【技术实现步骤摘要】
一种等离子辉光化学气相沉积集成系统
本技术属于气相沉积设备、具体涉及一种等离子辉光化学气相沉积集成系统。
技术介绍
目前,现有的等离子辉光化学气相沉积集成系统都是分散型的,各个系统均独立放置,无集成,占地面积大，操作维护都不便,并且加热后冷却时间较长,效率交底。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，集成度高，便于操作和维护。为了解决上述技术问题，本技术采用如下的技术方案：一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管，真空管一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱。所述等离子感应器和管式加热炉分设于承载台上的两侧，承载台上还布置有与真空管相平行的轨道，管式加热炉设于轨道上并能够沿轨道和真空管移动以靠近或离开等离子感应器。所述等离子感应器内设有绕置于真空管上的感应线圈。所述真空管两端分别设有法兰，法兰分别通过支架固定在承载台的两端上。所述真空管为刚玉管。采用本技术的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，具有一下几个优点：1、通过将多个系统集成为一台整机，占地面积小、布置合理，操作维护方便。2、采用轨道式管式加热炉，通过移动至等离子感应器侧部时对该处真空管内的工件进行加热，加热完毕后，通过移动至另一侧，使得该处真空管裸露在空气中，进行自然冷却，从而缩小了冷却时间，提高了作业效率。附图说明下面结合附图和具体实施方式本技术进行详细说明：图1是本技术的等离子辉光化学气相沉积集成系统的结...
【技术保护点】
1.一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管，真空管一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱。
【技术特征摘要】
1.一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管，真空管一端用以进气、进料，另一端连接至用以抽真空的真空箱。2.根据权利要求1所述的一种等离子辉光化学气相沉积集成系统，其特征在于：所述等离子感应器和管式加热炉分设于承载台上的两侧，承载台上还布置有与真空管相平行的轨道...
【专利技术属性】
技术研发人员：凤旭，徐晓伟，周佳崎，
申请(专利权)人：上海微行炉业有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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