引线接合装置、引线接合装置用电路以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸

包括：线轴(10)、夹持器(22)、焊炬电极(31)、高压电源电路(30)、断开检测电路(40)、切换线轴(10)与高压电源电路(30)或断开检测电路(40)的连接的第一切换开关(50)、以及使夹持器(22)与第一切换开关(50)的线轴侧的连接接通/关断的继电器(53)，并且包括控制部(60)，所述控制部(60)是将第一切换开关(50)设为高压电源电路侧，并且使继电器(53)关断而产生放电，将第一切换开关(50)设为断开检测电路侧，并且使继电器(53）接通而进行断开检测。因此，能够利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】引线接合装置、引线接合装置用电路以及半导体装置的制造方法
本专利技术涉及一种引线接合装置、引线接合装置用电路的结构及半导体装置的制造方法。
技术介绍
引线接合装置正在被大量使用，所述引线接合装置是利用金属的引线来连接配置在电路基板上的半导体芯片等元件的电极与电路基板的导线(lead)之间。引线接合是在引线的前端利用电焊炬(torch)而形成自由空气球(freeairball)，通过瓷嘴(capillary)将所述自由空气球接合于元件的电极之后，将瓷嘴打成环状，利用瓷嘴将引线按压至电路基板的导线，然后，将引线在由夹持器(clamper)抓持着的状态下拉起来而切断引线。自由空气球是通过利用夹持器夹住引线，对引线施加自由空气球形成用的高电压，使其与电焊炬之间产生放电而使引线熔融而形成。此时，存在如下的情况：在夹住引线的夹持器与引线之间产生二次放电，从而可在夹持器的表面上形成电腐蚀。当在夹持器的表面上形成伤痕时，有时夹持器抓持引线的力会降低，或由于因电触而产生的夹持器的伤痕而损伤引线表面。因此，提出了与引线切割(wirecut)用的夹持器另外地设置电性连接用的夹持器的技术(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3041812号说明书
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，在专利文献1中所述的现有技术的引线接合装置中，存在如下的问题：无法抑制电气连接用的夹持器与引线之间的二次放电，在电性连接用的夹持器的表面上产生电腐蚀，由此使得引线表面产生损伤。并且，当设为不对电性连接用的夹持器施加自由空气球形成用的高电压时，存在无法确保引线与断开检测电路之间的电性连接，无法进行断开检测的问题。因此，本专利技术的目的在于利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。解决问题的手段本专利技术的引线接合装置的特征在于包括：线轴(spool)；夹持器，抓持从线轴抽出的引线；焊炬电极，通过放电而在引线的前端形成自由空气球；高压电源电路，对焊炬电极供电；断开检测电路，进行引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接；继电器，使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及控制部，将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断而产生放电，将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通而进行断开检测。在本专利技术的引线接合装置中，可以设为：包括第二切换开关，所述第二切换开关配置在第一切换开关的线轴侧与线轴之间，切换第一切换开关的线轴侧与接地线的连接，控制部将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通，而且将第二切换开关设为接地线侧而进行线轴的导通确认。在本专利技术的引线接合装置中，可以设为包括：引线导件(wireguide)，配置在线轴与夹持器之间，具有引线的至少一部分所接触的贯通孔；以及连接线，将引线导件与第一切换开关的线轴侧加以连接。本专利技术的引线接合装置用电路的特征在于包括：高压电源电路，对焊炬电极供电，所述焊炬电极通过放电而在引线的前端形成自由空气球；断开检测电路，进行引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换抽出引线的线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接；继电器，使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断，所述夹持器抓持从线轴抽出的引线；以及控制部，将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断而产生放电，而且将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通而进行断开检测。本专利技术的半导体装置的制造方法的特征在于包括如下工序：准备引线接合装置，所述引线接合装置包括线轴、抓持从线轴抽出的引线的夹持器、通过放电而在引线的前端形成自由空气球的焊炬电极、对焊炬电极供电的高压电源电路、进行引线与元件或基板的断开检测的断开检测电路、切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接的第一切换开关、以及使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断的继电器；将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断，高压电源电路对焊炬电极供电而形成自由空气球；将形成有自由空气球的引线接合于元件或基板；以及将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通，而进行引线与元件或基板的断开检测。专利技术的效果本专利技术能够利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。附图说明[图1]是本专利技术的实施方式中的引线接合装置的系统图。[图2]是表示图1所示的引线接合装置中的自由空气球形成时的电流的流动的说明图。[图3]是表示图1所示的引线接合装置中的断开检测时的电流的流动的说明图。[图4]是本专利技术的另一实施方式的引线接合装置的系统图。[图5]是本专利技术的另一实施方式的引线接合装置的系统图。具体实施方式以下，一边参照附图，一边对本实施方式的引线接合装置100进行说明。如图1所示，引线接合装置100包括线轴10、夹持器22、焊炬电极31、高压电源电路30、断开检测电路40、第一切换开关50、继电器53及控制部60。再者，在图1中，点划线表示信号线。在其它图中也同样。线轴10包括：本体11，在圆筒部的两端设有凸缘，在圆筒部上缠绕引线21；旋转轴12，与本体11连接；滑环(slipring)13，安装在旋转轴12上；以及端子15，设置在本体11的凸缘上，连接缠绕在圆筒部上的引线21的端部16。在旋转轴12上，连接着旋转驱动本体11的马达14。夹持器22安装在线轴10与瓷嘴23之间。夹持器22通过未图示的开闭驱动部而打开或关闭，从而抓持或放开引线21。焊炬电极31配置在从瓷嘴23的前端延伸出来的引线21的附近，借由从高压电源电路30供给的电力，而与引线21的前端之间产生放电，在引线21的前端形成自由空气球24。焊炬电极31是在形成自由空气球24时，推出至引线21的前端附近为止，在除此以外的情况下，则被拉入至与引线21的前端分离的位置。断开检测电路40对引线21施加电压，当所施加的电压下降时，检测出引线21与元件19连接着，当即使对引线21施加电压，电压也不会下降时，检测出引线21与连接于地线(ground)的基板18上的元件19之间的断开(连接不良)。第一切换开关50包括高压电源电路侧继电器51及断开检测电路侧继电器52这两个继电器。通过使两个继电器中的任一个接通，使另一个关断，来切换线轴10与高压电源电路30或断开检测电路40的连接。高压电源电路30的正(plus)侧端子通过连接线32而与焊炬电极31连接。并且，通过内部配线34而连接于地线的高压电源电路30的地线侧端子通过连接线33而与高压电源电路侧继电器51的一端连接。高压电源电路侧继电器51的另一端通过连接线17而与线轴10的滑环13连接。断开检测电路40的端子通过连接线41而与断开检测电路侧继电器52的一端连接。断开检测电路侧继电器52的另一端与连接线17连接。连接线17与夹持器22之间通过连接线25而连接，并通过继电器53而连接、放开。高压电源电路30、断开检测电路40、夹持器22、第一切换开关50的高压电源电路侧继电器51与断开检测电路侧继电器52、继电器53及马达14连接于控制部60，并构成为通过控制部60的命令而运行。控制部60是包括中央处理器(CentralProcessingUnit，CPU)61及存储器62本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种引线接合装置，包括：线轴；夹持器，抓持从所述线轴抽出的引线；焊炬电极，通过放电而在所述引线的前端形成自由空气球；高压电源电路，对所述焊炬电极供电；断开检测电路，进行所述引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换所述线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接；继电器，使所述夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及控制部，将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断而产生所述放电，将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通而进行所述断开检测。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.25 JP 2016-0611471.一种引线接合装置，包括：线轴；夹持器，抓持从所述线轴抽出的引线；焊炬电极，通过放电而在所述引线的前端形成自由空气球；高压电源电路，对所述焊炬电极供电；断开检测电路，进行所述引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换所述线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接；继电器，使所述夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及控制部，将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断而产生所述放电，将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通而进行所述断开检测。2.根据权利要求1所述的引线接合装置，包括：第二切换开关，配置在所述第一切换开关的所述线轴侧与所述线轴之间，切换所述第一切换开关的所述线轴侧与接地线的连接，所述控制部将所述第一切换开关设为所述断开检测电路侧，并且使所述继电器接通，而且将所述第二切换开关设为接地线侧，从而进行所述线轴的导通确认。3.根据权利要求2所述的引线接合装置，包括：引线导件，配置在所述线轴与所述夹持器之间，具有所述引线的至少一部分所接触的贯通孔；以及连接线，将所述引线导件与所述第一切换开关的所述线轴侧加以连接。4.一种引线接合装置用电路，包括：高压电源电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：安部润一，上田尚，近藤豊，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本,JP