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本实用新型涉及镀膜设备领域，具体涉及连续镀膜工艺室，包括依次连接的第一氧化物镀膜腔、金属镀膜腔、氮化物镀膜腔、氮化物和氧化物的混合物镀膜腔、第二氧化物镀膜腔、第三氧化物镀膜腔。本实用新型所述的连续镀膜工艺室，可实现在材料表面连续镀6层不同的...
该专利属于山东三齐能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东三齐能源有限公司授权不得商用。

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