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本发明公开了一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体，所述卷绕镀膜设备本体的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室，且卷绕镀膜设备本体的内部位于每两组磁控溅射腔室之间均设有真空腔室，所述真空腔室与磁控溅射腔室之间...
该专利属于安徽方兴光电新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽方兴光电新材料科技有限公司授权不得商用。

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