【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氮气气幕帘，特别是涉及一种快速合金退火炉用氮气气幕帘。
技术介绍
1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
2、在现有技术中快速退火炉已经可以实现让晶圆片快速进入高温的工艺腔，但进入速度很快的同时，会将晶圆片间的氧气同时带入高温的工艺腔，直接影响晶圆片的退火效果，严重的会产生氧化的情况，为了解决这一问题，因此提出一种快速合金退火炉用氮气气幕帘。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是晶圆片进入退火炉的时候，晶圆片间的氧气同时带入高温的工艺腔，直接影响晶圆片的退火效果，严重的会产生氧化的情况。
2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，包括用于退火炉的石英管本体，所述石英管本体的一端固定连接有多个过渡管，其中一个所述过渡管的一端固定连接有第一进气管；
3、所述石英管本体的另一端固定连接有氮气气幕帘装置，所述氮气气幕帘装置包括连接管和气幕帘本体，所述气幕帘本体的环形表面均匀分布固定连接有两个第二进气管，所述气幕帘本体的内侧壁开设有多个通气孔。
4、优选的，所述第一进气管的一端开设有第一进气口，所述第二进气管的一
5、优选的，所述第一进气管、石英管本体、过渡管、氮气气幕帘装置和第二进气管之间相互连通，使得石英管本体的内部更容易充满氮气。
6、优选的，所述石英管本体和氮气气幕帘装置接口处为电焊连接，使得石英管本体和氮气气幕帘的连接更加牢固。
7、优选的，所述第一进气管和第二进气管为软管，使得在冲氮气的时候不会泄露。
8、优选的，所述第一进气管和第二进气管均安装有封堵塞，使得快速合金退火炉用氮气气幕帘不使用时，灰尘不会从第一进气管和第二进气管进入到石英管本体的内部。
9、本技术的有益效果如下：
10、本技术通过设置氮气气幕帘装置、通气孔、第一进气管和第二进气管等结构，在退火炉上增加氮气气幕帘装置，送料时第一进气管和第二进气管同时通入氮气，氮气气幕帘内壁开有一圈通气孔，氮气在石英管内流转，能够有效隔绝外界空气进入石英管内部，创造绝氧环境，使得圆晶片不会产生氧化的情况，从而提高材料性能，实用性更强。
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1.一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，包括用于退火炉的石英管本体（1），其特征在于：所述石英管本体（1）的一端固定连接有多个过渡管（2），其中一个所述过渡管（2）的一端固定连接有第一进气管（4）；
2.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）的一端开设有第一进气口，所述第二进气管（5）的一端开设有第二进气口。
3.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）、石英管本体（1）、过渡管（2）、氮气气幕帘装置和第二进气管（5）之间相互连通。
4.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述石英管本体（1）和氮气气幕帘装置接口处为电焊连接。
5.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）和第二进气管（5）为软管。
6.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）和第二进气管（5）均安装有封堵塞。
【技术特征摘要】
1.一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，包括用于退火炉的石英管本体（1），其特征在于：所述石英管本体（1）的一端固定连接有多个过渡管（2），其中一个所述过渡管（2）的一端固定连接有第一进气管（4）；
2.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）的一端开设有第一进气口，所述第二进气管（5）的一端开设有第二进气口。
3.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉用氮气气幕帘，其特征在于：所述第一进气管（4）、石英管...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜洪斌，李强，李绍东，
申请(专利权)人：青岛华旗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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