一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。本实用新型专利技术的优点是：在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性；在不更换伞架盘的情况下，实现球面伞架分割数的变化，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能；结构简单合理，拆装方便，适于推广。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构
本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构。
技术介绍
目前，为了提高待镀膜工件的膜厚均一性，在真空镀膜设备中往往选择通过一镀膜伞架来承载工件，该镀膜伞架的中心设置有中心回转机构，在中心回转机构的驱动下镀膜伞架绕其旋转，从而实现伞架机构上各工件的均匀镀膜。由于镀膜伞架为回转体，为了提高其在旋转时的结构稳定性，镀膜伞架一般为整体结构，其无法分体拆卸十分笨重，针对不同待镀膜工件的尺寸以及产品工艺条件要求，往往需要将镀膜伞架整体拆下，而后安装上另一对应的镀膜伞架再进行镀膜，这样一来无疑增加了镀膜时间，降低了产能，同时还增加了生产成本，一种产品就需要一种对应的镀膜伞架。总的来说，目前的镀膜伞架的适应性极差，根本无法满足日益增多的各种镀膜产品的需要。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，通过对支撑杆进行角度调整进而调整工件盘相较于镀膜源的角度，从而在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。所述驱动装置连接有伞架盘，所述支撑杆分别与所述驱动装置以及所述伞架盘构成铰接；所述伞架盘上设置有支撑杆位置相对应的摆渡块。所述支撑杆与所述伞架盘之间的铰接是通过，在所述伞架盘上设置吊臂，所述吊臂上具有可滑动的滑块，所述滑块与一连接杆的一端铰接，所述连接杆的另一端与所述支撑杆铰接。所述吊臂上具有导轨，所述滑块与所述导轨滑动配合，在所述滑块上设置有固定件，所述固定件用于对所述滑块在所述导轨上的位置进行固定；在所述吊臂的一侧设置有调整件，所述调整件用于对滑块在所述导轨上的位置进行调整。所述伞架盘与镀膜行星机构相适配。所述驱动装置连接有一转换块，所述转换块与所述伞架盘之间构成可拆卸式的连接固定，所述支撑杆的一端与所述转换块铰接。本技术的优点是：在同一种设备上实现不同基板、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性；在不更换伞架盘的情况下，实现球面伞架分割数的变化，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能；结构简单合理，拆装方便，适于推广。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的俯视图；图3为本技术的主视图；图4为本技术的仰视结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1-3所示，图中标号1-14分别表示为：中心固定件1、伞架盘2、工件盘3、支撑杆4、连接杆5、滑块6、吊臂7、摆渡块8、镀膜工件9、转换块10、导轨11、调整螺丝12、固定螺丝13、支撑筋14。实施例：如图1所示，本实施例中应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其由驱动装置（图中未示出）驱动旋转，驱动装置的输出端为中心固定件1，中心固定件1固定在伞架机构的中心位置上，驱动装置可通过中心固定件1驱动伞架整体旋转。如图1所示，中心固定件1与伞架盘2通过法兰安装固定，伞架盘2用于支撑其下方的结构。如图2所示，伞架机构包括四根支撑杆4，四根支撑杆4沿伞架盘2的圆周方向均匀间隔布置，将圆周方向分割为四个部分，即四分割。相邻的两根支撑杆4之间固定安装有工件盘3，工件盘3用于承载镀膜工件9。在驱动装置的驱动下工件盘3转动，从而实现承载在工件盘3上的镀膜工件9的均匀镀膜。结合图1和图3所示，在伞架盘2的下方安装有转换块10，转换块10与伞架盘2之间构成可拆卸式的连接固定。转换块10用于与各支撑杆4的一端部相连接。在转换块10上设有与支撑杆4的数量相对应的连接位，根据支撑杆4数量的不同可方便地将转换块10从伞架盘2上拆下并换上与支撑杆4数量相对应的另一转换块10，从而在不更换伞架盘2的前提下，实现伞架分割数的变化，进而提高伞架的适应性和切换速度。为了使伞架盘2应对伞架分割数的变化，在伞架盘2上设置有摆渡块8，摆渡块8对应于若干支撑杆4的安装位置。以图1所示为例，伞架盘2的初始状态为六分割，其圆周方向均匀布置的六根支撑筋14，每根支撑筋14上均可固定安装支撑杆。但将伞架盘2改为四分割时，四根支撑杆4之中的两根支撑杆无法通过既有的支撑筋14来完成固定安装，此时在这两根支撑杆4所对应的伞架盘2位置上安装摆渡块8，从而实现支撑杆4的安装固定，同时配合转换块10即可在不更换伞架盘2的前提下，实现伞架分割数的变化。举例而言，当采用图1所示的四根支撑杆4，即四分割时，转换块10上设有四个用于与四根支撑杆4连接的连接位，四根支撑杆4可一一连接至转换块10的四个连接位上。当应对不同的镀膜产品时，根据其工艺和产量的需要，若需要将伞架切换为六分割，则将具有四个连接位的转换块10从中心固定件1上拆下，换上具有六个连接位的转换块，之后在各连接位处分别连接支撑杆4，并且将各支撑杆4一一对应安装固定在支撑筋14上，即可在不更换伞架盘2的前提下，实现伞架由四分割变成六分割的变化。结合图1和图3所示，各支撑杆4的一端分别与转换块10之间均为铰链连接。各支撑杆4的上方分别设置有用于调整支撑杆4角度的调节机构。具体而言，支撑杆4上方设置有连接杆5，连接杆5的一端与支撑杆4的杆体铰链连接。连接杆5的另一端与滑块6铰链连接，滑块6设置在吊臂7上所设置的导轨11上，吊臂7固定安装在支撑筋14的下方或摆渡块8的下方，吊臂7的延伸方向与支撑杆4的延伸方向保持一致。滑块6可在吊臂7的导轨11上滑动，随着滑块6的滑动，连接杆5可带动支撑杆4绕支撑杆4与转换块10的铰接点上下转动，从而完成支撑杆4的角度调整，进而实现设置在支撑杆4之间的工件盘3相较于镀膜源的角度调整。这样一来，在同一种设备上可实现不同镀膜工件、不同工艺条件要求的高质量、批量性生产的要求；同时，在满足基板尺寸要求的前提下，扩大产能。如图3所示，在吊臂7的一侧设置有调整螺丝12，调整螺丝12可穿设在导轨11上，其端面顶紧于滑块6的一侧表面；通过拧紧调整螺丝12可使其对滑块6进行向内顶推，从而使滑块6在导轨11上向内滑动，以调整支撑杆4的角度。如图3所示，在滑块6上设置有固定螺丝13，通过固定螺丝13可对滑块6的位置进行限位固定，从而保证镀膜过程中整个伞架机构的结构稳定，避免晃动。本实施例在具体实施时：伞架盘2与镀膜行星机构相适配，实现球面伞架与行星机构之间的互换，提高设备的使用灵活性，拓宽其使用范围。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，所述伞架机构由驱动装置驱动旋转，其特征在于：所述伞架机构包括若干支撑杆，相邻的所述支撑杆之间分别安装有用于承载工件的工件盘；所述支撑杆与所述驱动装置之间构成铰接，所述支撑杆可绕其与所述驱动装置之间的铰接点转动以调整所述工件盘的角度。2.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述驱动装置连接有伞架盘，所述支撑杆分别与所述驱动装置以及所述伞架盘构成铰接；所述伞架盘上设置有支撑杆位置相对应的摆渡块。3.根据权利要求2所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的伞架机构，其特征在于：所述支撑杆与所述伞架盘之间的铰接是通过，在所述伞架盘上设置吊臂，所述吊臂上具有可滑动的滑块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙汝磊，范滨，裴蓓，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31