在机器人中提供未对准校正的方法和系统技术方案

描述了校正机器人(例如双叶式机器人)中的叶片的位置未对准的方法。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：机器人，包括：可移动臂和附接至所述可移动臂中的一者的终端受动器；标志，设置在所述可移动臂中的一者上或所述终端受动器上；腔室，适于受所述终端受动器服务；束传感器，定位在自所述腔室的某个距离处；和校正所述终端受动器的未对准，其中所述未对准发生在初始线性中心找寻位置和所述腔室的估算的中心之间。还公开了进行此类电子设备校准的系统。提供了许多其他的方面。

Methods and systems for providing alignment correction in robots

This paper describes a method for correcting the misalignment of blades in a robot, such as a two-leaf robot. In one or more embodiments, the method includes: a robot, including a movable arm and a terminal actuator attached to one of the movable arms; a sign, arranged on one of the movable arms or on the terminal actuator; a chamber adapted to be served by the terminal actuator; a beam sensor positioned at a distance from the chamber; and a calibration. The misalignment of the terminal actuator occurs between the initial linear center finding position and the estimated center of the cavity. Systems for calibrating such electronic devices are also disclosed. Many other aspects are provided.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在机器人中提供未对准校正的方法和系统相关申请本申请主张来自于2016年6月29日所递交的名称为“METHODSANDSYSTEMSPROVIDINGMISALIGNMENTCORRECTIONINROBOTS”的第15/197,039号美国非临时专利申请(代理人案号第24054/USA号)的优先权，特此将该美国非临时专利申请的整体实质内容以引用方式并入本文中。
本公开内容的实施方式涉及适于校正机器人中的终端受动器的未对准的方法和装置。
技术介绍
电子设备制造系统可包括多个工艺腔室和装载闸腔室。此类腔室可被包括在群集工具中，其中多个工艺腔室可例如分布在传输腔室周围。这些工具可采用多关节机器人(articulatedrobot)或多臂机器人，这些机器人可被收容在传输腔室内并且在各种工艺腔室和装载闸腔室之间输送基板。例如，机器人可从腔室到腔室、从装载闸腔室到工艺腔室和/或从工艺腔室到装载闸腔室输送基板。高效并且精确地在各种系统腔室之间输送基板可改善系统产量，因此降低整体的运行成本。并且，精确的基板放置可改善整体处理质量。在许多双叶式机器人(dual-bladedrobot)中，采用水平多关本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种校正双叶式机器人中的未对准的方法，包括以下步骤：提供双叶式机器人，所述双叶式机器人包括第一可移动臂和附接至所述第一可移动臂中的一者的第一终端受动器、和第二可移动臂和附接至所述第二可移动臂中的一者的第二终端受动器，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器是可单独延伸移动的；在所述第一可移动臂中的一者上或所述第一终端受动器上提供第一标志；在所述第二可移动臂中的一者上或所述第二终端受动器上提供第二标志；在所述第一标志的期望路径中的位置处提供第一束传感器；在所述第二标志的期望路径中的位置处提供第二束传感器；使所述双叶式机器人延伸成第一机器人配置，其中所述第一终端受动器延伸并且其中所述第二终端...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.29 US 15/197,0391.一种校正双叶式机器人中的未对准的方法，包括以下步骤：提供双叶式机器人，所述双叶式机器人包括第一可移动臂和附接至所述第一可移动臂中的一者的第一终端受动器、和第二可移动臂和附接至所述第二可移动臂中的一者的第二终端受动器，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器是可单独延伸移动的；在所述第一可移动臂中的一者上或所述第一终端受动器上提供第一标志；在所述第二可移动臂中的一者上或所述第二终端受动器上提供第二标志；在所述第一标志的期望路径中的位置处提供第一束传感器；在所述第二标志的期望路径中的位置处提供第二束传感器；使所述双叶式机器人延伸成第一机器人配置，其中所述第一终端受动器延伸并且其中所述第二终端受动器收缩，并且记录所测量的所述第一束传感器被所述第一标志阻档和不被所述第一标志阻挡的空间位置；使所述双叶式机器人延伸成第二机器人配置，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器均延伸，并且记录所测量的所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的空间位置和所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的空间位置；和针对所述第一机器人配置和所述第二机器人配置中的至少一个机器人配置确定位置校正。2.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：使所述双叶式机器人延伸成第三机器人配置，其中所述第二终端受动器延伸而所述第一终端受动器收缩，和记录所测量的所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的空间位置。3.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件上提供所述第一标志。4.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件上提供所述第二标志。5.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：提供所述第一标志作为第一标志部件，所述第一标志部件耦合至所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件的表面。6.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：提供所述第二标志作为第二标志部件，所述第二标志部件耦合至所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件的表面。7.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件上的位置处提供所述第一标志，所述位置在所述第一终端受动器完全延伸进入腔室时定位在所述第一束传感器前方。8.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件上的位置处提供所述第二标志，所述位置在所述第二终端受动器完全延伸进入...

【专利技术属性】
技术研发人员：格雷戈里·J·弗里曼，马文·L·弗雷曼，亚当·克兰默，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US