The utility model relates to the field of coating equipment, in particular to a continuous coating chamber, which comprises a first oxide coating chamber, a metal coating chamber, a nitride coating chamber, a mixture coating chamber of nitrides and oxides, a second oxide coating chamber and a third oxide coating chamber connected in turn. The continuous coating technology room of the utility model can realize continuous plating of six different coatings on the surface of materials, and can meet the needs of multi-layer coating.
【技术实现步骤摘要】
一种连续镀膜工艺室
本技术涉及镀膜设备领域，具体涉及在太阳能平板集热器板芯上连续镀膜工艺室。
技术介绍
镀膜机是用于给材料镀膜的设备，大多需要在较高真空度下进行镀膜，主要分成蒸发和溅射两种镀膜方式，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种。镀膜机需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材材。在太阳能平板集热器生产中，往往要在板芯表面镀一层薄膜，以提高对太阳热能的吸收，以往使用的化学镀膜设备，对环境污染大，所镀的膜对太阳热能的吸收不好，而且在使用时连续镀膜效果差，不能满足生产需要。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种连续镀膜工艺室。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种连续镀膜工艺室，包括依次连接的第一氧化物镀膜腔、金属镀膜腔、氮化物镀膜腔、氮化物和氧化物的混合物镀膜腔、第二氧化物镀膜腔、第三氧化物镀膜腔。使用时，基片首先进入第一氧化物镀膜腔，完成第一层膜——氧化物膜的镀膜，然后进入金属镀膜腔，完成第二层膜——金属膜的镀膜，然后进入氮化物镀膜腔，完成第三层膜——氮化物膜的镀膜，然后进入氮化物和氧化物的混合物镀膜...
【技术保护点】
1.一种连续镀膜工艺室，其特征在于，包括依次连接的第一氧化物镀膜腔、金属镀膜腔、氮化物镀膜腔、氮化物和氧化物的混合物镀膜腔、第二氧化物镀膜腔、第三氧化物镀膜腔。
【技术特征摘要】
1.一种连续镀膜工艺室，其特征在于，包括依次连接的第一氧化物镀膜腔、金属镀膜腔、氮化物镀膜腔、氮化物和氧化物的混合物镀膜腔、第二氧化物镀膜腔、第三氧化物镀膜腔。2.如权利要求1所述的连续镀膜工艺室，其特征在于：所述第一氧化物镀膜腔内设置有2组金属靶材。3.如权利要求2所述的连续镀膜工艺室，其特征在于：所述金属镀膜腔内设置有1组金属靶材。4.如权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：于春锋，
申请(专利权)人：山东三齐能源有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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