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本发明公开了一种8管高产能PECVD设备，包括底板与工作台，所述底板的一侧与工作台的一侧固定连接，本发明涉及工艺设备技术领域。该8管高产能PECVD设备，通过在底板顶部的一侧固定连接有气源柜,气源柜的一侧固定连接有主机柜，工作台顶部的一侧固...
该专利属于无锡华源晶电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华源晶电科技有限公司授权不得商用。

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