The invention discloses a device for cleaning and isolating impurities for flexible winding coating equipment, including winding coating equipment body. The inner part of the winding coating equipment body is located on the surface of the coating drum, and six groups of magnetron sputtering chambers are arranged at equal angles. The inner part of the winding coating equipment body is located between each two groups of magnetron sputtering chambers, and the vacuum chamber and magnetron sputtering chamber are arranged between the two groups of magnetron sputtering chambers. There is an overflow outlet between the chambers, and a one-way valve is installed in the overflow outlet. The outer side of the vacuum chamber is equipped with a vacuum pump, and the inlet end of the vacuum pump is connected with the suction port of the vacuum chamber, and the outlet end of the vacuum pump is fixed with a gas purification device through a pipeline. The device has the advantages of simple and reasonable structure design, convenient operation, effective prevention of miscellaneous gas spilling into other chambers, guaranteeing the vacuum degree in use of winding coating equipment, and convenient handling of miscellaneous gas. It is safe and stable, and has a wide range of applications, which is conducive to popularization and popularization.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置
本专利技术属于杂气清理
，具体涉及一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置。
技术介绍
目前柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业广泛推广，柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制，但是在柔性卷绕镀膜设备中的溅射腔室在对柔性透明导电薄膜基材溅射的时候往往会有多余的工艺气体进入相邻的腔室，从而引起不同的工艺气体混合影响柔性透明导电薄膜镀制的质量，同时对于杂气进入其他溅射腔室也会影响卷绕镀膜设备内部的真空度，影响卷绕镀膜设备的产品稳定性，不利于广泛的推广和普及。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理及隔离装置，结构设计简单合理，操作方便，有效的防止杂气溢出到其他腔室，同时便于对杂气进行处理，安全稳定，适用范围广，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体，所述卷绕镀膜设备本体的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室，且卷绕镀膜设备本体的内部位于每两组磁控溅射腔室之间均设有真空腔室，所述真空腔室与磁控溅...
【技术保护点】
1.一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体(1)，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室(2)，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于每两组磁控溅射腔室(2)之间均设有真空腔室(3)，所述真空腔室(3)与磁控溅射腔室(2)之间设有溢出口(4)，且溢出口(4)内安装有单向阀(5)，所述真空腔室(3)的外侧安装有真空泵(7)，且真空泵(7)的进气端与真空腔室(3)的抽气口(6)连接固定，所述真空泵(7)的出气端通过管道固定连接有气体净化装置(8)。
【技术特征摘要】
1.一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体(1)，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室(2)，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于每两组磁控溅射腔室(2)之间均设有真空腔室(3)，所述真空腔室(3)与磁控溅射腔室(2)之间设有溢出口(4)，且溢出口(4)内安装有单向阀(5)，所述真空腔室(3)的外侧安装有真空泵(7)，且真空泵(7)的进气端与真空腔室(3)的抽气口(6)连接固定，所述真空泵(7)的出气端通过管道固定连接有气体净化装置(8)。2.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的两侧分别连接有内部设置辊筒的放卷室和收卷室，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部设有用于抽真空的泵体。3.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述单向阀(5)包括焊接在溢出口(4)内且一端伸入真空腔室(3)内的通气管(51)，所述通气管(51)伸入真空腔室(3)的一端内部滑动连接有塞柱(52)，且塞柱(52)的一端伸出通气管(51)一体式连接有挡板(53...
【专利技术属性】
技术研发人员：任丹，张红，关仁鹤，杨志彬，
申请(专利权)人：安徽方兴光电新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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