掩膜板存放区定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种掩膜板存放区定位装置，包括多个位置检测器及多个限位柱，所述位置检测器分别设置在掩膜板存放区的存放平台的两侧，用于检测放置在存放平台上的掩膜板的位置，所述限位柱分别设置在所述存放区的存放平台的两侧，用于限定放置在所述掩膜板存放区的掩膜板的位置。本发明专利技术的优点在于，所述限位柱能够对放置在所述掩膜板存放区的掩膜板进行限位，以使所述掩膜板仅在设定范围内移动。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板存放区定位装置
本专利技术涉及曝光机的结构，尤其涉及一种掩膜板存放区定位装置。
技术介绍
近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，在液晶显示器的制程中，通常需要使用到曝光机，例如在低温多晶硅(LTPS)制程中需要使用到曝光机。曝光机的掩膜转印(masktransfer)系统涉及到掩膜板(mask)的搬运和储存。目前用于生产液晶显示器的6.5代线的曝光机需要人工搬运掩膜板并将其放置在曝光机的掩膜板存放区(maskbuffer)内，在工艺制程中，需要使用掩膜板时，则从所述掩膜板存放区调取掩膜板。曝光机的掩膜板存放区能够存放掩膜板的数量有限，掩膜板单元(maskcase)被搬运的频率较高。在将掩膜板单元放置入曝光机的掩膜板存放区的过程中，掩膜板单元易撞击掩膜板存放区的定位推进单元(pushunit)，使得定位推进单元的传感器被损坏。对于膜层及工艺复杂的制程来说，例如低温多晶硅阵列基板(LTPSarray)段的制程，单只产品工艺可能达到12层及以上，人工搬运掩膜板单元(maskcase)的频率在每日20-50次/台机器，如此高的搬运频率，使得出现操作异常的概率被极大的提高，定位推进单元的传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板存放区定位装置，其特征在于，包括多个位置检测器及多个限位柱，所述位置检测器分别设置在所述掩膜板存放区的存放平台的两侧，用于检测放置在存放平台上的掩膜板的位置，所述限位柱分别设置在所述掩膜板存放区的存放平台的两侧，用于限定放置在所述掩膜板存放区的掩膜板的位置。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板存放区定位装置，其特征在于，包括多个位置检测器及多个限位柱，所述位置检测器分别设置在所述掩膜板存放区的存放平台的两侧，用于检测放置在存放平台上的掩膜板的位置，所述限位柱分别设置在所述掩膜板存放区的存放平台的两侧，用于限定放置在所述掩膜板存放区的掩膜板的位置。2.根据权利要求1所述的掩膜板存放区定位装置，其特征在于，在所述位置检测器的两侧至少各排布有一个限位柱，并且位于所述位置检测器两侧的限位柱的高度高于所述位置检测器的高度。3.根据权利要求2所述的掩膜板存放区定位装置，其特征在于，位于所述位置检测器两侧的每一限位柱包括一基柱及一增高柱，所述增高柱可拆卸地安装在所述基柱上。4.根据权利要求3所述的掩膜板存放区定位装置，其特征在于，所述增高柱为旋拧在所述基柱上的螺丝。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王威，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42