一种真空镀膜机用除尘式真空箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机用除尘式真空箱，它涉及真空镀膜机技术领域；它包括箱体、抽气管、U形管体、排污管、控制阀门、过滤网体、过滤器体、真空泵体；箱体的侧壁上安装有抽气管，抽气管的一端与U形管体的一端连接，U形管体的另一端安装有过滤器体，且过滤器体的上端安装有真空泵体，U形管体的中下端设置有排污口，排污口上安装有排污管，排污管的下端安装有控制阀门，排污口的后侧安装有过滤网体，且过滤网体为倾斜设置；本实用新型专利技术能实现快速抽真空，且能实现将内部的杂质抽出，并能实现快速收集杂质与排出杂质；在使用时效率高，能节省时间，且延长了使用寿命。

A Dust-removing Vacuum Box for Vacuum Coating Machine

The utility model discloses a dust-removing vacuum box for vacuum coating machine, which relates to the technical field of vacuum coating machine; it comprises a box body, a suction pipe, a U-shaped tube body, a sewage pipe, a control valve, a filter mesh body, a filter body and a vacuum pump body; a suction pipe is installed on the side wall of the box body, one end of the suction pipe is connected with one end of the U-shaped tube body, and the other end of the U-shaped tube body is installed with a filter. The upper end of the filter body is equipped with a vacuum pump body, the middle and lower end of the U-shaped pipe body is equipped with a sewage outlet, the sewage outlet is equipped with a sewage pipe, the lower end of the sewage pipe is equipped with a control valve, and the back side of the sewage outlet is equipped with a filter mesh body, and the filter mesh body is inclined; the utility model can realize rapid vacuum extraction, and can realize fast extraction of internal impurities. Collecting impurities and discharging impurities; high efficiency in use, can save time, and prolong service life.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用除尘式真空箱
：本技术属于真空镀膜机
，具体涉及一种真空镀膜机用除尘式真空箱。
技术介绍
：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。现有的真空镀膜机在使用时需要通过真空箱来实现抽真空，其现有的真空箱在使用时不能除去真空箱内部的杂质，其同时杂质容易堵塞真空泵，缩短真空泵的使用寿命。
技术实现思路
：为解决现有的真空箱在使用时不能除去真空箱内部的杂质，其同时杂质容易堵塞真空泵，缩短真空泵的使用寿命的问题；本技术的目的在于提供一种真空镀膜机用除尘式真空箱。本技术的一种真空镀膜机用除尘式真空箱，它包括箱体、抽气管、U形管体、排污管、控制阀门、过滤网体、过滤器体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机用除尘式真空箱，其特征在于：它包括箱体、抽气管、U形管体、排污管、控制阀门、过滤网体、过滤器体、真空泵体；箱体的侧壁上安装有抽气管，抽气管的一端与U形管体的一端连接，U形管体的另一端安装有过滤器体，且过滤器体的上端安装有真空泵体，U形管体的中下端设置有排污口，排污口上安装有排污管，排污管的下端安装有控制阀门，排污口的后侧安装有过滤网体，且过滤网体为倾斜设置。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用除尘式真空箱，其特征在于：它包括箱体、抽气管、U形管体、排污管、控制阀门、过滤网体、过滤器体、真空泵体；箱体的侧壁上安装有抽气管，抽气管的一端与U形管体的一端连接，U形管体的另一端安装有过滤器体，且过滤器体的上端安装有真空泵体，U形管体的中下端设置有排污口，排污口上安装有排污管，排污管的下端安装有控制阀门，排污口的...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋国辉，
申请(专利权)人：南京联科镀膜包装材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32