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本实用新型涉及曝光设备制造技术领域，尤其涉及一种可动光学元件调节定位装置，包括镜筒、镜座和镜片，镜片安装在镜座中，还包括定心簧片和多个位移转换机构，镜座通过定心簧片与镜筒柔性连接，定心簧片能够为镜座提供定心功能；多个位移转换机构设置在镜筒与...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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