下载全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块的技术资料

文档序号:20221092

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本发明涉及全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块。一种曝光模块包含:发光组件及调光组件。发光组件包含多个排列设置于灯板的发光单元,各发光单元能发出紫外光。调光组件固定于灯板,其包含:多个光学透镜及套筒结构。各光学透镜的内部能全反射紫外光。...
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