温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸...该专利属于杭州中芯晶圆半导体股份有限公司;上海申和热磁电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中芯晶圆半导体股份有限公司;上海申和热磁电子有限公司授权不得商用。