一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，所述限位装置包括限位工作台，所述限位工作台表面设有一体式结构的限位槽，所述限位槽表面通过粘贴方式设有升降板，所述升降板底部相对于限位槽内部设有弹簧b，所述限位槽两侧顶部设有一体式结构的活动槽，所述活动槽内部设有连接块；通过在限位工作台表面设有限位槽、升降板与夹块，便于使用者将限位工作台表面的物体进行固定，避免因工作人员不慎将晶圆碰落，对晶圆造成一定程度的损伤，通过在晶圆检选机底部设有连接板、连接杆与清洁刮板，利用清洁刮板对晶圆检选机底部表面的清理效果，便于使用者清理晶圆检选机底部灰尘，避免因灰尘过多导致散热效率降低。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机
本技术属于分选机
，具体涉及一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机。
技术介绍
分选机主要是由上料台、检测系统和分选系统3个部分组成。其中测量系统为整台设备的核心部分，它又包含了厚度模组、线痕模组、隐形裂纹模组、脏污模组、边缘模组和尺寸、翘曲模组。当晶圆从上料台入片经过测量系统时，会被这6个模组分别检测、对比，是否达到设定的要求，然后根据所测量的数值分选到对应的仓盒里面，较终将晶圆分选出不同的等级，且分选机可适用于八英寸晶圆与十二英寸晶圆。然而现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用时：1.现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，工作台表面没有对需要处理的物体限位的装置，使用者在工作的过程中，可能会因不慎碰撞，使得晶圆散落，且因为晶圆本身规格较小，不便于再寻找，造成一定程度的损失，且耽误了工作进度。2.现有的带有防尘机构的独立式晶圆检选机在使用的过程中，由于晶圆检选机底部没有便于清理的装置，使得晶圆检选机底部会积累一定程度的灰尘，灰尘会妨碍散热且造成腐蚀，影响晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，其特征在于：所述限位装置包括限位工作台（5），所述限位工作台（5）表面设有一体式结构的限位槽（12），所述限位槽（12）表面通过粘贴方式设有升降板（6），所述升降板（6）底部相对于限位槽（12）内部设有弹簧b（14），所述限位槽（12）两侧顶部设有一体式结构的活动槽（10），所述活动槽（10）内部设有连接块（9），所述限位槽（12）内部两侧设有夹块（11），所述夹块（11）一端相对于限位槽（12）内部通过粘贴方式设有弹簧a（13），且所述连接块（9）底部与夹块（11）相接，所述限位工作台（5）一侧设有显示屏（1），所述显示屏（1）...

【技术特征摘要】
1.一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，其特征在于：所述限位装置包括限位工作台（5），所述限位工作台（5）表面设有一体式结构的限位槽（12），所述限位槽（12）表面通过粘贴方式设有升降板（6），所述升降板（6）底部相对于限位槽（12）内部设有弹簧b（14），所述限位槽（12）两侧顶部设有一体式结构的活动槽（10），所述活动槽（10）内部设有连接块（9），所述限位槽（12）内部两侧设有夹块（11），所述夹块（11）一端相对于限位槽（12）内部通过粘贴方式设有弹簧a（13），且所述连接块（9）底部与夹块（11）相接，所述限位工作台（5）一侧设有显示屏（1），所述显示屏（1）底部设有急停按钮（2），所述急停按钮（2）底部设有按键（3）。2.根据权利要求1所述的一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，其特征在于：所述清理装置包括连接板（4），所述连接板（4）顶部设有卡块（18），所述卡块（18）顶部...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱红伟，孙健，刘少丽，朱威莉，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32