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描述了校正机器人(例如双叶式机器人)中的叶片的位置未对准的方法。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：机器人，包括：可移动臂和附接至所述可移动臂中的一者的终端受动器；标志，设置在所述可移动臂中的一者上或所述终端受动器上；腔室，适于受所述终端...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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