一种防动态漏气真空汽缸结构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种防动态漏气真空汽缸结构，其特征在于：所述活塞杆与所述缸体的内腔之间设置有静密封，在所述活塞杆的外围套装有波纹管。本实用新型专利技术的优点是：适应高温镀膜的需要，在高温镀膜时依旧能够保证良好的密封性，解决了漏气问题；稳定性好，结构简单合理，方便替换，适于推广。

A Vacuum Cylinder Structure for Preventing Dynamic Leakage

The utility model relates to the technical field of vacuum coating, in particular to a structure of a vacuum cylinder against dynamic air leakage. The utility model is characterized in that a static seal is arranged between the piston rod and the inner cavity of the cylinder body, and a bellows are arranged on the outer sleeve of the piston rod. The utility model has the advantages of: adapting to the need of high-temperature coating, ensuring good sealing performance and solving the problem of air leakage while high-temperature coating, good stability, simple and reasonable structure, convenient replacement, and being suitable for popularization.

【技术实现步骤摘要】
一种防动态漏气真空汽缸结构
本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种防动态漏气真空汽缸结构。
技术介绍
真空镀膜室在工作时，往往需要利用安装在真空镀膜室上的真空汽缸来执行真空镀膜室内部的构件运动，例如利用真空汽缸来将装有镀膜材料的坩埚运送至工位上进行蒸镀。真空镀膜室在镀膜时处于真空状态，而真空汽缸的活塞杆会在真空镀膜室内运动。目前，对于真空汽缸的密封往往采用O形密封圈作为汽缸做伸缩运动时的密封部件，其具有结构简单，拆装方便，价格较低等优势，但在高温镀膜时，O形圈容易受热变形丧失密封性导致漏气，从而难以保持所需的、稳定的工艺真空度要求，导致镀膜质量下降。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种防动态漏气真空汽缸结构，通过采用波纹管对真空汽缸进行密封，实现防动态漏气，从而保证真空镀膜室在工作时的真空度。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种防动态漏气真空汽缸结构，包括真空汽缸本体，所述真空汽缸本体包括执行机构以及驱动机构，所述驱动机构包括汽缸以及活塞杆，所述活塞杆连接所述执行机构，所述真空汽缸本体的外围设有安装法兰，其特征在于：所述活塞杆与所述缸体的内腔之间设置有静密封，在所述活塞杆的外围套装有波纹管。所述波纹管在所述真空汽缸的驱动下随所述活塞杆伸缩，所述波纹管的伸缩范围满足于所述执行机构的行程范围的要求。所述波纹管的一端部安装在所述活塞杆的外围，另一端安装在所述静密封上。所述波纹管的一端与所述活塞杆采用一体式结构处理；所述波纹管的另一端与真空气缸的前端盖采用一体式结构处理。所述静密封上开设有呼吸孔。本技术的优点是：适应高温镀膜的需要，在高温镀膜时依旧能够保证良好的密封性，解决了漏气问题；稳定性好，结构简单合理，方便替换，适于推广。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1所示，图中标号1-9分别表示为：真空汽缸本体1、活塞杆2、静密封3、波纹管4、法兰5、执行机构6、驱动机构7、缸体8、呼吸孔9。实施例：如图1所示，本实施例中的防动态漏气真空汽缸结构包括真空汽缸本体1，真空汽缸本体1主要包括执行机构6和驱动机构7这两部分，执行机构6在驱动机构7的驱动作用下执行运动。在驱动机构7的外侧设置有法兰5，通过法兰5可将真空汽缸本体1固定安装在真空镀膜室的室壁之上，从而使执行机构6处于真空镀膜室之中并执行其设定运动。如图1所示，驱动机构7包括活塞杆2和缸体8，活塞杆2的活塞设置在缸体8的内腔之中。活塞杆2的一端与执行机构6相连接固定，活塞杆2在缸体8的气压驱动下带动执行机构6在真空镀膜室之中运动。如图1所示，活塞杆2与缸体8的内腔之间设置有静密封3，静密封3用于封闭缸体8的内腔从而使其成为驱动活塞杆2运动的工作腔。在活塞杆2的杆体外围套装有波纹管4，波纹管4的前端与活塞杆2的杆径一体式结构处理，确保两者连接后不漏气，波纹管4的后端与气缸前端盖亦采用一体式结构处理，确保两者连接后不漏气。活塞杆2运动时，波纹管4的一端固定安装在静密封3之上，另一端安装在活塞杆2杆体之上。静密封3上设置有呼吸孔9，呼吸孔与波纹管4的内部连通，确保波纹管4升缩时，受到气压变化的影响。在缸体8的驱动下，活塞杆2开始伸缩运动并带动执行机构6在真空镀膜室中运动。此时，波纹管4随着活塞杆2的伸缩运动产生相应的长度变化，即随着活塞杆2的伸出而伸长，随着活塞杆2的回缩而缩短，从而始终保证活塞杆2处的密封，保证真空镀膜室在工作时的真空度。本实施例在具体实施时：波纹管4的伸缩范围满足于执行机构6的行程范围的要求，避免波纹管4因过度张拉伸长而损坏。波纹管4易选用具有一定弹性的材料制作。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防动态漏气真空汽缸结构，包括真空汽缸本体，所述真空汽缸本体包括执行机构以及驱动机构，所述驱动机构包括缸体以及活塞杆，所述活塞杆连接所述执行机构，所述真空汽缸本体的外围设有安装法兰，其特征在于：所述活塞杆与所述缸体的内腔之间设置有静密封，在所述活塞杆的外围套装有波纹管。

【技术特征摘要】
1.一种防动态漏气真空汽缸结构，包括真空汽缸本体，所述真空汽缸本体包括执行机构以及驱动机构，所述驱动机构包括缸体以及活塞杆，所述活塞杆连接所述执行机构，所述真空汽缸本体的外围设有安装法兰，其特征在于：所述活塞杆与所述缸体的内腔之间设置有静密封，在所述活塞杆的外围套装有波纹管。2.根据权利要求1所述的一种防动态漏气真空汽缸结构，其特征在于：所述波纹管在所述真空汽缸的驱动下随所述活塞杆伸缩，所述波纹管的伸缩范围满足于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙汝磊，戴秀海，裴蓓，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31