一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％的混酸280L‑350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

A Method and Device for Improving the Effectiveness of Mixing Acid in Corrosion Machine

The invention provides a method for improving the efficiency of mixing acid in corrosion machine, including: step 1, adding mixed acid 280L 350L at room temperature in reserve tank A; step 2, adjusting the concentration of mixed acid in reserve tank A by adding hydrofluoric acid 15L 30L, nitric acid 60L, acetic acid 30L, adjusting the mass fraction of mixed acid to hydrofluoric acid 5%8%, nitric acid 30%50%, acetic acid 10. In step 3, 280L 350L mixed acid with 5% hydrofluoric acid, 30% nitric acid, 10% acetic acid and 30% acetic acid was injected into mixed acid reserve tank B, and in step 4, mixed acid with adjustable concentration was injected into the corrosion machine.

【技术实现步骤摘要】
一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置
本专利技术涉及半导体领域，具体涉及一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置。
技术介绍
在半导体硅片的生产工艺中，酸腐蚀工艺是应用最广的去除损伤层的一种方法。比较普遍的方式是通过一定比例的氢氟酸、硝酸、醋酸组成的混酸在一定的温度下与硅片发生化学反应，腐蚀掉表面的损伤层，加工过程中要保证硅片腐蚀的速率，硅片表面的腐蚀均匀性。但随着硅片的尺寸越来越大，器件的线宽越来越小，对硅片的表面平整度要求也越来越高。这就要求对应不同掺杂类型的硅片有更精确的混酸浓度、温度、鼓泡等条件的控制，在硅片品种切换时，混酸的浓度变化非常大。现在的换液做法有直接排掉原比例的混酸，然后配制新比例的混酸；稍经济一点的做法是在原混酸比例的基础上单独添加氢氟酸、硝酸、醋酸来改变混酸的比例，但是也会排掉一定比例的混酸，造成浪费，并且添加单酸会消耗大量的时间，影响生产效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，以解决对腐蚀过程中，硅片类型改变，相应的腐蚀混酸溶液也要改变，但调节混酸溶液的浓度过程复杂、时间长、效率低的问题。针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，以解决对腐蚀过程中，硅片类型改变，相应的腐蚀混酸溶液也要改变，但调节混酸溶液的浓度过程复杂、时间长、效率低的问题。本专利技术的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。本专利技术通过两个储备槽能同时暂存两种不同浓度的混酸，从而能够缩短混酸切换时间，还能减少混酸的浪费，节省成本。所述步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。所述步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。所述步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。所述步骤三中，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B。作为一种优选方案，一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸300L；步骤二，通过添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。该方案下，混酸切换时间最短，能更好更快的调节混酸溶液的浓度。本专利技术的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，包括一腐蚀机，所述腐蚀机连接一混酸回收装置，所述混酸回收装置包括一储备柜和一控制器，所述控制器分别控制连接所述腐蚀机和所述储备柜，所述控制器还连接一药液供给系统；所述储备柜中设有两个用于存储混酸溶液的储备槽。本专利技术通过控制器不仅能够控制药液的流向，药液可以从药液供给系统进出腐蚀机或者储备柜，或者腐蚀机与储备柜中的混酸药液进行调换，还能监控储备柜中的混酸的浓度：在腐蚀机进行作业时，操作人员可以直接通过控制器调节储备柜中混酸的浓度，无需停机。储备柜中含有两个混酸储备槽，可以同时暂存两种不同浓度的混酸。附图说明图1为本专利技术装置的结构框图。图中：1.腐蚀机，2.储备柜，3.控制器，4.药液供给系统。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。本专利技术通过两个储备槽能同时暂存两种不同浓度的混酸，从而能够缩短混酸切换时间，还能减少混酸的浪费，节省成本。步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。步骤三中，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B。作为一种优选方案，一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸300L；步骤二，通过添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。该方案下，混酸切换时间最短，能更好更快的调节混酸溶液的浓度。参照图1，本专利技术的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，包括一腐蚀机1，腐蚀机连接一混酸回收装置，混酸回收装置包括一储备柜2和一控制器3，控制器分别控制连接腐蚀机和储备柜，控制器还连接一药液供给系统4；储备柜中设有两个用于存储混酸溶液的储备槽。本专利技术通过控制器不仅能够控制药液的流向，药液可以从药液供给系统进出腐蚀机或者储备柜，或者腐蚀机与储备柜中的混酸药液进行调换，还能监控储备柜中的混酸的浓度：在腐蚀机进行作业时，操作人员可以直接通过控制器调节储备柜中混酸的浓度，无需停机。储备柜中含有两个混酸储备槽，可以同时暂存两种不同浓度的混酸。以上仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％的混酸280L‑350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

【技术特征摘要】
1.一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。2.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。3.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。4.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉龙，贺贤汉，朱强健，
申请(专利权)人：杭州中芯晶圆半导体股份有限公司，上海申和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33