一种可动光学元件调节定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及曝光设备制造技术领域，尤其涉及一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒、镜座和镜片，镜片安装在镜座中，还包括定心簧片和多个位移转换机构，镜座通过定心簧片与镜筒柔性连接，定心簧片能够为镜座提供定心功能；多个位移转换机构设置在镜筒与镜座之间，位移转换机构能将自身的横向位移转换为镜座的轴向位移，以调节镜片相对于镜筒的轴向位移或倾斜角度。定心簧片能够为镜座提供定心功能，且不会带来其他方向的串扰；位移转换机构能够将其自身的横向位移转换为镜座的轴向位移，从而实现镜片相对于镜筒的轴向位移和倾斜角度的调节；且其设置在镜筒中，解决了密封和污染问题，方便集中制造加工和集中调试。

【技术实现步骤摘要】
一种可动光学元件调节定位装置
本技术涉及曝光设备制造
，尤其涉及一种可动光学元件调节定位装置。
技术介绍
在电气工程或微机械领域中产生极小结构的微光刻的现代投射曝光设备中，常常需要将光学元件相应精确地定位，这就需要调整光学元件的位置，从而需要提供能够使光学元件的位置改变的装置。现有技术提供的一种光学元件调节定位装置中，使用的板簧片采用均布的悬臂梁结构，并通过驱动机构进行Z向平移和倾斜度的调整，但是板簧片由于采用了悬臂梁结构，在Z向运动过程中会带来Z向的转动。另一方面，由于使用弹簧复位，使得机构整体的刚度取决于弹簧的刚度，并没有利用驱动元件的高刚度，而整体结构的刚度决定了镜片的动态性能，对于灵敏度要求较高的镜片会影响其动态性能。此外，采用外置的驱动器通过杠杆原理驱动镜座的移动，会带来其他的问题，如使得装置的整体尺寸较大、密封结构不易设计和零件摩擦产生的颗粒污染问题。现有技术还提供了另一种光学元件保持装置，该装置直接在镜筒上使用线切割技术切割出位移放大机构和导向机构，加工制造困难，成本较高，且密封结构复杂。另外，其也存在镜座在Z向平移时，会带来相对Z向的旋转串扰问题。因此，有必要提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒(1)和镜座(2)，所述镜座(2)中安装镜片(3)，其特征在于，还包括：定心簧片(4)，所述镜座(2)通过所述定心簧片(4)与所述镜筒(1)柔性连接，所述定心簧片(4)能够为所述镜座(2)提供定心功能；多个位移转换机构(5)，设置在所述镜筒(1)和所述镜座(2)之间，所述位移转换机构(5)能将其自身的横向位移转换为所述镜座(2)的轴向位移，以调节所述镜片(3)相对于所述镜筒(1)的轴向位移或倾斜角度。

【技术特征摘要】
1.一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒(1)和镜座(2)，所述镜座(2)中安装镜片(3)，其特征在于，还包括：定心簧片(4)，所述镜座(2)通过所述定心簧片(4)与所述镜筒(1)柔性连接，所述定心簧片(4)能够为所述镜座(2)提供定心功能；多个位移转换机构(5)，设置在所述镜筒(1)和所述镜座(2)之间，所述位移转换机构(5)能将其自身的横向位移转换为所述镜座(2)的轴向位移，以调节所述镜片(3)相对于所述镜筒(1)的轴向位移或倾斜角度。2.根据权利要求1所述的可动光学元件调节定位装置，其特征在于，所述位移转换机构(5)包括变形件(51)和驱动元件(52)，所述镜筒(1)的下部设置有支撑座(11)，所述变形件(51)的一端安装在所述支撑座(11)上，另一端与所述镜座(2)连接，所述驱动元件(52)安装在所述变形件(51)的内部，所述驱动元件(52)能够驱动所述变形件(51)发生横向变形，及在所述镜筒(1)的轴向产生位移。3.根据权利要求2所述的可动光学元件调节定位装置，其特征在于，所述变形件(51)为具有多个柔性铰链的多边形结构。4.根据权利要求3所述的可动光学元件调节定位装置，其特征在于，所述变形件(51)的顶面和底面平行设置，所述顶面与所述镜座(2)连接，所述底面与所述支撑座(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹光才，彭云平，田清，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31