一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体、盖板、柱形固定套和衬套，所述支撑座主体包括用于支撑滚轮的支撑板，所述支撑板的上侧固定连接有上横板，所述上横板的两端分别开设有两个第一螺栓孔，所述上横板的上表面开设有若干个方形槽口，所述上横板的一侧开设有若干个卡槽，所述上横板的底面固定连接有柱形槽，所述柱形槽的下端固定连接有下横板，所述下横板的一侧固定连接在支撑板的下侧，所述盖板包括盖板主体，本实用新型专利技术在固定套内侧设置衬套并放置支撑座主体内侧设置柱形槽内，通过衬套来为滚轮的转轴提供转动支撑，便于对衬套和柱形固定套进行更换，无需因单一磨耗而更换整体支撑座，简单方便，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座
本技术涉及半导体制程设备
，尤其涉及一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座。
技术介绍
在半导体湿式制程过程中，传送滚轮在传送时，由于加工元件和本身的重量会与该传送滚轮的支撑座产生局部摩擦并造成损耗，从而导致传动机构两侧水平异常，不但影响传送效率，而且会缩短传动机构的使用寿命。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术提供了一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，通过在固定套内侧设置衬套并放置支撑座主体内侧设置柱形槽内，通过衬套来为滚轮的转轴提供转动支撑，便于对衬套和柱形固定套进行更换，无需因单一磨耗而更换整体支撑座，简单方便，实用性强。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体，通过螺栓固定连接于所述支撑座主体上表面的盖板，内设于所述支撑座主体的柱形固定套和内设于所述柱形固定套的衬套；所述支撑座主体包括用于支撑滚轮的支撑板，所述支撑板的上侧固定连接有上横板，所述上横板的两端分别开设有两个第一螺栓孔，所述上横板的上表面开设有若干个方形槽口，所述上横板的一侧开设有若干个卡槽，所述上横板的底面固定连接有柱形槽，所述柱形槽的下端固定连接有下横板，所述柱形槽位于方形槽口的正下方，所述下横板的一侧固定连接在支撑板的下侧；所述盖板包括盖板主体，所述盖板主体的两端分别开设有两个第二螺栓孔，所述盖板主体的底面固定连接有若干个连接板，所述连接板位于盖板主体底面的一侧，所述连接板的下端固定连接有限位板；所述柱形固定套设置在柱形槽内侧，所述柱形固定套的一侧开设有圆形槽，所述衬套安装在圆形槽内侧。进一步地，所述卡槽位于相邻两个柱形槽之间。进一步地，所述连接板与卡槽相互配合。进一步地，所述限位板的上表面与盖板主体的下表面紧密接触。进一步地，所述柱形固定套的横截面为正方形。进一步地，所述衬套与圆形槽过盈配合。本技术的有益效果：本技术在固定套内侧设置衬套并放置支撑座主体内侧设置柱形槽内，通过衬套来为滚轮的转轴提供转动支撑，便于对衬套和柱形固定套进行更换，无需因单一磨耗而更换整体支撑座，简单方便，实用性强；柱形固定套采用聚醚醚酮材质，衬套采用聚四氟乙烯材质，使得该支撑座具备耐磨、耐高温、高润滑的特性，保证了该支撑座的使用寿命。附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座的结构示意图；图2是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座中支撑主体的结构示意图；图3是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座中支撑主体的结构示意图；图4是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座中盖板的结构示意图；图5是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座中柱形固定套的结构示意图；图6是本技术一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座中衬套的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。如图所示1-6所示，一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体1，通过螺栓固定连接于所述支撑座主体1上表面的盖板2，内设于所述支撑座主体1的柱形固定套3和内设于所述柱形固定套3的衬套4；所述支撑座主体1包括用于支撑滚轮的支撑板11，所述支撑板11的表面开设有若干个圆孔12，所述圆孔12呈等距直线分布，所述支撑板11的上侧固定连接有上横板13，所述上横板13的两端分别开设有两个第一螺栓孔14，所述上横板13的上表面开设有若干个方形槽口15，所述上横板13的一侧开设有若干个卡槽16，所述上横板13的底面固定连接有柱形槽17，所述柱形槽17的下端固定连接有下横板18，所述柱形槽17位于方形槽口15的正下方，所述下横板18的一侧固定连接在支撑板11的下侧；所述盖板2包括盖板主体21，所述盖板主体21的两端分别开设有两个第二螺栓孔22，所述盖板主体21的底面固定连接有若干个连接板23，所述连接板23位于盖板主体21底面的一侧，所述连接板23的下端固定连接有限位板24；所述柱形固定套3设置在柱形槽17内侧，所述柱形固定套3由聚醚醚酮材料构成，所述柱形固定套3的一侧开设有圆形槽5，所述衬套4安装在圆形槽5内侧，所述衬套由聚四氟乙烯材料构成。其中，所述卡槽16位于相邻两个柱形槽17之间，所述连接板23与卡槽16相互配合，保证盖板主体21的稳定，所述限位板24的上表面与盖板主体21的下表面紧密接触，使盖板主体21压紧上横板13，防止柱形固定套3上下移动，所述柱形固定套3的横截面为正方形，使柱形固定套3在柱形槽17内保持稳定，所述衬套4与圆形槽5过盈配合。本技术的安装方式：将衬套4放入柱形固定套3一侧的圆形槽5内，使柱形固定套3开设有圆形槽5的一侧朝向支撑板11，然后将装有衬套4的柱形固定套3放入支撑座主体1上的柱形槽17内，盖上盖板2，使连接板23卡入卡槽16，限位板24的上表面与上横板13的下表面紧密接触，此时第一螺栓孔14和第二螺栓孔22对齐，通过螺栓使支撑座主体1与盖板2固定连接。本技术在固定套内侧设置衬套并放置支撑座主体内侧设置柱形槽内，通过衬套来为滚轮的转轴提供转动支撑，便于对衬套和柱形固定套进行更换，无需因单一磨耗而更换整体支撑座，简单方便，实用性强；该支撑座中，柱形固定套采用聚醚醚酮材质，衬套采用聚四氟乙烯材质，使得该支撑座具备耐磨、耐高温、高润滑的特性，保证了该支撑座的使用寿命。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体(1)，其特征在于，通过螺栓固定连接于所述支撑座主体(1)上表面的盖板(2)，内设于所述支撑座主体(1)的柱形固定套(3)和内设于所述柱形固定套(3)的衬套(4)；所述支撑座主体(1)包括用于支撑滚轮的支撑板(11)，所述支撑板的表面开设有若干个圆孔(12)，所述圆孔(12)呈等距直线分布，所述支撑板(11)的上侧固定连接有上横板(13)，所述上横板(13)的两端分别开设有两个第一螺栓孔(14)，所述上横板(13)的上表面开设有若干个方形槽口(15)，所述上横板(13)的一侧开设有若干个卡槽(16)，所述上横板(13)的底面固定连接有柱形槽(17)，所述柱形槽(17)的下端固定连接有下横板(18)，所述柱形槽(17)位于方形槽口(15)的正下方，所述下横板(18)的一侧固定连接在支撑板(11)的下侧；所述盖板(2)包括盖板主体(21)，所述盖板主体(21)的两端分别开设有两个第二螺栓孔(22)，所述盖板主体(21)的底面固定连接有若干个连接板(23)，所述连接板(23)位于盖板主体(21)底面的一侧，所述连接板(23)的下端固定连接有限位板(24)；所述柱形固定套(3)设置在柱形槽(17 )内侧，所述柱形固定套(3)的一侧开设有圆形槽(5)，所述衬套(4)安装在圆形槽(5)内侧。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座，包括支撑座主体(1)，其特征在于，通过螺栓固定连接于所述支撑座主体(1)上表面的盖板(2)，内设于所述支撑座主体(1)的柱形固定套(3)和内设于所述柱形固定套(3)的衬套(4)；所述支撑座主体(1)包括用于支撑滚轮的支撑板(11)，所述支撑板的表面开设有若干个圆孔(12)，所述圆孔(12)呈等距直线分布，所述支撑板(11)的上侧固定连接有上横板(13)，所述上横板(13)的两端分别开设有两个第一螺栓孔(14)，所述上横板(13)的上表面开设有若干个方形槽口(15)，所述上横板(13)的一侧开设有若干个卡槽(16)，所述上横板(13)的底面固定连接有柱形槽(17)，所述柱形槽(17)的下端固定连接有下横板(18)，所述柱形槽(17)位于方形槽口(15)的正下方，所述下横板(18)的一侧固定连接在支撑板(11)的下侧；所述盖板(2)包括盖板主体(21)，所述盖板主体(21)的两端分别开设有两个第二螺栓孔(22)，所述盖板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈琮岳，李聪盛，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34