一种用于定盘平坦度的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于定盘平坦度的测试装置，包括一底座，底座上方连接一可伸缩的支架，支架与丝杆连接，丝杆上设有导轨，丝杆的一端设有激光位移传感器，激光位移传感器沿导轨横向移动，丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；丝杆的另一端设有一控制装置，控制装置的信号接收端连接激光位移传感器的信号输出端，控制装置的信号输出端连接智能终端；激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。

【技术实现步骤摘要】
一种用于定盘平坦度的测试装置
本技术涉及半导体领域，具体涉及一种用于定盘平坦度的测试装置。
技术介绍
硅片表面的平坦度(TTV,LTV,TAPPER等)是衡量硅片品质的重要参数，半导体行业后道客户对硅片的平坦度有着很高的要求。在硅片生产过程中，研磨和抛光是影响硅片平坦度的重要工序，而研磨盘和抛光盘自身的平坦度对硅片平坦度具有重要影响，例如，定盘的凹陷或凸起会导致硅片TAPPER不良。实际生产中，主要有两种测试方法：(1)采用一种带有若干个千分表的简易测试设备或采用滑轨式千分表对定盘表面高度进行多点测量；(2)采用水平仪，通过沿直径方向不同点处的倾斜度，间接地换算出各点的高度。上述测试方法的缺点是：(1)不同位置的测量存在高度基准的差异，测试结果不可靠；(2)测试点数有限，测试效率较低，难以得到整个定盘表面的平坦度分布。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供一种用于定盘平坦度的测试装置，以解决定盘的凹陷或凸起会导致硅片平坦度不良的问题。本技术的技术方案是：一种用于定盘平坦度的测试装置，包括一底座，所述底座上方连接一可伸缩的支架，所述支架与丝杆连接，所述丝杆上设有导轨，所述丝杆的一端设有激光位移传感器，所述激光位移传感器沿所述导轨横向移动，所述丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；所述丝杆的另一端设有一控制装置，所述控制装置的信号接收端连接所述激光位移传感器的信号输出端，所述控制装置的信号输出端连接智能终端；所述激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。本技术采用激光位移传感器作为高度测量的核心部件，测试装置独立于定盘，确保传感器的位置始终处于同一高度，提高了测试的可靠性。本技术通过控制装置从而控制传感器的横向移动，并且记录传感器横向位置，以及与定盘表面的距离。丝杆伺服机构用于驱动激光传感器在导轨上作横向移动。激光位移传感器可以沿沿导轨作横向移动，保证传感器位置在移动过程中始终位于同一高度，确保了所有测试数据都位于同一基准。所述底座呈三脚结构，且所述底座是由铸铁制成。确保测试过程中的稳定性。所述丝杆是由因瓦合金制成的。可以减少环境温度波动对测试造成的误差。所述激光位移传感器是精度为1um的距离传感器。本技术采用基恩士LJ-V7020的距离传感器。所述控制装置与所述智能终端远程连接，所述控制装置与所述智能终端可以无线连接或者有线连接。不同的连接方式适用于不同的环境。所述智能终端可以是计算机。通过计算机上的软件分析测试数据。所述底座与所述支架通过螺纹结构连接。便于拆卸。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。图中：1.底座，2.支架，3.丝杆，4.激光位移传感器，5.丝杆伺服机构，6.控制装置，7.智能终端，8.定盘。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。参照图1所示，一种用于定盘平坦度的测试装置，包括一底座1，底座上方连接一可伸缩的支架2，支架与丝杆3连接，丝杆上设有导轨，丝杆的一端设有激光位移传感器4，激光位移传感器沿导轨横向移动，丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构5；丝杆的另一端设有一控制装置6，控制装置的信号接收端连接激光位移传感器的信号输出端，控制装置的信号输出端连接智能终端7；激光位移传感器的下方设有旋转的定盘8。本技术采用激光位移传感器作为高度测量的核心部件，测试装置独立于定盘，确保传感器的位置始终处于同一高度，提高了测试的可靠性。本技术通过控制装置从而控制传感器的横向移动，并且记录传感器横向位置，以及与定盘表面的距离。丝杆伺服机构用于驱动激光传感器在导轨上作横向移动。激光位移传感器可以沿沿导轨作横向移动，保证传感器位置在移动过程中始终位于同一高度，确保了所有测试数据都位于同一基准。底座呈三脚结构，且底座是由铸铁制成。确保测试过程中的稳定性。丝杆是由因瓦合金制成的。可以减少环境温度波动对测试造成的误差。激光位移传感器是精度为1um的距离传感器。本技术采用基恩士LJ-V7020的距离传感器。控制装置与智能终端远程连接，控制装置与智能终端可以无线连接或者有线连接。不同的连接方式适用于不同的环境。智能终端可以是计算机。通过计算机上的软件分析测试数据。底座与支架通过螺纹结构连接。便于拆卸。以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于定盘平坦度的测试装置，其特征在于，包括一底座，所述底座上方连接一可伸缩的支架，所述支架与丝杆连接，所述丝杆上设有导轨，所述丝杆的一端设有激光位移传感器，所述激光位移传感器沿所述导轨横向移动，所述丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；所述丝杆的另一端设有一控制装置，所述控制装置的信号接收端连接所述激光位移传感器的信号输出端，所述控制装置的信号输出端连接智能终端；所述激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。

【技术特征摘要】
1.一种用于定盘平坦度的测试装置，其特征在于，包括一底座，所述底座上方连接一可伸缩的支架，所述支架与丝杆连接，所述丝杆上设有导轨，所述丝杆的一端设有激光位移传感器，所述激光位移传感器沿所述导轨横向移动，所述丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；所述丝杆的另一端设有一控制装置，所述控制装置的信号接收端连接所述激光位移传感器的信号输出端，所述控制装置的信号输出端连接智能终端；所述激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鸣，贺贤汉，
申请(专利权)人：杭州中芯晶圆半导体股份有限公司，上海申和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33