可配置式加热装置制造方法及图纸

本揭示案是为一种可配置式加热装置，其包括比较器及可配置式加热器的装置。比较器用以比较在光子元件中传输的光的传输相位与参考相位以生成相位差。可配置式加热器相对于光子元件设置并包括多个加热器段，其中操作中的加热器段的数量基于相位差而微调。

Configurable Heating Device

The disclosed case is a configurable heating device, which includes a comparator and a configurable heater. The comparator is used to compare the transmission phase and the reference phase of the light transmitted in the photonic element to generate the phase difference. The configurable heater is arranged relative to the photonic element and comprises a plurality of heater segments, in which the number of heater segments in operation is fine-tuned based on the phase difference.

【技术实现步骤摘要】
可配置式加热装置
本揭示案是关于一种加热装置，特别是关于一种可配置式加热装置。
技术介绍
光电共设计系统通过将光子集成(photonicintegrated；PI)电路整合至硅基板来实施。在光子元件中的信号传输的效能与在其中传输的光的波长高度相关，因为光的反射功率取决于它。然而，波长受光子元件所在的环境温度影响。
技术实现思路
本揭示案是关于一种可配置式加热器装置，其包含比较器及可配置式加热器的装置。比较器用以比较在光子元件中传输的光的传输相位与参考相位以生成相位差。可配置式加热器相对于光子元件设置并包括多个加热器段，其中操作中的加热器段的数量基于相位差而微调。附图说明当结合附图阅读时，自以下详细描述很好地理解本揭示案的态样。应当注意，根据工业中标准实务，各特征未按比例绘制。事实上，为论述清楚，各特征的大小可任意地增加或缩小。图1为根据本揭示案的各实施例的可配置式加热装置的示意图；图2A为根据本揭示案的各实施例的图1中的可配置式加热器及光子元件的俯视图；图2B为根据本揭示案的各实施例的图1中的两个可配置式加热器及光子元件的俯视图；图3A为根据本揭示案的各实施例的在图1中的可配置式加热器的示意图；图3B为根据本揭示案的各实施例绘示图3A中的虚线框中的可配置式加热器的部分的示意图；图4为根据本揭示案的各实施例绘示时间与受加热器影响的环境温度之间的关系的示意图；图5A为根据本揭示案的各实施例绘示了图1中的可配置式加热器的另一实施例的示意图；图5B为根据本揭示案的各实施例绘示了图1中的可配置式加热器的又一实施例的示意图；图6A至图6C为根据本揭示案的各实施例绘示了图1中的可配置式加热器相对于光子元件的位置的示范性横截面图；图7A及图7B为根据本揭示案的各实施例绘示了图3A中的加热器段相对于光子元件的位置的示范性横截面图；以及图8A为根据本揭示案的各实施例的在图1中的可配置式加热器的示意图；图8B为根据本揭示案的各实施例的在图1中的可配置式加热器的示意图；以及图9为根据本揭示案的各实施例绘示图1中的可配置式加热装置的配置过程的配置方法的流程图。具体实施方式以下揭示案提供多个不同实施例或例子，为实现所提供标的物的不同的特征。下文描述的组件及排列的特定的实例为了简化本揭示案。当然，此等仅仅为实例且不意指限制。举例而言，在随后描述中在第二特征上方或在第二特征上第一特征的形成可包括第一及第二特征形成为直接接触的实施例，以及亦可包括额外特征可形成在第一及第二特征之间，使得第一及第二特征可不直接接触的实施例。另外，本揭示案在各实例中可重复元件符号及/或字母。此重复为出于简易及清楚的目的，且本身不指示所论述各实施例及/或结构之间的关系。在本领域中及使用每个术语的特定上下文中，本说明书中使用的术语一般具有它们的常规含义。本说明书中实例(包括本文中论述的任何术语的实例)的使用，仅为了进行说明，绝不是用于对本揭示案或者任意例示的术语的范畴及含义进行限制。同样地，本揭示案不被限制在本说明书中给出的各种实施例。应理解，尽管术语“第一”、“第二”等本文中可以用以描述各种元件，但这些元件应不限制于这些术语。这些术语用以区别一个元件与另一个元件。例如，第一元件可被称为第二元件，及类似地，第二元件可被称为第一元件，而不脱离本实施例的范畴。如本文中所用的术语“和/或”包括相关所列项目的一个或多个的任意和所有组合。如本文使用，术语“包含”、“包括”、“具有”、“含有”、“包括”及类似词应理解为开放式的，及意谓包括但不限于包括。整个说明书中对“一个实施例”或“实施例”的引用意谓结合本实施例描述的特定特征、结构、实施方式或特性包含在本揭示案的至少一个实施例中。因此，在整个说明书中不同地方使用的短语“在一个实施例中”或“在实施例中”不一定都指相同的实施例。此外，在一或多个实施例中，特定特征、结构、实施方式或特性可以以任一适宜方式结合。图1为根据本揭示案的各实施例的可配置式加热装置100的示意图。在一些实施例中，可配置式加热装置100在光电共设计生态系统(图中未示)中使用。光电共设计生态系统整合了光子元件及电子元件(图中未示)，其中至少一个光子元件用以将信号以具有传输相位Pt的光Lt的形式传输。在一些实施例中，光子元件为波导管。在一些实施例中，可配置式加热装置100为电子元件的部分并用以在光电共设计生态系统的光子元件中执行光传输的反馈控制。为了在图1中说明，可配置式加热装置100包括比较器110、控制器120及可配置式加热器130。比较器110用以比较在光子元件中传输的光Lt的传输相位Pt与参考光Lr的参考相位Pr以生成相位差ΔP。在一些实施例中，相位差ΔP由以下等式表示：ΔP＝Pt-Pr。在一些实施例中，相位差ΔP由比较器110以电流的形式生成。控制器120用以基于相位差ΔP生成控制信号CS的组合或组以控制可配置式加热器130。为了说明，每个相位差ΔP对应于多个控制信号CS，以及控制信号CS用以控制可配置式加热器130以具有对应配置。由可配置式加热器130生成的热量H取决于可配置式加热器130的配置。因此，可配置式加热器130的不同配置产生不同的热量H。在一些实施例中，控制器120通过使用检查表(图中未示)生成控制信号CS的组合。图1中的可配置式加热装置100的配置方式仅用以例示性地说明本揭示案的实现方式之一。对本揭示案的可配置式加热装置100进行的不同配置皆位于本揭示案的范畴内。图2A为根据本揭示案的各实施例的图1中图示的可配置式加热器130及光子元件200的俯视图的图表。在一些实施例中，可配置式加热器130设置在光子元件200附近。光子元件200为环耦合器，其在一些实施例中通过具有两个传输线205及传输线210及环形传输线215的光耦合器来实施，此光耦合器设置在传输线205与传输线210之间，如在图2A中所绘示。在一些实施例中，可配置式加热器130设置在环形传输线215内部。为利于说明，传输线205及传输线210的一个经由环形传输线215将能量耦合至传输线205及传输线210的另一个。图2B为根据本揭示案的各实施例的图1中的两个可配置式加热器130及光子元件220的俯视图的图表。在一些实施例中，可配置式加热器130设置在光子元件220附近。光子元件220为交叉耦合器，其在一些实施例中通过具有两个传输线225及传输线230的光耦合器来实施，如在图2B中所绘示。在一些实施例中，两个可配置式加热器130分别设置在传输线225的一侧及传输线230的一侧。为利于说明，传输线225及传输线230的一个将能量耦合至传输线225及传输线230的另一个。如在图2A及图2B中说明性地绘示，可配置式加热器130的每个向光子元件200或光子元件220所在的环境提供热量。当更多热量由可配置式加热器130生成时，环境的环境温度增大。相反地，当较少热量由可配置式加热器130生成时，环境的环境温度降低。在一些实施例中，当环境温度增大时，在光子元件中传输的光Lt的波长增加。此外，光子元件中的反射功率高度取决于在光子元件中传输的光Lt的波长。在一些实施例中，反射功率的峰值对应于波长的具体值。在一些实施例中，相位差ΔP反映在光子元件中传输的光Lt的波长与对应于反射功率的峰值的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可配置式加热装置，其特征在于，包含：一比较器，用以比较在一光子元件中传输的一光的一传输相位与一参考相位以生成一相位差；以及一可配置式加热器，相对于该光子元件设置并包含多个加热器段，其中操作中的所述加热器段的数目基于该相位差而微调。

【技术特征摘要】
2017.06.27 US 62/525,561;2017.07.28 US 15/663,4891.一种可配置式加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：李惠宇，管瑞丰，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71