全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块制造技术

技术编号:20221092 阅读:44 留言:0更新日期:2019-01-28 19:50
本发明专利技术涉及全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块。一种曝光模块包含:发光组件及调光组件。发光组件包含多个排列设置于灯板的发光单元,各发光单元能发出紫外光。调光组件固定于灯板,其包含:多个光学透镜及套筒结构。各光学透镜的内部能全反射紫外光。套筒结构包含有多个贯穿套筒结构的通道,各通道两端的开口形成于套筒结构彼此相对的两侧。调光组件固定设置于灯板时,多个光学透镜的至少一部分对应位于多个通道中;形成各个通道的一内壁,能吸收部分通过光学透镜的紫外光,未被吸收的紫外光则由通道的一端射出。如此,由各通道射出的紫外光的出光角度,将可有效地被缩小,而更集中于中心轴线的位置。

【技术实现步骤摘要】
全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块
本专利技术涉及一种曝光模块及调光组件,特别是一种适用于紫外光曝光装置中的曝光模块及调光组件。
技术介绍
现有的电路板曝光装置,存在有照射于电路板上的曝光光束不集中,而导致曝光的解晰度不佳,从而导致电路板后续作业程序的良率不佳的问题。因此,对于相关技术人员而言,如何改善电路板的曝光装置,以提升曝光的解晰度,是极需要被改善的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种曝光模块及调光组件,用改善现有技术中,相关曝光装置的曝光光束不集中的问题。为了实现上述目的,本专利技术提供一种曝光模块,其包含:一发光组件及一调光组件。发光组件包含多个发光单元。多个发光单元排列设置于一灯板,各个发光单元能发出一紫外光。调光组件可拆卸地固定设置于灯板,调光组件包含:多个光学透镜及一套筒结构。各个光学透镜的内部能全反射紫外光。套筒结构包含有多个通道,各个通道分别贯穿套筒结构设置,且各个通道两端的开口,形成于套筒结构彼此相对的两侧。其中,调光组件固定设置于灯板时,多个光学透镜的至少一部分对应位于多个通道中;形成各个通道的一内壁,能吸收部分通过光学透镜的紫外光,未被吸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光模块,其特征在于,所述曝光模块包含:一发光组件,其包含:多个发光单元,其排列设置于一灯板,各个所述发光单元能发出一紫外光;以及一调光组件,其可拆卸地固定设置于所述灯板,所述调光组件包含:多个光学透镜,各个所述光学透镜的内部能全反射所述紫外光;及一套筒结构,其包含有多个通道,各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置,且各个所述通道两端的开口,形成于所述套筒结构彼此相对的两侧;其中,所述调光组件固定设置于所述灯板时,多个所述光学透镜的至少一部分对应位于多个所述通道中;形成各个所述通道的一内壁,能吸收部分通过所述光学透镜的所述紫外光,未被吸收的所述紫外光则由所述通道的一端射出。

【技术特征摘要】
1.一种曝光模块,其特征在于,所述曝光模块包含:一发光组件,其包含:多个发光单元,其排列设置于一灯板,各个所述发光单元能发出一紫外光;以及一调光组件,其可拆卸地固定设置于所述灯板,所述调光组件包含:多个光学透镜,各个所述光学透镜的内部能全反射所述紫外光;及一套筒结构,其包含有多个通道,各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置,且各个所述通道两端的开口,形成于所述套筒结构彼此相对的两侧;其中,所述调光组件固定设置于所述灯板时,多个所述光学透镜的至少一部分对应位于多个所述通道中;形成各个所述通道的一内壁,能吸收部分通过所述光学透镜的所述紫外光,未被吸收的所述紫外光则由所述通道的一端射出。2.依据权利要求1所述的曝光模块,其特征在于,各个所述内壁具有一抵顶部,所述抵顶部能限制相对应的所述光学透镜于所述通道中的活动范围。3.依据权利要求1所述的曝光模块,其特征在于,各个所述内壁具有一吸光层,所述吸光层能吸收所述紫外光。4.依据权利要求1至3中任一项所述的曝光模块,其特征在于,各个所述发光单元所发出的所述紫外光通过所述光学透镜后的发光角度,小于各个所述发光单元的发光角度;各个所述发光单元所发出的所述紫外光,通过所述光学透镜及所述通道后的发光角度,小于各个所述发光单元所发出的所述紫外光通过所述光学透镜后的发光角度。5.一种调光组件,其特征在于,所述调光组件适用于一紫外光曝光装置中,所述紫外光曝光装置包含有多个发光单元,所述调光组件包含一套筒结构,所述套筒结构包含有多个通道,各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置,且各个所述通道两端的开口,形成于所述套筒结构...

【专利技术属性】
技术研发人员:张永裕霍正邦魏君祐
申请(专利权)人:志圣工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾,71

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