温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种带有防尘机构的独立式晶圆检选机，包括限位装置与清理装置，所述限位装置包括限位工作台，所述限位工作台表面设有一体式结构的限位槽，所述限位槽表面通过粘贴方式设有升降板，所述升降板底部相对于限位槽内部设有弹簧b，所述限位槽两侧...
该专利属于江苏纳沛斯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏纳沛斯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。