一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟制造技术

本发明专利技术公开了一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体、石墨舟本体和硅片，所述的石墨舟本体设在腔体内，所述的腔体为长方体或圆柱体，所述的腔体水平方向的直径大于两个硅片尺寸，所述的石墨舟本体包括若干个石墨舟片，所述的石墨舟片的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片均垂直于水平面，所述的石墨舟片之间相互平行排列，所述的石墨舟片有两个开口向上的开口槽，所述的硅片固定在开口槽内，相邻两个石墨舟片的间距为3毫米～7毫米，本发明专利技术提供一种产能高、一次性完成双面镀膜且PERC技改或扩产过程中插片机和镀膜设备的需求减少的用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟。

A Graphite Boat Used for Double-sided Coating of Solar Cells

The invention discloses a graphite boat for double-sided coating of solar cells, including a cavity, a graphite boat body and a silicon wafer. The graphite boat body is arranged in a cavity. The cavity body is a cuboid or a cylinder. The diameter of the horizontal direction of the cavity is larger than two silicon wafer sizes. The graphite boat body includes several graphite boats and the cross section of the graphite boat plate. The shape of the graphite boat is \E\. The graphite boat plates are vertical to the horizontal plane. The graphite boat plates are arranged in parallel with each other. The graphite boat plates have two openings upward. The silicon sheet is fixed in the opening slot, and the distance between the two adjacent graphite boats is 3 mm to 7 mm. The invention provides a high productivity, one-time double-sided coating and PERC technical modification or expansion. Graphite boats for double-sided coating of solar cells have reduced demand for inserting machines and coating equipment during production.

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟
本专利技术涉及太阳能电池工艺设备
，尤其涉及一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟。
技术介绍
太阳能电池工艺流程中需要PECVD镀膜SIN对电池的绒面进行钝化，但PERC电池工艺逐步成为主流电池工艺后,对PECVD镀膜产能产生100％以上的额外需求，需要电池制造厂家额外扩产，据现有技术PERC电池需要正面和背面两次镀膜,需要自动插片机插换2次才能完成此工艺流程,主要原因为现有的镀膜方式为单面镀膜，现有的太阳能电池片镀膜SIN的腔体为：1,硅片与PECVD炉体平行排布，单排6-7片；2,硅片通过3个卡点和石墨舟片接触；3,石墨舟片为23片,单排可以放44片(两侧舟片放1片,中间21片舟片每片舟片放2片),6排或7排可以最多放308片(7排)；4,舟片之间通过陶瓷干线连接,分别连接射频正负2极。综上所述，绝大部分厂家由于空间和设备产能/资金的压力无法达成此技改要求，产能低，无法一次性完成双面镀膜，PERC技改或扩产过程中插片机和镀膜设备的需求增加。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：克服以上现有技术的缺陷，提供一种产能高、一次性完成双面镀膜且PERC技改或扩产过程中插片机和镀膜设备的需求减少的用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟。本专利技术所采取的技术方案是：一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体、石墨舟本体和硅片，所述的石墨舟本体设在腔体内，所述的腔体为长方体或圆柱体，所述的腔体水平方向的直径大于两个硅片尺寸，所述的石墨舟本体包括若干个石墨舟片，所述的石墨舟片的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片均垂直于水平面，所述的石墨舟片之间相互平行排列，所述的石墨舟片有两个开口向上的开口槽，所述的硅片固定在开口槽内，相邻两个石墨舟片的间距为3毫米～7毫米，所述的石墨舟片之间设有用于把石墨舟片连接起来的陶瓷杆，所述的石墨舟片以正负间隔线排列。采用以上结构后，本专利技术与现有技术相比具有以下优点：腔体就是太阳能电池片镀膜SIN的腔体，PECVD真空腔内硅片排布方式为垂直于长方体腔体或圆柱体真空腔体，单片间隔为(也就是相邻两个石墨舟片的间距)3毫米～7毫米，优选为4、5或6毫米，双排排列，此设计可以满足现阶段炉体满足560片设计，常规设计为308片，常规设计：7排*(21片石墨舟*2+2)＝7*44＝308片，新设计：7*200mm(炉管恒温长度)/5mm间距*2排＝560片，硅片排布方式由石墨舟本体实现，其中石墨舟本体由多片石墨舟片连接而成，石墨舟片单片设计为横E型，如图2所示E字体中间位置为硅片放置区域,石墨舟片排布以正负间隔连接，正负间隔连接就是在相邻两个正面排布的石墨舟片之间插入反面排布的石墨舟片，石墨舟片间距保持5mm，可实现双面镀膜，简化了工艺流程，节约大量的设备投资和人力/车间空间投资。作为优选，所述的石墨舟片下方的一侧设有舟片脚，所述的石墨舟片奇数片之间设有把舟片脚连接起来的第一石墨杆，所述的石墨舟片偶数片之间设有把舟片脚连接起来的第二石墨杆，所述的舟片脚上设有石墨块，所述的石墨块分别与第一石墨杆和第二石墨杆连接，所述的石墨块上均设有电极口，便于把石墨舟片连接起来，结构简单，可靠性高，奇数片的石墨舟片是正面排布，偶数片的石墨舟片是反面排布。作为优选，所述的第一石墨杆两端和第二石墨杆两端均设有石墨螺帽，使第一石墨杆和第二石墨杆固定在舟片脚上，通过石墨杆连接舟脚保持正负交替互联，从舟一侧引出电极端。作为优选，所述的陶瓷杆两端也均设有石墨螺帽，使陶瓷杆固定在石墨舟片上。作为优选，所述的陶瓷杆位于两个石墨舟片之间的部分设有陶瓷圈，陶瓷圈固定间距。作为优选，所述的开口槽内设有至少三个卡点，所述的卡点分别分布在开口槽底部和开口槽的两侧，硅片固定在开口槽内，为确保硅片与石墨舟本体可以形成良好导电，底部采用U型卡点，两侧采用V型卡点，卡点数量设计为4或6个。作为优选，所述的卡点位于开口槽底部的形状为“U”形，所述的卡点位于开口槽两侧的形状为“V”形，确保硅片与石墨舟本体可以形成良好导电。附图说明图1是本专利技术一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟的示意图。图2是本专利技术一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟的主视图。图3是本专利技术一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟石墨舟片带硅片的主视图。图4是本专利技术一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟石墨舟片不带硅片的后视图。图5是本专利技术一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟石墨舟片的立体图。图6是图5中A的放大示意图。其中，1、腔体，2、石墨舟本体，3、硅片，4、石墨舟片，5、开口槽，6、舟片脚，7、陶瓷杆，8、第一石墨杆，9、第二石墨杆，10、石墨块，11、电极口，12、石墨螺帽，13、陶瓷圈，14、卡点。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步说明。如图所示，本专利技术提供一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体1、石墨舟本体2和硅片3，所述的石墨舟本体2设在腔体1内，所述的腔体1为长方体或圆柱体，所述的腔体1水平方向的直径大于两个硅片3尺寸，所述的石墨舟本体2包括若干个石墨舟片4，所述的石墨舟片4的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片4均垂直于水平面，所述的石墨舟片4之间相互平行排列，所述的石墨舟片4有两个开口向上的开口槽5，所述的硅片3固定在开口槽5内，相邻两个石墨舟片4的间距为3毫米～7毫米，所述的石墨舟片4之间设有用于把石墨舟片4连接起来的陶瓷杆7，所述的石墨舟片4以正负间隔线排列，本专利技术的优点是腔体1就是太阳能电池片镀膜SIN的腔体，PECVD真空腔内硅片3排布方式为垂直于长方体腔体或圆柱体真空腔体，单片间隔为(也就是相邻两个石墨舟片4的间距)3毫米～7毫米，优选为4、5或6毫米，双排排列，此设计可以满足现阶段炉体满足560片设计，常规设计为308片，常规设计：7排*(21片石墨舟*2+2)＝7*44＝308片，新设计：7*200mm(炉管恒温长度)/5mm间距*2排＝560片，硅片3排布方式由石墨舟本体2实现，其中石墨舟本体2由多片石墨舟片4连接而成，石墨舟片4单片设计为横E型，如图2所示E字体中间位置为硅片3放置区域,石墨舟片4排布以正负间隔连接，正负间隔连接就是在相邻两个正面排布的石墨舟片4之间插入反面排布的石墨舟片4，石墨舟片4间距保持5mm，可实现双面镀膜，简化了工艺流程，节约大量的设备投资和人力/车间空间投资。所述的石墨舟片4下方的一侧设有舟片脚6，所述的石墨舟片4奇数片之间设有把舟片脚6连接起来的第一石墨杆8，所述的石墨舟片4偶数片之间设有把舟片脚6连接起来的第二石墨杆9，所述的舟片脚6上设有石墨块10，所述的石墨块10分别与第一石墨杆8和第二石墨杆9连接，,所述的石墨块10上均设有电极口11，便于把石墨舟片4连接起来，结构简单，可靠性高，奇数片的石墨舟片4是正面排布，偶数片的石墨舟片4是反面排布。所述的第一石墨杆8两端和第二石墨杆9两端均设有石墨螺帽12，使第一石墨杆8和第二石墨杆9固定在舟片脚6上，通过石墨杆连接舟脚保持正负交替互联，从舟一侧引出电极端。所述的陶瓷杆7两端也均设有石墨螺帽12，使陶瓷杆7固定在石墨舟片4上。所述的陶瓷杆7位于两个石墨舟片4之间的部分设有陶瓷圈13，陶瓷圈13固定间距。所述的开口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体(1)、石墨舟本体(2)和硅片(3)，所述的石墨舟本体(2)设在腔体(1)内，其特征在于：所述的腔体(1)为长方体或圆柱体，所述的腔体(1)水平方向的直径大于两个硅片(3)尺寸，所述的石墨舟本体(2)包括若干个石墨舟片(4)，所述的石墨舟片(4)的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片(4)均垂直于水平面，所述的石墨舟片(4)之间相互平行排列，所述的石墨舟片(4)有两个开口向上的开口槽(5)，所述的硅片(3)固定在开口槽(5)内，相邻两个石墨舟片(4)的间距为3毫米～7毫米，所述的石墨舟片(4)之间设有用于把石墨舟片(4)连接起来的陶瓷杆(7)，所述的石墨舟片(4)以正负间隔线排列。

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体(1)、石墨舟本体(2)和硅片(3)，所述的石墨舟本体(2)设在腔体(1)内，其特征在于：所述的腔体(1)为长方体或圆柱体，所述的腔体(1)水平方向的直径大于两个硅片(3)尺寸，所述的石墨舟本体(2)包括若干个石墨舟片(4)，所述的石墨舟片(4)的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片(4)均垂直于水平面，所述的石墨舟片(4)之间相互平行排列，所述的石墨舟片(4)有两个开口向上的开口槽(5)，所述的硅片(3)固定在开口槽(5)内，相邻两个石墨舟片(4)的间距为3毫米～7毫米，所述的石墨舟片(4)之间设有用于把石墨舟片(4)连接起来的陶瓷杆(7)，所述的石墨舟片(4)以正负间隔线排列。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，其特征在于：所述的石墨舟片(4)下方的一侧设有舟片脚(6)，所述的石墨舟片(4)奇数片之间设有把舟片脚(6)连接起来的第一石墨杆(8)，所述的石墨舟片(4)偶数片之间设有把舟片脚(6)连接起来的第二石墨杆(9)，所述的舟...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文峰，胡玉婷，秦林葵，杨淑波，
申请(专利权)人：东方日升新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33