图像传感器及其形成方法技术

一种图像传感器及其形成方法，其中，图像传感器包括：基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；位于所述基底的第一相位对焦区表面的第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。所述图像传感器的使用范围较广。

Image Sensor and Its Formation Method

An image sensor and its forming method include: a substrate comprising a first phase focusing region and a second phase focusing region; a first phase focusing filter located on the surface of the first phase focusing region of the substrate, the first phase focusing filter passing through the first monochrome light; and a second phase focusing region surface located on the second phase focusing region of the substrate. Focus filter, the second phase focusing filter passes through a second monochrome light, the second monochrome light is different from the first monochrome light. The image sensor has a wide application range.

【技术实现步骤摘要】
图像传感器及其形成方法
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种图像传感器及其形成方法。
技术介绍
许多现代电子设备涉及使用图像传感器的成像装置，例如：单反相机、普通数码相机、摄像机等。目前，成像装置中广泛使用的一种自动对焦技术包括相位检测自动对焦(PhaseDetectionAutoFocus，PDAF)技术。相位检测自动对焦的工作原理是检测镜头成像会聚光线中的某两束光线的交汇情况，通过判断这两束光线的交汇情况与光线聚焦到像平面时的差异，指导镜头移动，从而使光束会聚到像平面上。然而，现有图像传感器的性能较差。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供一种图像传感器及其形成方法，以提高图像传感器的性能。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种图像传感器，包括：基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；位于所述基底的第一相位对焦区表面的第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。可选的，所述基底还包括包围第一相位对焦区和第二相位对焦区的若干个感光区；所述若干个感光区内沿相互垂直的第一方向和第二方向排布。可选的，所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第一方向排布；或者，所述第一相位对焦滤镜与第二相位对焦滤镜沿第二方向排布。可选的，所述第一单色光为红色、绿色和蓝色中的一种；所述第二单色光为红色、绿色和蓝色中的一种。可选的，所述基底还包括第三相位对焦区；还包括：位于所述第三相位对焦区基底表面的第三相位对焦滤镜，所述第三相位对焦滤镜通过第三单色光，所述第三单色光与第一单色光和第二单色光互不相同。可选的，所述第一相位对焦滤镜、第二相位对焦滤镜和第三相位对焦滤镜沿第一方向排布。可选的，所述第一相位对焦滤镜、第二相位对焦滤镜和第三相位对焦滤镜沿第二方向排布。可选的，所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第一方向排列，且所述第一相位对焦滤镜和第三相位对焦滤镜沿第二方向排列。可选的，所述第二相位对焦滤镜和第三相位对焦滤镜沿第一方向排列，且所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第二方向排列。可选的，所述第一相位对焦滤镜和第三相位对焦滤镜沿第一方向排列，且所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第二方向排列。可选的，还包括：分别位于第一相位对焦滤镜表面和所述第二相位对焦滤镜表面的透镜。相应的，本专利技术还提供一种图像传感器的形成方法，包括：提供基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；在所述基底的第一相位对焦区表面形成若干个第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；在所述基底的第二相位对焦区表面形成若干个第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光。与现有技术相比，本专利技术实施例的技术方案具有以下有益效果：本专利技术技术方案提供的图像传感器中，不仅具有第一相位对焦滤镜，还具有第二相位对焦滤镜，且所述第一相位对焦滤镜通过的第一单色光与第二相位对焦滤镜通过的第二单色光不同，使得图像传感器能够通过不同单色光以进行相位对焦，避免了仅以一种单色光进行相位对焦的局限性，使得图像传感器的相位对焦结果更精确，且有利于拓宽图像传感器的使用范围。进一步，所述基底还包括第三相位对焦区，所述第三相位对焦区的基底表面用于形成第三相位对焦滤镜。所述第三相位对焦滤镜通过的第三单色光与第一单色光和第二单色光互不相同，使得图像传感器能够通过更多不同单色光以进行相位对焦，避免了仅以一种单色光进行相位对焦的局限性，使得图像传感器的相位对焦结果更精确，且有利于进一步拓宽图像传感器的使用范围。附图说明图1是一种图像传感器的结构示意图；图2是本专利技术图像传感器第一实施例的结构示意图；图3是本专利技术图像传感器第二实施例的结构示意图；图4是本专利技术图像传感器第三实施例的结构示意图；图5是本专利技术图像传感器第四实施例的结构示意图；图6是本专利技术图像传感器第五实施例的结构示意图；图7是本专利技术图像传感器第六实施例的结构示意图；图8是本专利技术图像传感器形成方法的流程图。具体实施方式正如
技术介绍
所述，现有图像传感器的性能较差。图1是一种图像传感器的结构示意图。请参考图1，图像传感器的形成方法包括：提供基底(图中未示出)，所述基底包括相位对焦滤镜100和包围相位对焦滤镜100的像素区101。利用相位对焦滤镜100实现相位对焦的原理包括：所述相位对焦滤镜100通常成对出现，即：所述相位对焦滤镜100包括第一像素100a和第二像素100b，所述第一像素100a和第二像素100b分别获取不同的图像，通过对比相应图像的相关值(例如：相位差)来判断成像装置的失焦情况；并根据失焦情况调整镜头的位置以实现合焦。由于人眼对绿色较敏感，因此，所述相位对焦滤镜100通常通过绿色光。然而，所述图像传感器中仅包括通过绿光的相位对焦滤镜100，使得图像传感器的使用范围较为局限。为解决上述技术问题，本专利技术技术方案提供一种图像传感器，包括：基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；位于所述基底的第一相位对焦区表面的若干个第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的若干个第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。所述图像传感器的使用范围更广。为使本专利技术的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。图2是本专利技术图像传感器第一实施例的结构示意图。请参考图2，图像传感器包括：基底(图中未示出)，所述基底包括第一相位对焦区(图中未示出)和第二相位对焦区(图中未示出)；位于所述基底的第一相位对焦区表面的第一相位对焦滤镜200，所述第一相位对焦滤镜200通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的第二相位对焦滤镜201，所述第二相位对焦滤镜201通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。所述第一相位对焦区用于形成第一相位对焦滤镜200，所述第二相位对焦区用于形成第二相位对焦滤镜201，所述基底还包括包围第一相位对焦滤镜200和第二相位对焦滤镜201的若干个感光区(图中未标出)，所述感光区用于形成像素区203。若干个感光区内的像素区203沿相互垂直的第一方向X和第二方向Y排布。由于所述图像传感器不仅具有第一相位对焦滤镜200，还具有第二相位对焦滤镜201，并且，第一相位对焦滤镜200通过的第一单色光与第二相位对焦滤镜201通过的第二单色光不同，使得所述图像传感器能够通过不同单色光进行相位对焦，避免了仅以一种单色光进行相位对焦的局限性，使得图像传感器的相位对焦结果更精确，且有利于拓宽图像传感器的使用范围。在本实施例中，所述基底还包括：第三相位对焦区，所述图像传感器还包括：位于所述第三相位对焦区基底表面的第三相位对焦滤镜202，所述第三相位对焦滤镜202通过的第三单色光与第一单色光和第二单色光互不相同，使得图像传感器能够通过不同单色光进行相位对焦，避免了仅以一种单色光进行相位对焦的局限性，使得图像传感器的相位对焦结果更精确，且有利于进一步拓宽图像传感器的使用范围。在本实施例中，所述第一相位对焦滤镜200、第二相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；位于所述基底的第一相位对焦区表面的若干个第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的若干个第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。

【技术特征摘要】
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：基底，所述基底包括第一相位对焦区和第二相位对焦区；位于所述基底的第一相位对焦区表面的若干个第一相位对焦滤镜，所述第一相位对焦滤镜通过第一单色光；位于所述基底的第二相位对焦区表面的若干个第二相位对焦滤镜，所述第二相位对焦滤镜通过第二单色光，所述第二单色光与第一单色光不同。2.如权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述基底还包括包围第一相位对焦区和第二相位对焦区的若干个感光区；所述若干个感光区沿相互垂直的第一方向和第二方向呈阵列排布。3.如权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第一方向排布；或者，所述第一相位对焦滤镜和第二相位对焦滤镜沿第二方向排布。4.如权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述第一单色光为红色、绿色和蓝色中的一种；所述第二单色光为红色、绿色和蓝色中的一种。5.如权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，所述基底还包括：第三相位对焦区；图像传感器还包括：位于所述第三相位对焦区基底表面的第三相位对焦滤镜，所述第三相位对焦滤镜通过第三单色光，所述第三单色光与第一单色光和第二单色光互不相同。6.如权利要求5所述的图像传感器，其特征在于，所述第一相位对焦滤镜、第二相位对焦滤镜和第三相位对...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，内藤逹也，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32