用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元在外界驱动下能够带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。本发明专利技术还提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材连续沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行装载。

【技术实现步骤摘要】
用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置
本专利技术涉及涂层沉积辅助设备
，尤其是涉及一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置。
技术介绍
在热丝气相沉积法制备片材涂层的工艺中，受限于现有沉积装置的结构，每次沉积操作时往往只能放入单片片材于沉积装置内，且单片片材的面积小于或者等于沉积装置的有效沉积面积，即一炉一片逐片沉积。这种工艺操作存在以下问题：(1)每沉积完一片片材，都需要打开设备重新装载下一片，每次装载都要重新抽真空，而抽真空的时间占整个生产时间的五分之一左右；(2)通常在更换片材的过程中，热丝由高温冷却至室温极易断裂，需要重新更换热丝，且热丝(钽丝)的价格比较贵，经常更换热丝不利于降低生产成本；(3)对于待沉积面积大于沉积装置的有效沉积面积的片材，不便处理。由此可知，一炉一片逐片沉积的方式沉积效率低，产量低，工人劳动强度大，生产成本高。有鉴于此，特提出本专利技术能够解决上述问题中的至少一个。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种用于片材连续沉积涂层的夹具，在不改变沉积装置的基本结构条件下，利用该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大的减少了一些中间过程，有利于提高沉积效率和降低生产成本。本专利技术的第二目的在于提供一种沉积装置，使用上述用于片材连续沉积涂层的夹具进行沉积操作，使用该沉积装置能够对片材进行连续沉积，沉积效率高、生产周期短，同时也降低了生产成本。为解决上述技术问题，本专利技术特采用如下技术方案：本专利技术提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述第一样品台包括传动部；所述传动单元包括第一传动件和第二传动件，所述第一传动件能够在外界驱动下转动，并带动所述第二传动件转动，所述第二传动件用于驱动所述传动部运动。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述第二传动件为齿轮，所述传动部为与所述第二传动件相配合的齿条。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述第一传动件为齿轮、皮带轮或链轮。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述第一样品台上设置有若干个垫块，所述垫块用于调节片材与热丝之间的距离；优选地，所述垫块为铜质垫块。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述支座为绝缘支座；优选地，所述支座为陶瓷绝缘支座。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述第一传动件和第二传动件均为铜质传动件。本专利技术还提供了一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材连续沉积涂层的夹具位于所述炉体内部并对片材进行装载。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述夹具与所述炉体可拆卸固定连接。进一步的，在本专利技术技术方案的基础之上，所述炉体内部设有衬底平台，所述衬底平台上设有第二样品台和至少两个热丝固定架，所述热丝固定架相对设置且通过电极柱与所述衬底平台连接，所述热丝固定架之间设置有热丝，所述第二样品台为可旋转样品台且位于所述热丝固定架的下方；所述夹具的所述支座套设在所述电极柱上并对所述第一样品台进行支撑，所述第二样品台能够带动所述夹具的所述传动单元运动；优选地，所述第二样品台与所述夹具的所述传动单元之间采用齿轮传动、皮带传动或链传动。与现有技术相比，本专利技术提供的用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置具有如下有益效果：(1)本专利技术提供的用于片材连续沉积涂层的夹具，包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元能够在外界驱动下带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，例如，装载片材、抽真空、上丝等操作，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积装置原有的结构和部件，为片材涂层的连续沉积提供了工业依据。(2)本专利技术提供的沉积装置，包括炉体，上述用于片材连续沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行装载。鉴于上述用于片材连续沉积涂层的夹具所具有的优势，使得使用本专利技术夹具的沉积装置也同时具有上述夹具的所有优势，使用该沉积装置能够对片材进行连续沉积，沉积效率高、生产周期短，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝以及设备的使用寿命，降低了设备成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术提供的一种实施方式的用于片材连续沉积涂层的夹具在沉积装置内部的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为本专利技术提供的另一种实施方式的用于片材连续沉积涂层的夹具在沉积装置内部的结构示意图；图4为图3的俯视图。图示：1-传动单元；2-第一样品台；3-片材；4-支座；11-第一传动件；12-第二传动件；13-转轴；21-传动部；22-垫块；5-衬底平台；6-第二样品台；7-热丝固定架；8-热丝；9-电极柱。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例一本实施例提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具，包括传动单元1、第一样品台2和若干个支座4，具体如图1-4所示；第一样品台2用于装载待沉积的片材3，若干个支座4位于第一样品台2的下方，并用于支撑第一样品台2；传动单元1能够在外界驱动下带动第一样品台2连续进给。本专利技术提供的用于片材连续沉积涂层的夹具，包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台上装载有待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元能够带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，例如，装载片材、抽真空、上丝等操作，大大提高了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。

【技术特征摘要】
1.一种用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。2.根据权利要求1所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一样品台包括传动部；所述传动单元包括第一传动件和第二传动件，所述第一传动件能够在外界驱动下转动，并带动所述第二传动件转动，所述第二传动件用于驱动所述传动部运动。3.根据权利要求2所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第二传动件为齿轮，所述传动部为与所述第二传动件相配合的齿条。4.根据权利要求2所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一传动件为齿轮、皮带轮或链轮。5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一样品台上设置有若干个垫块，所述垫块用于调节片材与热丝之间的距离；优选地，所述垫块为铜质垫块。6.根据权利要求1-4...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，陈波，王陶，孟醒，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44