【技术实现步骤摘要】
一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构
本技术涉及半导体湿式制程设备
,尤其涉及一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构。
技术介绍
现有的半导体湿式制程机台在制程当中,由于工件制程后,工件会因静电关系将环境当中的微尘粒子落尘吸附到表面,不但会造成制程上缺陷,而且会进一步影响后续产品的质量。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题,本技术提供了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,通过在壳体的右侧设置离子风刀,可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子,避免了后续制程上的缺陷,保证了产品的质量,通过电机带动螺纹杆转动,从而带动安装板和离子风刀上升和下降,实现对离子风刀高度的调整,便于满足不同工作环境中的高度需求。本技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,包括壳体和用于传送加工元件的传动机构,所述壳体的右壁中部开设有出料口,所述传动机构设置在壳体的内侧,所述传动机构的右端穿过出料口并延伸至壳体右侧,所述壳体的右壁上端固定连接有支撑板,所述支撑板的上表面固定安装有电机,所述电机的输出轴端固定连接有螺纹杆,所述支撑板的两侧均开设有通孔,所述通孔内设有滑杆,所述滑杆的上端固定连接有限位板,所述滑杆的下端固定连接有安装板,所述安装板的上表面开设有螺纹孔,所述安装板的右侧固定连接有连接杆,所述连接杆的右侧固定安装有离子风刀。进一步地,所述螺纹孔贯穿安装板的上表面和底面。进一步地,所述螺纹孔与螺纹杆螺纹配合。进一步地,所述离子风刀的风口朝向垂直于传动机构的上表面。本技术的有益效果:本技术通过在壳体的右侧设置离子风刀,可以有效清 ...
【技术保护点】
1.一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,包括壳体(1)和用于传送加工元件(2)的传动机构(3),其特征在于,所述壳体(1)的右壁中部开设有出料口(4),所述传动机构(3)设置在壳体(1)的内侧,所述传动机构(3)的右端穿过出料口(4)并延伸至壳体(1)右侧,所述壳体(1)的右壁上端固定连接有支撑板(5),所述支撑板(5)的上表面固定安装有电机(6),所述电机(6)的输出轴端固定连接有螺纹杆(7),所述支撑板(5)的两侧均开设有通孔(8),所述通孔(8)内设有滑杆(9),所述滑杆(9)的上端固定连接有限位板(10),所述滑杆(9)的下端固定连接有安装板(11),所述安装板(11)的上表面开设有螺纹孔(12),所述螺纹孔(12)与螺纹杆(7)螺纹配合,所述安装板(11)的右侧固定连接有连接杆(13),所述连接杆(13)的右侧固定安装有离子风刀(14)。
【技术特征摘要】
1.一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构,包括壳体(1)和用于传送加工元件(2)的传动机构(3),其特征在于,所述壳体(1)的右壁中部开设有出料口(4),所述传动机构(3)设置在壳体(1)的内侧,所述传动机构(3)的右端穿过出料口(4)并延伸至壳体(1)右侧,所述壳体(1)的右壁上端固定连接有支撑板(5),所述支撑板(5)的上表面固定安装有电机(6),所述电机(6)的输出轴端固定连接有螺纹杆(7),所述支撑板(5)的两侧均开设有通孔(8),所述通孔(8)内设有滑杆(9),所述滑杆(9)的上端固定连接有限位板(10),所述滑杆(9)的下端固定连接有安装板(11),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李聪盛,陈琮岳,
申请(专利权)人:安徽宏实自动化装备有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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