【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及低温泵，具体涉及一种低温泵自动化再生系统及再生方法。
技术介绍
1、低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
2、但是目前的低温泵在对大量水分子和其他气体吸附饱和后，需要对低温泵进行再生，而起再生过程中，冷凝捕集的水分子的量过大，通过一般的再生的方式很难被完全去除，影响再生时间降低生产效率。并且低温泵自动化专利技术之前，仅有手动功能，不方便客户操作与使用。并且不能自主控制。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种低温泵自动化再生系统及再生方法，克服了现有技术的不足，设计合理，可满足低温泵再生工艺中的除水需求，并且通过薄膜真空计实时监测低温泵内的气压值，从而有效避免了设备端真空度不合格的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：
3、一种低温泵自动化再生系统，包括低温泵，所述低温泵的粗抽进口端连接排气管路的一端，所述排气管路的另一端通过三通分别与粗抽管路和出气管相连接，所述粗抽管路上安装有预阀和粗抽阀，所述粗抽管路的端部与粗抽泵相连接，所述出气管上安装有排气阀；所述低温泵的进气端与进气管路相连接，所述进气管路上安装有氮气导入阀
4、所述低温泵的进气口通过连接管路与真空处理装置的真空腔室的排气端相连接，所述低温泵上设置有从低温泵的外部向内部赋予热量的加热器，所述低温泵上安装有用于检测低温泵内腔真空度的薄膜真空计，所述预阀、粗抽阀、排气阀、氮气导入阀和加热器的控制端均通过导线与控制器相连接，所述薄膜真空计的信号输出端与控制器的信号输入端相连。
5、优选地，所述低温泵包括中空泵体和制冷机，所述中空泵体内安装有一级冷头，所述一级冷头内安装有二级冷头，所述制冷机安装在中空泵体外部，所述制冷机的冷头伸入到冷泵壳体内并同时与一级冷头和二级冷头连接；所述中空泵体外安装有与其内连通的过渡筒，所述过渡筒上安装给中空泵体内腔加热的加热器，所述中空泵体上安装有温度传感器，所述温度传感器的信号输出端均与控制器相连。
6、优选地，所述低温泵上安装有用于检测低温泵内气体湿度状态的大气传感器。
7、本专利技术还公开了一种应用有上述低温泵自动化再生系统的再生方法，包括以下步骤：
8、初始状态为：预阀、粗抽阀、排气阀和氮气导入阀关闭；
9、步骤s1：自动粗抽；控制器接收到上位机的制冷命令，由控制器控制预阀和粗抽阀打开，利用粗抽泵将低温泵内的大气压抽到40pa以下；再将预阀和粗抽阀关闭，使得低温泵进入保压状态；静止5分钟，5分钟之后通过薄膜真空计检测低温泵内的气压是否保持在65pa以下，若是，则判断低温泵保压正常，没有出现漏点，启动低温泵进入制冷状态；若否，则停止运行，并进行告警；
10、步骤s2：自动制冷；由控制器控制预阀和粗抽阀打开，利用粗抽泵慢慢将低温泵内的大气压抽到10pa以下；再由控制器控制低温泵启动运行，经过1.5-2.5小时后，低温泵的第二冷却台温度到达20k以下后，低温泵正常使用；
11、步骤s3：自动停泵；设备端远程发送停泵命令，控制器接收到上位机的停泵命令后，控制器控制低温泵停止运行，并控制加热器运行，氮气导入阀打开，通过进气管路向低温泵内导入氮气进行吹扫，通过氮气将低温泵内部真空度置换为大气状态，随着薄膜真空计检测真空度不断上升至大气压值后，控制器控制排气阀打开，使得加热器从热辐射变为热传导，等待低温泵内部温度从10k逐步上升到300k后，再等待10分钟延时之后，停止氮气吹扫动作，停泵完成。
12、优选地，所述步骤s3中，通过大气传感器判断低温泵内湿度情况，在低温泵内湿度在设定值内时，再控制加热器停止运行，并停止氮气吹扫动作。
13、本专利技术提供了一种低温泵自动化再生系统及再生方法。具备以下有益效果：整个过程通过加热器对低温泵内进行加热，并利用氮气对低温泵内的吹扫动作，以将固体或液体状的水分转换为过热水蒸气后经氮气带出，从而满足了低温泵再生工艺中的除水需求，并且通过薄膜真空计实时监测低温泵内的气压值，从而有效避免了设备端真空度不合格的问题。
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1.一种低温泵自动化再生系统，其特征在于：包括低温泵(1)，所述低温泵(1)的粗抽进口端连接排气管路(2)的一端，所述排气管路(2)的另一端通过三通分别与粗抽管路(3)和出气管(4)相连接，所述粗抽管路(3)上安装有预阀(5)和粗抽阀(6)，所述粗抽管路(3)的端部与粗抽泵相连接，所述出气管(4)上安装有排气阀(7)；所述低温泵(1)的进气端与进气管路(8)相连接，所述进气管路(8)上安装有氮气导入阀(9)；
2.根据权利要求1所述的一种低温泵自动化再生系统，其特征在于：所述低温泵(1)包括中空泵体和制冷机，所述中空泵体内安装有一级冷头，所述一级冷头内安装有二级冷头，所述制冷机安装在中空泵体外部，所述制冷机的冷头伸入到冷泵壳体内并同时与一级冷头和二级冷头连接；所述中空泵体外安装有与其内连通的过渡筒，所述过渡筒上安装给中空泵体内腔加热的加热器(10)，所述中空泵体上安装有温度传感器，所述温度传感器的信号输出端均与控制器相连。
3.根据权利要求1所述的一种低温泵自动化再生系统，其特征在于：所述低温泵(1)上安装有用于检测低温泵(1)内气体湿度状态的大气传感器(
4.根据权利要求1所述的一种低温泵自动化再生系统的再生方法，其特征在于：包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的再生方法，其特征在于：所述步骤S3中，通过大气传感器(12)判断低温泵(1)内湿度情况，在低温泵(1)内湿度在设定值内时，再控制加热器(10)停止运行，并停止氮气吹扫动作。
...【技术特征摘要】
1.一种低温泵自动化再生系统，其特征在于：包括低温泵(1)，所述低温泵(1)的粗抽进口端连接排气管路(2)的一端，所述排气管路(2)的另一端通过三通分别与粗抽管路(3)和出气管(4)相连接，所述粗抽管路(3)上安装有预阀(5)和粗抽阀(6)，所述粗抽管路(3)的端部与粗抽泵相连接，所述出气管(4)上安装有排气阀(7)；所述低温泵(1)的进气端与进气管路(8)相连接，所述进气管路(8)上安装有氮气导入阀(9)；
2.根据权利要求1所述的一种低温泵自动化再生系统，其特征在于：所述低温泵(1)包括中空泵体和制冷机，所述中空泵体内安装有一级冷头，所述一级冷头内安装有二级冷头，所述制冷机安装在中空泵体外部，所述制冷机的冷头伸入到冷泵壳体内并同时与...
【专利技术属性】
技术研发人员：王新文，陆怡斌，叶发，徐承明，彭洪坤，
申请(专利权)人：爱发科商贸上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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