一种新型玻璃板真空镀膜生产设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，包括设备本体，所述设备本体的底部固定安装有两个支撑板，两个支撑板之间设有位于设备本体下方的低温泵，低温泵与设备本体相配合，且低温泵的两侧均固定安装有安装块，两个安装块相互远离的一侧均开设有固定槽，两个支撑板上均开设有滑孔，所述滑孔内滑动安装有滑板，两个滑板分别与两个固定槽相配合，两个滑板相互远离的一侧均固定安装有推动板，两个推动板相互靠近的一侧分别与两个支撑板相互远离的一侧相接触，两个推动板相互靠近的一侧均固定安装有放置块。本实用新型专利技术便于对低温泵进行拆卸，便于对低温泵进行维修保养，结构简单，使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种新型玻璃板真空镀膜生产设备
本技术涉及真空镀膜生产设备
，尤其涉及一种新型玻璃板真空镀膜生产设备。
技术介绍
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，经检索，申请号201020252721.9的专利文件公开了新型真空镀膜设备，包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。结构合理简单，生产制造容易，成本低。将钨丝蒸发源和蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护，镀膜效果好，满足中高档产品的镀膜要求，该新型真空镀膜设备使用扩散泵存在以下问题：扩散泵3月/回定期维护本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，包括设备本体（2），其特征在于，所述设备本体（2）的底部固定安装有两个支撑板（1），两个支撑板（1）之间设有位于设备本体（2）下方的低温泵（3），低温泵（3）与设备本体（2）相配合，且低温泵（3）的两侧均固定安装有安装块（4），两个安装块（4）相互远离的一侧均开设有固定槽（7），两个支撑板（1）上均开设有滑孔（5），所述滑孔（5）内滑动安装有滑板（6），两个滑板（6）分别与两个固定槽（7）相配合，两个滑板（6）相互远离的一侧均固定安装有推动板（8），两个推动板（8）相互靠近的一侧分别与两个支撑板（1）相互远离的一侧相接触，两个推动板（8）相互靠近的一侧均固定...

【技术特征摘要】
1.一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，包括设备本体（2），其特征在于，所述设备本体（2）的底部固定安装有两个支撑板（1），两个支撑板（1）之间设有位于设备本体（2）下方的低温泵（3），低温泵（3）与设备本体（2）相配合，且低温泵（3）的两侧均固定安装有安装块（4），两个安装块（4）相互远离的一侧均开设有固定槽（7），两个支撑板（1）上均开设有滑孔（5），所述滑孔（5）内滑动安装有滑板（6），两个滑板（6）分别与两个固定槽（7）相配合，两个滑板（6）相互远离的一侧均固定安装有推动板（8），两个推动板（8）相互靠近的一侧分别与两个支撑板（1）相互远离的一侧相接触，两个推动板（8）相互靠近的一侧均固定安装有放置块（9），两个支撑板（1）相互远离的一侧均开设有放置槽（10），两个放置块（9）分别与两个放置槽（10）相卡装，所述放置块（9）的底部开设有移动槽（11），所述移动槽（11）内滑动安装有移动板（12），移动板（12）的底部固定安装有卡块（13），所述放置槽（10）的底部内壁上开设有卡槽（14），卡块（13）与对应卡槽（14）相卡装。2.根据权利要求1所述的一种新型玻璃板真空镀膜生产设备，其特征在于，两个移动槽（11）相互靠近的一侧内壁上均开设有限位槽（24），两个移动板（12）相互靠近的一侧均固定安装有限位块（25），限位块（25）与对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈琪，施恩，金学峰，莫超超，刘悦洲，
申请(专利权)人：爱发科商贸上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31