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本实用新型公开了一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座,包括支撑座主体、盖板、柱形固定套和衬套,所述支撑座主体包括用于支撑滚轮的支撑板,所述支撑板的上侧固定连接有上横板,所述上横板的两端分别开设有两个第一螺栓孔,所述上横板的上表面开设有若干个方...该专利属于安徽宏实自动化装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽宏实自动化装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种半导体湿式制程用传送滚轮支撑座,包括支撑座主体、盖板、柱形固定套和衬套,所述支撑座主体包括用于支撑滚轮的支撑板,所述支撑板的上侧固定连接有上横板,所述上横板的两端分别开设有两个第一螺栓孔,所述上横板的上表面开设有若干个方...