An auxiliary die for crucible production is provided on the top of the original die. The body of the original die is a cylinder. The middle part of the upper end face of the cylinder is provided with threaded holes. The lower end of the cylinder is provided with an inverted cone. The lower end of the cone is provided with a bar. The auxiliary die includes a cylinder-shaped die body, the diameter of the die body and the diameter of the original die body. Similarly, the upper end of the die body is provided with a flat cylindrical convex platform, and the middle part of the auxiliary die is provided with a vertical threaded through hole, the diameter of the threaded through hole is the same as that of the threaded hole. The utility model uses an auxiliary die to cooperate with the original die for crucible production, and sets a convex platform on the auxiliary die, which can effectively disperse the stress produced during the crucible cold shrinkage process, ensure the crucible strength and prolong its service life, and sets a ring edge on the auxiliary die to help the reaction gas flow and improve the production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种用于坩埚生产的辅助模具
本技术属于化学气相沉积
,具体涉及一种用于坩埚生产的辅助模具。
技术介绍
化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理,将参与化学反应的物质,加热到一定工艺温度,在真空泵抽气系统产生的引力作用下,引至沉积室进行反应、沉积,生成新的固态物质。现需要采用化学气相沉积法来生产一种热解氮化硼坩埚(如图1所示),目前生产该坩埚所用的原模具1(如图2所示),原模具的本体为圆柱体,圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔2,圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体,圆锥体下端设置有棒体,原模具材料为石墨;由于石墨模具和热解氮化硼材料的热膨胀系数不一样,当高温下沉积完毕后,因氮化硼冷缩,降温过程中收缩存在应力,应力过于集中在坩埚壁上,使坩埚壁存在应力,坩埚壁层间强度低;坩埚在使用的过程中,坩埚壁多次加热,升温降温会导致低强度的坩埚壁出现开裂、分层等问题,这是与热解氮化硼的类似石墨的层状结构特性决定的,使整体坩埚的使用寿命低。因此,有必要设计一种用于坩埚生产的辅助模具来解决上述问题。
技术实现思路
为克服上述现有技术中的不足,本技术目的在于提供一种用于坩埚生产的辅助模具。为实现 ...
【技术保护点】
1.一种用于坩埚生产的辅助模具,该辅助模具设置在原模具的上方,所述原模具的本体为圆柱体,所述圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔,所述圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体,所述圆锥体下端设置有棒体,其特征在于:所述辅助模具包括圆柱体形状的模具本体,所述模具本体的直径与所述原模具本体的直径相同,所述模具本体上端设置有扁圆柱形的凸台,所述辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔,所述螺纹通孔的直径与所述螺纹孔的直径相同。
【技术特征摘要】
1.一种用于坩埚生产的辅助模具,该辅助模具设置在原模具的上方,所述原模具的本体为圆柱体,所述圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔,所述圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体,所述圆锥体下端设置有棒体,其特征在于:所述辅助模具包括圆柱体形状的模具本体,所述模具本体的直径与所述原模具本体的直径相同,所述模具本体上端设置有扁圆柱形的凸台,所述辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔,所述螺纹通孔的直径与所述螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员:董家海,侯临泽,
申请(专利权)人:浙江诺华陶瓷有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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