杆8是安装在石英挡板连接的调整固定孔15内，与调整固定孔15又一定的空隙，可以根据实际情况，在连接杆弹簧12压紧的状态下，自调节适应石英挡片14的角度，使石英挡片14与石英管1的端面的完全接触闭合。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管、石英炉门以及石英套管，其特征在于：所述装置主体的内部设置有石英炉，所述石英炉的内部套有石英管，所述石英炉的右侧设置有石英炉门，所述石英炉门的左侧连接有传动导向杆，所述传动导向杆的左端连接有直线轴连接板，所述石英炉门的左侧还连接有传动连接组件，所述传动连接组件左侧连接有送料桨杆固定组件，所述送料桨杆固定组件左侧通过送料桨杆外弹簧连接送料桨杆，所述送料桨杆套在石英挡片上，所述石英挡片的表面开有两个稳定固定孔以及一个调整固定孔，挡片连接杆插在调整固定孔内，所述石英挡片通过挡片连接杆与连接杆弹簧连接，所述挡片连接杆套在连接杆套杆内，连接杆套杆内含连接杆弹簧。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管、石英炉门以及石英套管，其特征在于：所述装置主体的内部设置有石英炉，所述石英炉的内部套有石英管，所述石英炉的右侧设置有石英炉门，所述石英炉门的左侧连接有传动导向杆，所述传动导向杆的左端连接有直线轴连接板，所述石英炉门的左侧还连接有传动连接组件，所述传动连接组件左侧连接有送料桨杆固定组件，所述送料桨杆固定组件左侧通过送料桨杆外弹簧连接送料桨杆，所述送料桨杆套在石英挡片上，所述石英挡片的表面开有两个稳定固定孔以及一个调整固定孔，挡片连接杆插在调整固定孔内，所述石英挡片通过挡片连接杆与连接杆弹簧连接，所述挡片连接杆套在连接杆套杆内，连接杆套杆内含连接杆弹簧。
2.根据权利要求1所述的一种应...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛华旗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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